Уверенное выполнение сложнейших процессов
Устройство TruPlasma DC серии 4000 (G2) было специально разработано для реактивного ионно-плазменного распыления тяжелых материалов с использованием постоянного тока. Преимущества генераторов, работающих от пульсирующего постоянного тока, более всего проявляются при выполнении особенно сложных процессов вакуумного напыления и плазмохимического газофазного осаждения, требующих высочайшего качества слоев при высокой производительности. Компактные технологические системы электропитания постоянного тока могут применяться как в пульсирующем режиме, так и в режиме смещающего напряжения — можно сказать, два устройства в одном корпусе!
Цифровая обработка сигналов гарантирует стабильность технологических процессов и минимальные потери, обусловленные воздействием дуги.
Быстрая дуговая обработка в сочетании с технологией пульсирующего постоянного тока сокращает повреждения подложки до минимума.
Это достигается благодаря широкому диапазону частот и регулируемому напряжению обратной полярности.
Встроенное водяное охлаждение экономит место и сокращает затраты на техническое обслуживание.
Нанесение твердосплавных покрытий
Нанесение функциональных слоев на заготовки, испытывающие большие нагрузки, способствует их поверхностной закалке и повышает трение сцепления, термическую и химическую устойчивость. Генераторы пульсирующего тока TruPlasma DC серии 4000 (G2) обеспечивают стабильность процессов плазменной обработки и, таким образом, оптимальное качество слоев.
Металлизация
Вакуумное напыление позволяет наносить тончайшие слои металла на различные материалы, чтобы придать им оптимальные оптические и электрические характеристики. Электропитание, оптимально настроенное в соответствии с технологическими параметрами, позволяет наносить абсолютно однородные слои без каких-либо дефектов.
Производство фотоэлементов
Для изменения электрических свойств фотоячеек, а также плоских и сенсорных экранов на них наносят покрытие из электропроводных материалов (прозрачных проводящих оксидов, TCO). Генераторы пульсирующего тока TruPlasma DC серии 4000 (G2) наилучшим образом подходят для этих целей, поскольку обладают очень низким уровнем энергии дуги.
Архитектурное стекло
Для нанесения слоев на поверхности из архитектурного стекла большой площади с применением метода вакуумного напыления требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы пульсирующего тока TruPlasma DC серии 4000 (G2) создают идеальные условия для получения высококачественного покрытия.
|
TruPlasma DC 4010 (G2)
|
TruPlasma DC 4020 (G2)
|
TruPlasma DC 4040 (G2)
|
|
|---|---|---|---|
| Выход | |||
| Номинальная мощность | 10 кВт | 20 кВт | 40 кВт |
| Макс. выходной ток | 33 А эфф. | 67 А эфф. | 133 А эфф. |
| Макс. выходное напряжение | 1200 В эфф. | 1200 В эфф. | 1200 В эфф. |
| Номинальная рабочая частота | 0 кГц - 100 кГц | 0 кГц - 100 кГц | 0 кГц - 100 кГц |
| Параметры электродуги | |||
| Макс. интенсивность электродуги | 20000 1/с | 20000 1/с | 20000 1/с |
| Энергия электродуги | <0,3 мДж/кВт | <0,3 мДж/кВт | <0,3 мДж/кВт |
| Время обработки электродугой | <0,1 мкСм | <0,1 мкСм | <0,1 мкСм |
| Значения напряжения поджига | |||
| Со вспомогательным устройством зажигания | 1750 В | 1750 В | 1750 В |
| Без вспомогательного устройства зажигания | 1250 В | 1250 В | 1250 В |
| Параметры подключения к сети | |||
| Сетевое напряжение | 3x 360 В - 528 В | 3x 360 В - 528 В | 3x 360 В - 528 В |
| Сетевая частота | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц |
| Интерфейсы связи | |||
| Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | Да | Да | Да |
| Шина PROFIBUS | Да | Да | Да |
| EtherCAT | Нет | Нет | Нет |
| DeviceNet | Да | Да | Да |
| Корпус | |||
| Вес | 65 кг | 75 кг | 150 кг |
| Класс защиты IP | 40 | 40 | 40 |
| Требования к охлаждению | |||
| Охлаждающая среда | Вода | Вода | Вода |
| Макс. давление воды | 7 бар | 7 бар | 7 бар |
| Мин. разница давления | 3 бар | 3 бар | 3 бар |
| Мин. расход | 8 л/мин | 8 л/мин | 16 л/мин |
| Температура хладагента | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Параметры подключения постоянного тока | |||
| Количество терминалов | 3 | 3 | 3 |
| Номинальный ток/терминал | 25 A | 45 A | 85 A |
| Общая информация | |||
| Суммарный КПД | 90 % | 90 % | 90 % |
| Сертификаты/стандарты | CE | CE | CE |
| Условия окружающей среды | |||
| Наружная температура | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Влажность воздуха | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Барометрическое давление | 86 кПа - 106 кПа | 86 кПа - 106 кПа | 86 кПа - 106 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.
Высокое качество слоев и производительность
Сочетание быстрой дуговой обработки и технологии пульсирующего постоянного тока способствует снижению скорости образования капель и предотвращает появление дефектов поверхности. Количество прерываний процесса, обусловленных воздействием дуги, сокращается до минимума, скорость оседания существенно возрастает.
Легкая адаптация к технологическому процессу
Частота пульсации настраивается в широком диапазоне; кроме того, возможен режим работы генератора постоянного тока со смещающим напряжением. Таким образом, вы можете использовать одно и то же устройство для многих целей применения. Оптимизировать технологический процесс помогают детально проработанные инструменты для мониторинга.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации генератора пульсирующего постоянного тока к вашей цели применения.
Вы можете использовать несколько генераторов постоянного тока TruPlasma DC серии 4000 (G2) в синхронном режиме. Данный метод позволяет синхронизировать процессы распознавания дуги нескольких генераторов, направленных на разные цели. Кроме того, возможна синхронизация режима пульсации.
PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
