Pulsadores bipolares da mais nova geração
Os fornecimentos de energia de processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) foram desenvolvidos especialmente para o revestimento com base em plasma por meio dos processos de pulverização catódica reativa, PVD e PECVD e fornecem resultados excelentes com os sinais de saída de forma flexível e uma gestão de arco refinada para a fabricação de células solares e semicondutores, colocação de camadas decorativas e resistentes ao desgaste, bem como o revestimento do vidro arquitetônico.
Gestão de arco totalmente digital para a maior qualidade de camada e produtividade.
Adaptação simples aos diversos processos por meio da variação do sinal de saída.
CC, CC pulsada e bipolar: economia de custos graças às diversas opções de ajuste.
Nenhum componente externo necessário, por isso a pouca necessidade de espaço.
Alimentação elétrica de ponta
As áreas típicas de aplicação são a produção de semicondutores e a produção fotovoltaica, o revestimento de vidro para arquitetura, bem como a fabricação de camadas decorativas e resistentes a desgaste na maior qualidade. Os processos mais usados são principalmente o PVD e PECVD.
Camadas perfeitas, alta produtividade
A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação. Mesmo em processos reativos exigentes, o TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) garante uma alimentação de corrente de processo constante e, assim, o estado estável do plasma.
Mais flexibilidade, menos custos
Pelas formas de ondas ajustáveis, é possível adaptar os geradores TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) de maneira simples conforme as mais diferentes exigências de processo. Graças à escolha flexível do sinal de saída (CC, CC pulsada ou bipolar), eles podem ser usados de várias formas e ajudam a reduzir os custos operacionais em geral (TCO).
Tudo em uma caixa
Graças à caixa do gerador completa protegida contra influências meteorológicas e com refrigeração de água integrada, não são necessários componentes externos.
PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficiente, exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
Por meio da seleção de diversos componentes de sistema, é possível ajustar seu gerador de pulsos bipolar da melhor maneira conforme seu ambiente de sistema.
Há diversas versões de cabos e conectores disponíveis para os mais diferentes padrões.
This product range and information may vary depending on the country. Subject to changes to technology, equipment, price and range of accessories. Please get in touch with your local contact person to find out whether the machine is available in your country.
