Echipamente care garantează rezultate excelente ale proceselor
Mergeți la sigur cu aceste generatoare de înaltă frecvenţă: TruPlasma RF seria 3000 se remarcă printr-o structură robustă și o eficiență ridicată. Acestea sunt adecvate în mod optim pentru procese cu plasmă stabile, reproductibile, așa cum sunt utilizate, de exemplu, la fabricarea ecranelor plate, a celulelor solare sau a semiconductorilor. În miile de aplicații de la nivel mondial, aceste generatoare garantează o productivitate ridicată și rezultate remarcabile ale procesului.
Randamentele de până la 80 % permit o reducere a costurilor energetice cu până la aproximativ 50 %.
Control sigur și în cazul proceselor complexe și inovatoare.
Tehnologie CombineLine: protecție fiabilă împotriva puterilor reflectate în cazul unei adaptări eronate.
Funcționarea continuă sau în regim de impulsuri asigură o versatilitate ridicată.
Procese de gravare și acoperire
Generatoarele de înaltă frecvenţă TruPlasma RF seria 3000 sunt adecvate în special pentru procese de gravare și acoperire, de ex. gravare cu plasmă, gravare cu ioni reactivi, ALD și PECVD.
Aplicarea unui strat de acoperire pe piese metalice
Prin intermediul proceselor cu plasmă, materialul poate fi atât aplicat, cât și îndepărtat de pe suprafețe, de exemplu, la acoperirea pieselor metalice cu un strat de protecție împotriva uzurii sau la structurarea componentelor electronice prin intermediul gravării cu plasmă sau a formării foto-rezistente de cenușă cu plasmă.
Aplicarea unui strat de acoperire pe ecrane plate și celule solare
Generatoarele de înaltă frecvenţă TruPlasma RF seria 3000 sunt ideale pentru procese cu plasmă, precum pulverizarea RIE, ALD, PECVD și RF. Aceste procese sunt utilizate, printre altele, la aplicarea unui strat de acoperire pe ecrane plate și celule solare.
Cea mai înaltă eficiență și stabilitate a procesului
Înjumătățirea pierderii de putere și scăderea consumului de apă de răcire printr-un randament excelent - minimizarea costurilor dumneavoastră operaționale. Structura foarte robustă a generatoarelor permite timpi de funcționare mai lungi, chiar și în cazul proceselor critice și astfel, rate de acoperire mai ridicate. Oscilațiile plasmei sunt împiedicate în mod eficient grație tehnologiei CombineLine cu o impedanță de ieșire reală de 50 ohmi; astfel, sunt posibile procese absolut stabile.
Siguranță în toate împrejurările
Structura robustă asigură fiabilitatea și productivitatea maximă a procesului dumneavoastră. O protecție de 100 % împotriva adaptării eronate garantează o funcționare sigură, chiar și în cazul unor sarcini critice. Funcționarea în regim continuu sau cu impulsuri susține un spectru larg de cerințe în materie de proces. La nivel mondial, sunt instalate deja peste 20.000 de unități - mai multe decât orice alt tip de alimentare electrică cu plasmă.
SystemPort TRUMPF
SystemPort permite funcționarea închisă a circuitului de reglare prin măsurarea semnalului RF direct la intrarea și ieșirea Matchbox. Pentru generatorul RF sunt disponibile valorile măsurate complete. Astfel, parametrii de proces pot fi monitorizați mai bine, Matchbox poate fi mai bine protejată și poate fi garantată o recunoaștere timpurie a arcului. De asemenea, sistemul RF complet poate fi comandat prin intermediul unei interfețe de generator individuale.
Diversele opțiuni permit adaptarea optimă a generatorului de înaltă frecvenţă la aplicația dumneavoastră.
Gestionarea atent elaborată a arcului reprezintă modulul ideal pentru un control optim al proceselor cu plasmă. Recunoașterea specifică a arcului garantează productivitatea maximă posibilă, protejând în același timp produsul și instalația dumneavoastră.
TruControl Power
Software-ul de comandă TruControl Power ușor de utilizat permite punerea în funcțiune confortabilă și monitorizarea în siguranță a generatorului de înaltă frecvenţă, respectiv a întregului sistem RF TRUMPF în cadrul procesului aflat în derulare.
Toate componentele sistemului RF TRUMPF sunt armonizate optim între ele.
Compatibilitate perfectă: generator și Matchbox
Procesele cu plasmă se comportă precum o sarcină complexă, variabilă, pe care alimentarea electrică prin intermediul generatorului trebuie să o monitorizeze în mod continuu. Acestea creează rețele de adaptare, așa-numitele Matchbox, care asigură în permanență adaptarea precisă la o impedanță optimă de 50 ohmi. Astfel, rezultă o soluție de sistem perfect coordonată, sistemul RF TRUMPF. Prin intermediul unor interfețe diferite, de ex. EtherCAT, puteți integra în mod facil generatorul și Matchbox și, prin intermediul unei conexiuni inteligente generator-Matchbox, așa-numitul SystemPort, poate rezulta o soluție optimizată de sistem.
În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.
