Идеальный вариант для технологий HIPIMS
Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) можно без каких-либо изменений использовать в качестве альтернативы генераторам постоянного тока для ионно-плазменного распыления в имеющихся магнетронных системах. С их помощью возможно изготовление твердосплавных покрытий повышенной стойкости к коррозии и износу, поэтому такие генераторы идеально подходят для магнетронного распыления импульсами высокой мощности.
Бесперебойная подача импульсов пиковой мощности до 4 мегаватт создает плазму экстремально высокой плотности с мощными ионными потоками.
Простая адаптация к имеющимся катодным системам и условиям технологического процесса позволяет без труда интегрировать генератор в работающую установку.
Новейшая разработка в сфере импульсных процессов вакуумного напыления — технология HIPIMS — создает твердосплавные покрытия повышенной стойкости к коррозии и износу.
Возможно применение в системах постоянного тока, при этом дополнительный генератор постоянного тока не требуется.

Оптимальные результаты технологического процесса
Лазер высокой пиковой мощности создает высокоионизированную плазму и обеспечивает мощный ионный поток. Это позволяет изготавливать надежно сцепленные и герметичные пленки без капель. В сочетании с поляризованными подложками генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) дают превосходные результаты при травлении и заполнении бороздок.

Цифровая система управления дугой
Возможность настройки длительности и частоты импульсов, расширенные параметры мощности и цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии позволяют выполнять ионно-плазменное распыление без капель, сводят к минимуму дефекты пленки и гарантируют высокое качество слоев и высокую скорость осаждения.

Великолепные покрытия
Высокий уровень энергии и напряжение до 2 кВ позволяют изготавливать высококачественные покрытия как в небольших лабораториях, так и на крупных промышленных установках. Импульсы длительностью до 5 мс и частота до 10 кГц повышают скорость осаждения и помогают снизить общие эксплуатационные расходы.

Высокая стабильность технологического процесса
Регулировка мощности с настраиваемой частотой обеспечивает стабильность параметров осаждения даже во время сложных реактивных процессов. Процесс остается стабильным в течение многих часов и дней без необходимости вмешательства.

Компактный блок
Генераторы серии TruPlasma Highpulse представляют собой единый блок компактных размеров. Внешний источник питания постоянного тока не требуется, охлаждение полностью водяное, что позволяет устанавливать их в чистых помещениях.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации генераторов TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) к вашей цели применения.
Цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии дуги повышает качество слоев и скорость осаждения.

PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.