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Gerador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Gerador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)

Máxima potência em onda flexível

Tecnologia bipolar para as maiores exigências

Os abastecimentos de corrente de processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) foram especialmente desenvolvidos para revestimento baseado em plasma por processos de PVD, PECVD e pulverização reativa. Graças ao sinal de saída com formação flexível e a gestão de arco aprimorada, esses pulsadores bipolares de última geração podem ser usados em muitas aplicações. Seja na fabricação de semicondutores e células solares ou ainda em revestimentos de vidro para arquitetura, você pode esperar os melhores desempenhos em qualquer situação no que diz respeito à qualidade de camadas e taxas de revestimento.

Energia de arco extremamente baixa

Gestão de arco totalmente digital para a maior qualidade de camada e produtividade.

Formas de onda ajustáveis

Adaptação simples aos diversos processos por meio da variação do sinal de saída.

Um gerador, muitas aplicações

CC, CC pulsada e bipolar: economia de custos graças às diversas opções de ajuste.

Refrigeração de água integrada

Nenhum componente externo necessário, por isso a pouca necessidade de espaço.
Área de aplicação típica do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): fabricação de camadas resistentes a desgaste

Alimentação elétrica de ponta

As áreas típicas de aplicação são a produção de semicondutores e a produção fotovoltaica, o revestimento de vidro para arquitetura, bem como a fabricação de camadas decorativas e resistentes a desgaste na maior qualidade. Os processos mais usados são principalmente o PVD e PECVD.
Saída          
Potência nominal 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Corrente máx. de saída 25 A rms 50 A rms 75 A rms 100 A rms 150 A rms
Tensão máx. de saída 1000 V rms 1000 V rms 1000 V rms 1000 V rms 1000 V rms
Frequência operacional nominal 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Parâmetros do arco          
Taxa máx. de arco 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Energia Arc 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Tensões de ignição          
com dispositivo de ignição auxiliar 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Dados de conexão de rede          
Tensão de rede 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Frequência de rede 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Factor de potência 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Interfaces de comunicação          
Analógico/Digital sim sim sim sim sim
RS 232 / RS 485 sim sim sim sim sim
PROFIBUS sim sim sim sim sim
EtherCAT sim sim sim
- 		sim sim
DeviceNet sim sim sim
- 		sim sim
Caixa          
Largura 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Altura 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Profundidade 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Peso 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Tipo de protecção IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Requisitos de refrigeração          
Líquido de refrigeração Água Água Água Água Água
Pressão máx. da água 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Diferencial mín. de pressão 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Caudal mín. 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Temperatura do líquido de refrigeração 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Geral          
Nível de eficiência total 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Condições ambientais          
Temperatura externa 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Humidade do ar 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressão barométrica 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
Technical data sheet
Download the technical data of all product variants.
Gestão de arco

Camadas perfeitas, alta produtividade

A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação. Mesmo em processos reativos exigentes, o TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) garante uma alimentação de corrente de processo constante e, assim, o estado estável do plasma.

Aplicação versátil graças à escolha flexível do sinal de saída

Mais flexibilidade, menos custos

Pelas formas de ondas ajustáveis, é possível adaptar os geradores TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) de maneira simples conforme as mais diferentes exigências de processo. Graças à seleção flexível do sinal de saída (CC, CC pulsada ou bipolar), eles podem ser aplicados de diversas maneiras e ajudam a reduzir os custos operacionais gerais.

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) para revestimentos de plasma com PECVD.

Tudo em uma caixa

Graças à caixa do gerador completa protegida contra influências meteorológicas e com refrigeração de água integrada, não são necessários componentes externos.

Software PVD Power fácil de utilizar

PVD Power

O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficiente, exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).

Por meio da seleção de diversos componentes de sistema, é possível ajustar seu gerador de pulsos bipolar da melhor maneira conforme seu ambiente de sistema.

Visão traseira de um gerador do TruPlasma Bipolar Série 4000 G2
Cabo de rede

Há diversas versões de cabos e conectores disponíveis para os mais diferentes padrões.

This product range and information may vary depending on the country. Subject to changes to technology, equipment, price and range of accessories. Please get in touch with your local contact person to find out whether the machine is available in your country.

Whitepaper

PDF - 683 KB
O que importa é a forma: pulverização catódica bipolar
Neste artigo são apresentadas duas características das fontes de alimentação bipolares: (i) uma ampla faixa de frequência de pulso de até 100 kHz e (ii) um tempo de frenagem adicional entre a meia onda positiva e a negativa da forma de onda retangular da corrente e da tensão.
PDF - 942 KB
Senoidal ou retagular
Desde a introdução da pulverização magnetrônica dupla (DMS) para camadas altamente isolantes, existe a escolha entre o pulso de onda quadrada e a fonte de alimentação elétrica de onda senoidal.

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Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
Telephone +49 761 89712115
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Folheto do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)
Folheto do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)
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Whitepaper Shape matters - Bipolar sputtering
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Whitepaper Senoidal ou retangular
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