Комплексное системное высокочастотное решение
Новые коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) представляют собой идеальное дополнение к генераторам TRUMPF Hüttinger. При помощи интеллектуального алгоритма согласования и цифровой платформы контроля технологического процесса создается полноценное решение, в котором все компоненты оптимально взаимодействуют друг с другом, — РЧ-система TRUMPF.
Быстрая, устойчивая и воспроизводимая адаптация полного сопротивления до 50 Ом даже во время критически важных процессов.
Прогрессивное программное обеспечение и улучшенная связь между генератором и коммутирующей коробкой.
Быстрая отладка системы после каждого изменения полного сопротивления коммутирующей коробки и нагрузки.
Оптимальный контроль технологических параметров и раннее распознавание дуги.
Графический интерфейс пользователя и эффективные инструменты (диаграмма Смита, осциллограф, работающий в режиме реального времени).
Производство полупроводников, фотоэлементов и плоских экранов
Решающее значение при производстве полупроводников, фотоэлементов и плоских экранов имеют стабильные процессы плазменной обработки. В сочетании с высокочастотными генераторами TRUMPF Hüttinger коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) создают единое решение, повышающее стабильность и производительность технологических процессов.
Нанесение твердосплавных покрытий и защиты от износа
Нанесение функциональных слоев на заготовки, испытывающие большие нагрузки, повышает их поверхностную механическую прочность, а также термическую и химическую устойчивость. Коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) в сочетании с высокочастотным генератором TRUMPF Hüttinger обеспечивают превосходное качество слоев.
Снятие слоев и нанесение покрытий на поверхности
Коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) можно применять в любых стандартных процессах плазменной обработки с целью нанесения покрытий или снятия слоев с поверхности, например для плазменного травления, реактивного ионного травления, АСО, ПХГФО, радиочастотного ионно-плазменного распыления и плазменного прокаливания фотолака до золы. В сочетании с генератором TRUMPF Hüttinger при этом достигаются оптимальные результаты технологических процессов.
|
TruPlasma Match серии 3000
Сравнить продукт
|
TruPlasma Match серии 6000
Сравнить продукт
|
TruPlasma Match серии 12000
Сравнить продукт
|
TruPlasma Match серии 24000
Сравнить продукт
|
|
|---|---|---|---|---|
| Выход RF | ||||
| Выходная мощность | 3 кВт | 6 кВт | 12 кВт | 24 кВт |
| Номинальная мощность | 3 кВт | 6 кВт | 12 кВт | 24 кВт |
| Выходная частота | 13,56 мГц | 13,56 мГц | 13,56 мГц | 13,56 мГц |
| Параметры подключения к сети | ||||
| Сетевое напряжение | (±10%) 23,5 В - 24,5 В | (±10%) 23,5 В - 24,5 В | (±10%) 87 В - 264 В | (±10%) 87 В - 264 В |
| Сетевая частота | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц |
| Интерфейсы связи | ||||
| Синхронные интерфейсы | Да | Да | Да | Да |
| Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | Да | Да | Да | Да |
| Шина PROFIBUS | Да | Да | Да | Да |
| EtherCAT | Да | Да | Да | Да |
| DeviceNet | Нет | Нет | Нет | Нет |
| Корпус | ||||
| Вес | 15 кг | 8 кг | 27 кг | 30 кг |
| Класс защиты IP | 21 | 21 | 21 | 21 |
| Требования к охлаждению | ||||
| Макс. давление воды | - | - | 6 бар | 6 бар |
| Мин. разница давления | - | - | 1,5 бар | 1,5 бар |
| Мин. расход | - | - | 3,5 л/мин | 5 л/мин |
| Температура хладагента | - | - | 10 °C - 30 °C 1 | 10 °C - 30 °C 1 |
| Общая информация | ||||
| Сертификаты/стандарты | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 |
| Условия окружающей среды | ||||
| Наружная температура | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C |
| Влажность воздуха | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % |
| Барометрическое давление | 800 кПа - 1013 кПа | 800 кПа - 1013 кПа | 800 кПа - 1013 кПа | 800 кПа - 1013 кПа |
|
TruPlasma Match серии 3000
|
TruPlasma Match серии 6000
|
TruPlasma Match серии 12000
|
TruPlasma Match серии 24000
|
|
|---|---|---|---|---|
| Выход RF | ||||
| Выходная мощность | 3 кВт | 6 кВт | 12 кВт | 24 кВт |
| Номинальная мощность | 3 кВт | 6 кВт | 12 кВт | 24 кВт |
| Выходная частота | 13,56 мГц | 13,56 мГц | 13,56 мГц | 13,56 мГц |
| Параметры подключения к сети | ||||
