Для отображения данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы продолжаете пользоваться веб-сайтом, не меняя настроек файлов куки, мы расцениваем это как ваше согласие на использование файлов куки.
Новинка
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air серии 1000

Точность, на которую можно положиться

    - / -
    • Обзор
    • Возможности применения
    • Технические характеристики
    • Преимущества для клиента
    • Опции
    • Программное обеспечение
    • Больше Меньше

    Высокочастотный генератор с воздушным охлаждением TruPlasma RF 1001 Air производит до 1000 ватт воспроизводимой энергии с очень точным разрешением — шагами по 100 мВт — и таким образом подходит для самых разных способов применения плазмы. Современные функции обработки, присущие запатентованной технологии TRUMPF Hüttinger, гарантируют надежность и лучшие результаты любого процесса: производство полупроводников, фотоэлементов или дисплеев.

    Продуманная автоматическая настройка частоты

    Гарантирует оптимальную и быструю адаптацию частоты и надлежащее взаимодействие генератора и коммутирующей коробки.

    Высокоточное управление дугой

    Надежное управление даже самыми сложными и ранее не опробованными технологическими процессами гарантирует защиту изделия.

    Многоуровневая пульсация

    Многоуровневое, адаптируемое управление формой импульса обеспечивает лучшие результаты обработки в рамках современных плазменных процессов.

    Plug & Play

    Универсальные возможности применения и замены генераторов при изменении технологического процесса или усовершенствовании.

    Стабильные процессы плазменной обработки

    Запатентованная технология CombineLine гарантирует равномерное распределение мощности благодаря полному выходному сопротивлению 50 Ом.

    Универсальная генераторная технология

    Среди изделий разных классов мощности внутри высокочастотной линейки найдутся подходящие варианты для любых технологических требований.

    Независимость от длины высокочастотного кабеля

    При изменении технологического процесса или системы адаптация длины кабеля не требуется.

    Электропитание экстра-класса для нанесения покрытий на плоские экраны

    Высокочастотные генераторы серии TruPlasma RF Air 1000 идеально подходят для плазменных процессов, таких как реактивное ионное травление (РИТ), атомно-слоевое осаждение (АСО), плазмохимическое газофазное осаждение (ПХГФО) и высокочастотное ионно-плазменное распыление. Помимо всего прочего, эти методы применяются при производстве полупроводниковых компонентов и микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также нанесении слоев на плоские экраны и фотоэлементы.

    Производство фотоэлементов

    Наиболее распространенные области применения TruPlasma RF Air серии 1000: сложные процессы ПХГФО, травления и высокочастотного ионно-плазменного распыления в производстве фотоэлементов.

    Технологическая схема радиочастотных плазмогенераторов

    В сфере производства полупроводников используются различные методы плазменной обработки, от снятия слоев путем сухого травления до метода плавающей зоны при изготовлении чистого кремния. Генераторы TruPlasma RF Air серии 1000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного для конкретных процессов, что позволяет получать отличные результаты с высоким уровнем воспроизводимости.

    TruPlasma RF 1001 Air
    Выход RF  
    Выходная мощность 1 кВт
    Номинальная мощность 1 кВт
    Номинальное полное сопротивление нагрузки 50 Ом
    Выходная частота 13,56 мГц
    Параметры подключения к сети  
    Сетевое напряжение 110 - 230 В
    Сетевая частота 50-60 Гц
    Потребляемая сетевая мощность 1,8 кВА
    Коэффициент мощности 0,9
    Интерфейсы связи  
    Синхронные интерфейсы Да
    Аналоговое/цифровое Да
    RS 232/RS 485 Да
    Шина PROFIBUS Да
    EtherCAT Да
    DeviceNet Да
    Корпус  
    Вес 15 кг
    Класс защиты IP 20
    Требования к охлаждению  
    Макс. давление воды N/A бар
    Мин. разница давления N/A бар
    Мин. расход N/A л/мин
    Температура хладагента 5 °C - 35 °C
    Общая информация  
    Суммарный КПД 70 %
    Сертификаты/стандарты SEMI S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
    Условия окружающей среды  
    Наружная температура 5 °C - 40 °C
    Влажность воздуха 5 % - 85 %
    Барометрическое давление 79,5 кПа - 106 кПа
    PDF <1MB
    Технический паспорт

    Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.

