Generator de plasmă de putere robust și performant, cu mediu solid, pentru cele mai mari densități de plasmă și cerințe de proces
Generatoarele TruPlasma din seria MW se bazează pe tehnologia cu mediu solid și ating o precizie de frecvență semnificativ mai mare decât generatoarele cu microunde bazate pe magnetroni. Conceptul inovator al platformei poate realiza în mod eficient și economic cele mai mari densități de plasmă și chiar și cerințe de proces foarte exigente. Designul modular permite, de asemenea, scalarea precisă a puterii de ieșire. Alimentarea cu tensiune rămâne stabilă în permanență, fără a afecta calitatea procesului. În producția de semiconductori, celule solare și ecrane, seria TruPlasma MW asigură cele mai bune rezultate și cea mai mare fiabilitate datorită funcțiilor moderne ale procesului.
Pulsarea inovatoare în intervalul de nanosecunde permite cel mai bun control al procesului cu plasmă.
Reglarea automată a frecvenței garantează un rezultat optim al procesului și o reproductibilitate ridicată.
În sistemele cu mai multe antene, diferite generatoare pot funcționa în sincronicitate de fază și cu impulsuri. Prin variația referințelor de fază între generatoarele individuale, se poate obține o omogenitate a plasmei la scară largă.
Puteți să vă bazați pe funcția generatorului – chiar și în cazul unei nepotriviri, calitatea procesului nu va fi afectată.
Beneficiați de o modulație de frecvență digitală foarte precisă, care asigură rezultate reproductibile ale procesului, cea mai bună calitate a stratului și productivitate.
Interfața digitală EtherCat vă permite să comandați unitatea foarte rapid, în decurs de o milisecundă. Aceasta permit o distribuție precisă a plasmei.
Producția de celule solare
În domeniul fotovoltaic, procesele cu plasmă, cum ar fi pulverizarea sau PECVD, sunt utilizate pentru depunerea și îndepărtarea materialelor. Generatoarele din seria TruPlasma MW pot fi adaptate rapid la diferite procese și garantează o productivitate ridicată și rezultate de primă clasă. Datorită contorizării precise a energiei, se obțin cele mai bune rezultate chiar și în cele mai moderne și solicitante aplicații. În același timp, reglarea de înaltă precizie al puterii permite cea mai bună repetabilitate de la placă la placă.
Producția de semiconductori
Generatoarele de plasmă sunt utilizate pentru o mare varietate de procese cu plasmă în producția de semiconductori – de la gravura uscată la trasarea pe zone în procesele de producție ce implică siliciul. Seria noastră TruPlasma MW oferă o sursă de alimentare electrică optimizată pentru toate aceste procese
Aplicarea de straturi de acoperire pe ecrane plate
Când vine vorba de aplicarea de straturi de acoperire pe ecrane plate, generatoarele noastre TruPlasma MW își arată puterea în procesele cu plasmă, precum PECVD, ALD și RIE.
În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.
