Generatoare de plasmă

Generatoarele de plasmă pe bază de mediu solid din seria TruPlasma MW se bazează pe un concept de platformă inovator și generează cele mai mari densități de plasmă pentru cerințe de proces exigente. Nano-impulsurile permit ajustarea optimă a unei game largi de parametri de plasmă pentru aplicația dorită.

Grație semnalelor de ieșire configurabile în mod flexibil și gestionării elaborate a arcului, sistemele de alimentare cu energie electrică pentru procese TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2.1) furnizează rezultate excelente la fabricarea celulelor solare și a semiconductorilor, la aplicarea straturilor decorative și rezistente la uzură, precum și la aplicarea straturilor de acoperire pe suprafețe din sticlă arhitecturală. Generatoarele de ultimă generație sunt excelente pentru procese complexe cu plasmă precum pulverizarea reactivă, PVD și PECVD.

Cu ajutorul generatoarelor de frecvenţă medie TruPlasma seria MF 7000 (G2), aveți întotdeauna controlul deplin asupra procesului dumneavoastră - rezultatul constă în calități remarcabile ale stratului și productivitate maximă, chiar și în cazul aplicațiilor de acoperire complexe, pe suprafețe mari. Datorită randamentelor de vârf de peste 90 %, aceste alimentări cu tensiune din cea mai nouă generație sunt în egală măsură deosebit de rentabile în exploatare.

Sistemele de alimentare cu energie de proces TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) furnizează straturi de acoperire cu materiale dure deosebit de rezistente la coroziune și uzură și reprezintă prima alegere pentru aplicațiile HIPIMS. În combinație cu substraturi polarizate, TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) poate gestiona, de asemenea, aplicații care au drept obiect semiconductori, de exemplu, umplerea crestăturilor, tratamentul prealabil al suprafețelor și gravarea.

TruPlasma CC seria 4000 (G2) îmbină gestionarea excelentă a arcului de la TRUMPF Hüttinger cu avantajele tehnologiei cu impulsuri de CC. Astfel, obțineți rezultate mai bune pentru straturile de acoperire, cu mai puține defecte, la o viteză de depunere mai ridicată. Rezultatul: suprafețe strălucitoare și un randament de producție ridicat.

Ca nouă generație de generatoare de curent continuu, TruPlasma CC seria 3000 (G2) este adecvată pentru o multitudine de procese de pulverizare în regim CC. De asemenea, datorită gestionării avansate a arcului și răcirii integrate cu apă, generatoarele CC prezintă interes și în calitate de alternativă avantajoasă din punct de vedere al prețului la generatoarele CC cu impulsuri. Structura foarte compactă permite în plus integrarea facilă în aplicațiile existente.

Generatoarele TruPlasma Arc seria 3000 se remarcă în special în cazul operațiunilor de aplicare a straturilor de acoperire cu materiale dure și decorative. Datorită structurii compacte și funcției de răcire cu aer a acestora, este asigurată o valorificare optimă a suprafeței utile și este facilitată integrarea în sisteme noi sau existente.

Generatorul de înaltă frecvență răcit cu aer TruPlasma RF 1001 Air furnizează o energie de până la 1000 W de înaltă frecvență și de mare precizie, reproductibilă, cu rezoluție extrem de fină, în pași de câte 100 mW, fiind astfel adecvat pentru cele mai diverse aplicații cu plasmă. Indiferent dacă este vorba despre fabricația semiconductorilor, a celulelor solare sau a ecranelor - tehnologia patentată TRUMPF Hüttinger garantează pretutindeni disponibilitate maximă și rezultate optime, grație funcțiilor moderne de proces.

TruPlasma RF seria 1000/3000 (G2/13) sunt generatoare HF din cea mai nouă generație. Grație funcțiilor inovatoare, precum tehnologia de cuplare CombineLine brevetată sau măsurarea în timp real a tuturor parametrilor, este garantată, de asemenea, o alimentare electrică sigură și în cadrul proceselor cu plasmă complexe - condiții optime pentru rezultate reproductibile și o productivitate ridicată.

Generatoarele de înaltă frecvenţă TruPlasma RF seria 3000 de mare putere se remarcă prin cea mai înaltă eficiență și stabilitate a procesului. Prin urmare, acestea sunt adecvate pentru procese complexe cu plasmă, așa cum sunt utilizate, de exemplu, în aplicații pentru fabricarea ecranelor plate, a celulelor solare sau a semiconductorilor. Structurile Matchbox perfect adaptate la generator pentru ajustarea impedanței asigură de fiecare dată un transfer optim și stabil de putere de la generator la plasmă.

Putere ridicată pentru procesul dumneavoastră: generatoarele TruPlasma VHF seria 3000 au la bază un concept inovator tip platformă, care îndeplinește chiar și cele mai exigente cerințe privind procesul. Structura modulară, răcită exclusiv cu apă, a generatoarelor VHF permite creșterea puterii de ieșire până la 80 kW – și aceasta într-un spațiu minim!

Ghidajul complet al unui proces cu plasmă depinde de adaptarea exactă a impedanței de ieșire a generatorului HF. Acest lucru este realizat de Matchbox-urile TruPlasma Match seria 1000 (G2/13), ca element de legătură între generator și proces. În acest mod, rezultă o soluție cuprinzătoare pentru alimentarea electrică a procesului - sistemul RF TRUMPF.