    Максимальная производительность и доступность

    Максимальная производительность и доступность

    Универсальная, прочная конструкция высокочастотных генераторов позволяет повысить производительность и сократить производственные расходы.

    Запатентованная технология CombineLine

    Стабильные процессы, воспроизводимые результаты

    Запатентованная технология CombineLine с интеллектуальной функцией калибровки в режиме реального времени гарантирует эксплуатационную готовность TruPlasma RF 1001 Air и надежно предотвращает колебания плазмы и загрязнения.

    Компактность и универсальность

    Благодаря компактной конструкции (вставной отсек ½ -19 дюйм) высокочастотный генератор занимает мало места и идеально вписывается как в новую, так и в уже эксплуатируемую установку. Интеграцию упрощают многочисленные интерфейсы (аналоговый интерфейс с изменяемой конфигурацией, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCat).

    Идеально подходит для применения в процессах протравливания и нанесения покрытий

    С точностью до десятичного разряда

    Точное дозирование энергии с шагом в 100 мВт позволяет достичь при помощи TruPlasma RF 1001 Air лучших результатов даже при использовании в самых сложных современных процессах, таких как АСО. Точная регулировка мощности высокочастотного генератора гарантирует воспроизводимость полупроводниковых пластин.

    Архитектурное стекло

    Лучшие результаты технологического процесса благодаря современным функциям обработки

    Цифровые функции управления, например, продуманная автоматическая настройка частоты 2.0, управление дугой и многоуровневая пульсация, позволяют оптимально адаптировать высокочастотный генератор к соответствующему процессу.

    TruPlasma RF 1003: высокочастотный генератор для максимальной производительности

    Легкая адаптация к производственным условиям заказчика

    Предлагаются генераторы разных классов мощности и частоты, но при этом универсальной конструкции, что упрощает замену при внесении изменений в технологический процесс. Изменение длины кабеля больше не требуется.

    Управление всей высокочастотной системой через TRUMPF SystemPort

    SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки, за счет чего высокочастотному генератору постоянно доступны все результаты измерений. Технологические параметры непрерывно контролируются, что обеспечивает защиту коммутирующей коробки и раннее распознавание дуги генератора.

    Автоматическая настройка частоты
    Продуманная автоматическая настройка частоты

    Запатентованная автоматическая настройка частоты обеспечивает синхронную и быструю адаптацию частоты генератора и коммутирующей коробки. Лучшие результаты технологического процесса и точная воспроизводимость гарантированы.

    Быстрое и точное управление дугой

    Продуманное управление дугой обеспечивает оптимальный контроль процесса плазменной обработки. Целенаправленное распознавание дуги повышает производительность и защищает изделие и установку от повреждений.

    Многоуровневая пульсация

    Новейшие процессы плазменной обработки требуют большей универсальности в импульсном режиме. Любую форму импульса можно получить посредством многоуровневого, регулируемого импульсного режима. Возникает совершенно новый для физики плазмы механизм управления, способствующий лучшим результатам обработки.

    Модуль синхронизации (пульсация, CEX, дуга)

    Модуль синхронизации создает возможность регулируемой, надежной синхронизации нескольких генераторов в комплексных плазменных системах.

    TruControl Power

    Программное обеспечение системы управления с удобным интерфейсом упрощает ввод в эксплуатацию и способствует надежному контролю высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.

    Пользовательский веб-интерфейс

    При помощи интегрированного веб-сервера можно пользоваться высокочастотной системой и обновлять программное обеспечение через веб-браузер.

    В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

    Контакты

    Klaus Nock
    Продажи плазменной техники
    Факс: +49 761 89711150
    Электронная почта

    Загрузки

    Брошюра «Система TruPlasma RF»
    pdf - 6 MB
    Сервисное обслуживание и контакты