Inovator, modular, scalabil: noua platformă de generatoare de la TRUMPF Hüttinger
Generatoarele TruPlasma VHF seria 3000 au la bază un concept inovator tip platformă, care permite densități de putere maxime și îndeplinește cele mai exigente cerințe în materie de procese. Structura modulară, răcită exclusiv cu apă, permite creșterea puterii de ieșire până la 80 kW. De asemenea, generatoarele VHF compacte conving datorită rentabilității ridicate și design-ului robust.
Oferă un control optim al proceselor cu plasmă pentru transmiterea impulsurilor pe un singur nivel sau pe niveluri multiple.
Astfel, este posibil un control deosebit de flexibil al comportamentului la aprindere al generatorului.
Adaptare automată a frecvenței pentru o coordonare optimă între generator și Matchbox.
Rezultate excelente, reproductibile, datorită modulației digitale de înaltă precizie a frecvenței.
Nu este necesară ajustarea lungimii cablului HF în cazul modificării procesului, prin urmare timpii de pregătire sunt reduși.
Funcționare fiabilă a generatorului, chiar și în cazul adaptării eronate, grație tehnologiei CombineLine.
Producția de celule solare
În sectorul fotovoltaicii, există numeroase domenii de utilizare pentru energia de prelucrare adaptată. În acest sens, se utilizează numeroase procese cu plasmă pentru aplicarea și îndepărtarea materialelor, de ex. procese de pulverizare, PECVD și de gravare. Generatoarele TruPlasma VHF seria 3000 se adaptează în mod optim la procesul respectiv, deoarece gestionarea rapidă a arcului permite controlarea stabilă a plasmei. Astfel, sunt garantate rezultate excelente ale procesului și o productivitate ridicată.
Fabricarea semiconductorilor
La fabricarea semiconductorilor se utilizează diferite procese cu plasmă, de la procese de decapare prin gravare uscată până la flotare zonală, la producerea de siliciu pur. Generatoarele TruPlasma VHF seria 3000 îndeplinesc toate condițiile pentru o alimentare electrică stabilă și optimă pentru fiecare proces, în vederea obținerii unor rezultate excelente, în mod repetat.
Ideal pentru aplicarea unui strat de acoperire pe ecrane plate
Generatoarele TruPlasma VHF seria 3000 sunt ideale pentru procese cu plasmă, precum pulverizarea RIE, ALD, PECVD și RF. Aceste procese sunt utilizate, printre altele, la fabricarea componentelor semiconductoare și a microsistemelor electromecanice (MEMS), precum și pentru aplicarea unui strat de acoperire pe ecrane plate și celule solare.
Adaptare flexibilă la proces
Conceptul modular tip platformă al TruPlasma VHF seria 3000 permite creșterea puterii de ieșire până la 80 kW. Datorită tehnologiei CombineLine implementate, generatorul prezintă, de asemenea, un comportament foarte robust, chiar și în cazul unei adaptări eronate. Gama sa largă de frecvențe, precum și tensiunea de alimentare și lungimea variabilă a cablului permit adaptarea flexibilă la diverse aplicații și locații de instalare din diferite țări.
Eficiență și rentabilitate maximă
Generatoarele HF ale TruPlasma VHF seria 3000 sunt concepute cu cea mai modernă tehnică a semiconductoarelor cu tranzistoarele de putere LDMOS. Tehnica de construcție în plan, cu grad înalt de integrare permite densități de putere maxime la aceeași eficiență energetică ridicată și putere de răcire redusă în mod corespunzător. Astfel, această serie de produse oferă în această gamă de frecvențe o rentabilitate care nu a mai fost atinsă până în prezent și reduce costurile operaționale uzuale de la nivelul pieței.
SystemPort TRUMPF
SystemPort permite funcționarea închisă a circuitului de reglare prin măsurarea semnalului RF direct la intrarea și ieșirea Matchbox. Pentru generatorul RF sunt disponibile valorile măsurate complete. Astfel, parametrii de proces pot fi monitorizați mai bine, Matchbox poate fi mai bine protejată și poate fi garantată o recunoaștere timpurie a arcului. De asemenea, sistemul RF complet poate fi comandat prin intermediul unei interfețe de generator individuale.
Diversele opțiuni permit adaptarea optimă a generatorului VHF la aplicația dumneavoastră.
Gestionarea atent elaborată a arcului reprezintă modulul ideal pentru un control optim al proceselor cu plasmă. Recunoașterea specifică a arcului garantează productivitatea maximă posibilă, protejând în același timp produsul și instalația dumneavoastră.
Formare flexibilă a impulsurilor: forma semnalului de ieșire poate fi adaptată la alegere la cerințele de proces respective.
Soluția brevetată Auto Frequency Tuning permite adaptarea simultană și rapidă a frecvenței și garantează o coordonare optimă între generator și Matchbox. Prin intermediul acestei tehnologii brevetate, un nivel minim de dotare la nivel local nu mai reprezintă un obstacol: sistemul RF este optimizat, permițând cele mai bune rezultate de proces și o reproductibilitate ridicată.
TruControl Power
Software-ul de comandă TruControl Power ușor de utilizat permite punerea în funcțiune confortabilă și monitorizarea în siguranță a generatorului de înaltă frecvenţă, respectiv a întregului sistem RF TRUMPF în cadrul procesului aflat în derulare.
Prin selectarea componentelor de sistem adecvate, puteți adapta în mod optim generatorul VHF la cerințele aplicației dumneavoastră.
Perfect compatibil: sistemul RF TRUMPF
Procesele cu plasmă se comportă precum o sarcină complexă, variabilă, pe care alimentarea electrică prin intermediul generatorului trebuie să o monitorizeze în mod continuu. Acestea creează rețele de adaptare, așa-numitele Matchbox, care asigură în permanență adaptarea precisă la o impedanță optimă de 50 ohmi. Astfel, rezultă o soluție de sistem perfect coordonată, sistemul RF TRUMPF. Prin intermediul unor interfețe diferite, de ex. EtherCAT, puteți integra în mod facil generatorul și Matchbox și, prin intermediul unei conexiuni inteligente generator-Matchbox, așa-numitul SystemPort, poate rezulta o soluție optimizată de sistem.
În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.