| Сетевое напряжение | (±10%) 23,5 В - 24,5 В | (±10%) 23,5 В - 24,5 В | (±10%) 87 В - 264 В | (±10%) 87 В - 264 В |
| Сетевая частота | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц |
| Интерфейсы связи | ||||
| Синхронные интерфейсы | Да | Да | Да | Да |
| Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | Да | Да | Да | Да |
| Шина PROFIBUS | Да | Да | Да | Да |
| EtherCAT | Да | Да | Да | Да |
| DeviceNet | Нет | Нет | Нет | Нет |
| Корпус | ||||
| Вес | 15 кг | 8 кг | 27 кг | 30 кг |
| Класс защиты IP | 21 | 21 | 21 | 21 |
| Требования к охлаждению | ||||
| Макс. давление воды | - | - | 6 бар | 6 бар |
| Мин. разница давления | - | - | 1,5 бар | 1,5 бар |
| Мин. расход | - | - | 3,5 л/мин | 5 л/мин |
| Температура хладагента | - | - | 10 °C - 30 °C 1 | 10 °C - 30 °C 1 |
| Общая информация | ||||
| Сертификаты/стандарты | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 |
| Условия окружающей среды | ||||
| Наружная температура | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C |
| Влажность воздуха | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % |
| Барометрическое давление | 800 кПа - 1013 кПа | 800 кПа - 1013 кПа | 800 кПа - 1013 кПа | 800 кПа - 1013 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.
Превосходный контроль технологических процессов в любое время
Коммутирующая коробка предназначена для быстрой и непосредственной корректировки полного сопротивления до 50 Ом, что гарантирует непрерывную полную отдачу мощности высокочастотного генератора в процессе обработки. Непрерывная связь между коммутирующей коробкой и генератором обеспечивает оптимальный контроль технологического процесса и раннее распознавание дуги.
Все параметры перед глазами
Функция измерения входной и выходной мощности высокочастотного генератора сигнализирует о динамических изменениях полного сопротивления, а датчики охлаждения позволяют заблаговременно распознавать мощность потерь. Благодаря графическому управляющему программному обеспечению с комплексными опциями отображения (диаграмма Смита, осциллограф, работающий в режиме реального времени) все важные технологические параметры всегда доступны для быстрого просмотра.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации РЧ-системы TRUMPF к вашей цели применения.
Система точного измерения силы переменного тока, предназначенная для распознавания отклонений в плазменной системе, размещена в коммутирующей коробке в непосредственной близости от камеры, в которой выполняется технологический процесс.
Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.
В качестве опции поставляются аналого-цифровой интерфейс, PROFIBUS и EtherCAT. В стандартную комплектацию входят интерфейсы EtherNet, SystemPort и RS 232/485.
TruControl Power
Программное обеспечение системы управления TruControl Power с удобным интерфейсом обеспечивает удобный ввод в эксплуатацию и надежный контроль высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.
Графическое управляющее программное обеспечение
Благодаря комплексному графическому отображению всех основных технологических параметров контролировать их стало намного проще. Полное сопротивление нагрузки и коммутирующей коробки отображаются в виде диаграммы Смита; входная и выходная мощность высокочастотного генератора, включая распределение частот и фазовое положение, визуализируются с помощью осциллографа, работающего в режиме реального времени.
РЧ-система TRUMPF, состоящая из высокочастотного генератора и коммутирующей коробки, представляет собой комплексное решение с идеально согласованными компонентами, способное обеспечить лучшие результаты технологического процесса.
Благодаря комплексному графическому отображению всех основных технологических параметров контролировать их стало намного проще. Полное сопротивление нагрузки и коммутирующей коробки отображаются в виде диаграммы Смита; входная и выходная мощность высокочастотного генератора, включая распределение частот и фазовое положение, визуализируются с помощью осциллографа, работающего в режиме реального времени.
Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.
Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.
Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.
Оптимальный контроль процесса плазменной обработки
Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
Примечания-
Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.
