Auf über 1000 m² verfügt das TQZ über umfangreiche Testmöglichkeiten: Zwei Plasmakammern erlauben es, Stromversorgungen am realen Plasma zu testen. Eine MF-Plasmakammer, deren Targetlänge einem Standard-Glascoater entspricht, ermöglicht die Prüfung von MF-Generatoren mit großer Leistung. Für HF-, DC- und MF-Generatoren mit kleinerer Leistung ist das TQZ mit einer weiteren Plasmakammer ausgestattet, die über eine 60 Zentimeter lange Magnetron-Sputter-Kathode verfügt.
Darüber hinaus bietet das TQZ eine eigene HALT-Kammer zur Durchführung von beschleunigten Lebensdauertests. Eine Netzsimulations- sowie eine EMV-Anlage runden die Test- und Qualifikationsmöglichkeiten ab.
