De TruPlasma DC-serie 3000 (G2) is geschikt voor allerlei DC-sputterprocessen, ook als vervanging van pulserende processtroomtoevoer. Het geavanceerde vlamboogbeheer biedt de garantie voor de beste coatingkwaliteit en een duidelijk verhoogde productieopbrengst. Op basis van de zeer compacte bouwwijze kunt u de watergekoelde gelijkstroomgeneratoren heel eenvoudig in uw bestaande toepassing integreren.
Restenergie < 0,3 mJ/kW garandeert de beste coatingkwaliteit en een hoge afscheidingssnelheid.
Zeer compact ontwerp (19 inch-insteekeenheid), daardoor eenvoudige integratie en een hoger vermogen.
Uitgangsvermogen van 20 kW tot 300 kW, daardoor is vervanging van grotere generatoren ook mogelijk.
Maakt lange systeemlooptijden mogelijk en reduceert onderhoud.
Variabele netspanning (400 V tot 480 V) en verschillende gegevensinterfaces.
Hardmateriaalcoating
Door het aanbrengen van een functionele coating door middel van DC-magnetronsputteren krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde randhardheid en statische frictie en een betere thermische en chemische stabiliteit. De gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) zorgen voor een stabiel plasmaproces en dus voor een optimale coatingkwaliteit.
Metalisering
Door middel van een PVD-proces kunnen heel dunne metalen coatings worden aangebracht op verschillende materialen om ze zo de beste optische en elektrische eigenschappen te geven. Een optimaal aan de procesparameters aangepaste stroomtoevoer maakt afscheiding van absoluut homogene, defectloze coatings mogelijk.
Productie van zonnecellen
Ter beïnvloeding van de elektrische eigenschappen worden zonnecellen, maar ook flatscreens en touchscreens, gecoat met elektrisch geleidend materiaal (TCO). Door hun zeer lage vlamboogrestenergie zijn de gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) hiervoor perfect geschikt.
Architecturaal glas
Het coaten van grote oppervlakken architecturaal glas in een DC-sputterproces stelt zeer hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) bieden de ideale voorwaarden voor een hoogwaardig coatingresultaat.
|
TruPlasma DC 3020 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma DC 3030 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma DC 3040 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma DC 3060 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma DC 3080 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma DC 3120 (G2)
Product vergelijken
|
TruPlasma DC 3160 (G2)
Product vergelijken
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uitgang | |||||||
| Nominaal vermogen | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Maximale uitgangsstroom | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Maximale uitgangsspanning | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Arc-parameter | |||||||
| Maximale Arc-rate | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Arc-energie | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Arc-behandeltijd | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Ontstekingsspanningen | |||||||
| met hulpontsteking | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| zonder hulpontsteking | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Netaansluitgegevens | |||||||
| Netspanning | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Netfrequentie | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Communicatie-interfaces | |||||||
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| Behuizing | |||||||
| Gewicht | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Beschermingsgraad IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Koelingsvereisten | |||||||
| Koelmedium | Water | Water | Water | - | - | - | - |
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Min. drukverschil | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatuur koelmiddel | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC aansluitgegevens | |||||||
| Aantal terminals | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Nominale stroom/terminal | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| Algemeen | |||||||
| Totaal rendement | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Certificaten/standaards | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Omgevingsvoorwaarden | |||||||
| Buitentemperatuur | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Barometrische druk | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
|
TruPlasma DC 3020 (G2)
|
TruPlasma DC 3030 (G2)
|
TruPlasma DC 3040 (G2)
|
TruPlasma DC 3060 (G2)
|
TruPlasma DC 3080 (G2)
|
TruPlasma DC 3120 (G2)
|
TruPlasma DC 3160 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uitgang | |||||||
| Nominaal vermogen | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Maximale uitgangsstroom | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Maximale uitgangsspanning | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Arc-parameter | |||||||
| Maximale Arc-rate | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Arc-energie | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Arc-behandeltijd | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Ontstekingsspanningen | |||||||
| met hulpontsteking | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| zonder hulpontsteking | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Netaansluitgegevens | |||||||
| Netspanning | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Netfrequentie | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Communicatie-interfaces | |||||||
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| RS 232/RS 485 | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| Behuizing | |||||||
| Gewicht | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Beschermingsgraad IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Koelingsvereisten | |||||||
| Koelmedium | Water | Water | Water | - | - | - | - |
| Max. waterdruk | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Min. drukverschil | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatuur koelmiddel | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC aansluitgegevens | |||||||
| Aantal terminals | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Nominale stroom/terminal | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| Algemeen | |||||||
| Totaal rendement | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Certificaten/standaards | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Omgevingsvoorwaarden | |||||||
| Buitentemperatuur | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Barometrische druk | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
De technische gegevens van alle productvarianten als download.
Voordelig alternatief voor pulsgeneratoren
Dankzij hun vooruitstrevende vlamboogbeheer hebben de gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) zich in veel sputterprocessen bewezen. Als voordelig alternatief voor DC-pulsgeneratoren bieden ze tegelijkertijd een duidelijk verhoogde productieopbrengst.
Compact alternatief bij hoger vermogen
Ondanks hun compacte bouwwijze overtreffen de gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) ook duidelijk grotere generatoren op het gebied van coatingkwaliteit en productiviteit. Zelfs bij grote uitgangsvermogens van meer dan 60 kW vormen ze daardoor een compact en dus eenvoudig te integreren alternatief.
Waterkoeling voor langere systeemlooptijden
De gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) zijn uitgevoerd met een volledige waterkoeling. In vergelijking met apparaten met luchtkoeling is hierdoor een langere systeemlooptijd mogelijk, is tegelijkertijd minder onderhoud nodig en wordt vervuiling door naar binnen gezogen stofdeeltjes voorkomen.
Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de gelijkstroomgenerator aan uw toepassing mogelijk.
Meerdere gelijkstroomgenerators uit de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) kunnen synchroon worden gebruikt. In deze modus is het mogelijk de vlamboogherkenning van meerdere generatoren die op verschillende targets zijn uitgelijnd te synchroniseren. Ook de pulsmodus kan worden gesynchroniseerd. Als een groot uitgangsvermogen nodig is, dan is ook een parallelschakeling van tot 5 generators uit de TruPlasma DC-serie 3030 mogelijk. Deze fungeren als eenheid TruPlasma DC 3150.
De waterklepregeling reguleert de koelwaterdoorstroming om condensatie te voorkomen en tegelijkertijd de generator te beschermen tegen oververhitting.
EtherCAT-, maar ook ethernet/IP-interfaces maken eenvoudige integratie van de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) in bestaande installaties mogelijk.
PVD Power
De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant
Contact
Services
Downloads
