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Imagem tecnológica gerador de plasma DC

Geradores de plasma

Os geradores de plasma da TRUMPF Hüttinger fornecem a energia de processamento necessária para muitas indústrias de alta tecnologia e  possibilitam, assim, o revestimento funcional de células e microchips solares, o revestimento de grandes áreas de vidro arquitetônico, e a fabricação de dispositivos semicondutores e telas planas. Graças à sua excepcional precisão, eficiência energética e alta estabilidade de processo, eles estão entre os líderes no mercado.

Geradores de plasma MF

Graças à precisão e produtividade  excepcionais, eles são a solução ideal para inúmeras aplicações com excitação de plasma.

Geradores de plasma pulsados DC

Os geradores de plasma pulsados DC da TRUMPF Hüttinger são ideais para o uso em diversos processos reativos.

Geradores de plasma DC

Os geradores de plasma DC da TRUMPF Hüttinger são os geradores clássicos da formação de plasma.

Geradores de plasma HF

A primeira escolha para aplicações exigentes, tais como a fabricação de dispositivos semicondutores, microchips, células solares ou telas planas.

MW-Plasmageneratoren

Novo

TruPlasma MW Série 1000 / 3000 / 5000

Os geradores de plasma baseados em estado sólido da série TruPlasma MW consistem em um conceito de plataforma inovador e geram as mais altas densidades de plasma para requisitos de processo exigentes. O Nano-Pulse permite que uma ampla variedade de parâmetros de plasma seja ajustada de forma ideal para a aplicação desejada.

MF-Plasmageneratoren

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1)

Os fornecimentos de energia de processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) fornecem resultados excelentes com sinais de saída de forma flexível e uma gestão de arco refinada para a fabricação de células solares e semicondutores, colocação de camadas decorativas e resistentes ao desgaste, bem como o revestimento de vidro arquitetônico. Os geradores da mais nova geração são excelentes para processos de plasma exigentes, como a pulverização catódica reativa, PVD e PECVD.

TruPlasma MF Série 7000

Com os geradores de média frequência TruPlasma Série MF 7000 (G2) você tem sempre o controle total sobre o processo – o resultado são as qualidades de camada sensacionais e a maior produtividade inclusive em aplicações de camada exigentes. Com níveis de eficiência de pico de mais de 90%, essas alimentações de corrente de última geração são também extremamente econômicas na operação.

DC-gepulste Plasmageneratoren

TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2)

As alimentações de corrente de processo da TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) fornecem revestimentos de material rígido especialmente resistentes à corrosão e desgaste e são a primeira escolha para aplicações HIPIMS. Em combinação com substratos polarizados, a TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) também pode ser útil para aplicações de semicondutores, como trench-filling, preparação de superfícies e decapagem.

TruPlasma DC Série 4000 (G2)

O TruPlasma DC Série 4000 (G2) une o excelente tratamento de arcos da TRUMPF Hüttinger às vantagens da tecnologia de pulso de corrente contínua. Assim, você atinge melhores resutados de revestimento com poucos defeitos e taxas de deposição mais altas. O resultado são superfícies brilhantes e um grande desempenho de produção.

DC-Plasmageneratoren

TruPlasma DC Série 3000 ( G2)

Como a nova geração de geradores de corrente contínua, o TruPlasma DC Série 3000 (G2) é adequado para uma variedade de processos de pulverização de corrente contínua. Graças à gestão de arco avançada e à refrigeração de água integrada, os geradores de corrente contínua também são interessantes como alternativa econômica aos geradores de corrente contínua pulsada. A construção extremamente compacta permite a integração simples às aplicações existentes.

TruPlasma Arc Série 3000

Os geradores TruPlasma Arc Série 3000 atraem principalmente em revestimentos decorativos e de materiais rígidos. Devido à sua construção compacta e refrigeração a ar, é possível garantir a utilização ideal da área e a integração simples a sistemas novos ou existentes.

RF-Plasmageneratoren

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)

Os geradores TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) são geradores de alta frequência de última geração. Graças às funções inovadoras, como a tecnologia de acoplamento patenteada CombineLine ou a medição em tempo real de todos os parâmetros de processo, o abastecimento de corrente é garantido mesmo em processos de plasma exigentes – as condições ideais para resultados reprodutíveis e alta produtividade.

TruPlasma RF Série 3000

Os geradores de alta frequência potentes TruPlasma RF Série 3000 se destacam pela alta eficiência e estabilidade de processo. Por isso, eles são ideais para aplicação em processos de plasma exigentes, como a fabricação de telas planas, células solares ou semicondutores. Matchboxes perfeitamente ajustados ao gerador para adaptação de impedância garante uma transferência de potência ideal e estável a qualquer momento do gerador para o plasma.

TruPlasma VHF Série 3000

A máxima potência para seu processo: os geradores TruPlasma VHF Série 3000 se baseiam em um conceito de plataforma inovador que atende às exigências mais rigorosas de processo. O projeto modular dos geradores VHF, que são puramente refrigerados pela água, permite que a potência de saída seja dimensionada em até 80 kW - e isso nos espaços mais apertados!

TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Para o controle de um processo de plasma, o importante é a adaptação exata da impedância de saída do gerador de alta frequência. Isso é feito por Matchboxes do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) como elemento de ligação entre o gerador e o processo. Dessa forma, surge uma solução completa para a alimentação de energia do processo - o sistema catódico TRUMPF.

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