Robuster und leistungsstarker Solid State Power Plasmagenerator für höchste Plasmadichten und Prozessanforderungen
Die Generatoren der TruPlasma MW Serie basieren auf der Solid State Technologie und erzielen eine deutlich höhere Frequenzgenauigkeit als Magnetron-basierte Mikrowellengeneratoren. Das innovative Plattform-Konzept kann höchste Plasmadichten und selbst sehr anspruchsvolle Prozessanforderungen effizient und wirtschaftlich realisieren. Der modulare Aufbau ermöglicht zudem eine genau Skalierung der Ausgangsleistung. Die Stromversorgung bleibt dabei jederzeit stabil, ohne jegliche Beeinträchtigung der Prozessqualität. In der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen und Displays sorgt die TruPlasma MW Serie dank moderner Prozessfunktionen für beste Ergebnisse und höchste Zuverlässigkeit.
Automatische Frequenzanpassung garantiert ein optimales Prozessergebnis und eine hohe Reproduzierbarkeit.
In Mehrantennensystemen können verschiedene Generatoren phasensynchron betrieben und gepulst werden. Durch Variation der Phasenbezüge zwischen den einzelnen Generatoren lässt sich eine großflächige Plasmahomogenität erreichen.
Verlassen Sie sich auf die Funktion des Generators – auch bei Fehlanpassung wird die Prozessqualität nicht beeinträchtigt.
Profitieren Sie von hochgenauer, digitaler Frequenzmodulation, die für reproduzierbare Prozessergebnisse, höchste Schichtqualität und Produktivität sorgt.
Durch die digitale Schnittstelle EtherCat können Sie das Gerät sehr schnell innerhalb einer Millisekunde steuern. Dies ermöglicht eine präzise Plasmaverteilung.
Herstellung von Solarzellen
Im Bereich der Photovoltaik werden Plasmaprozesse wie Sputtern oder PECVD für den Materialauf- und abtrag eingesetzt. Die Generatoren der TruPlasma MW Serie lassen sich schnell an die verschiedenen Prozesse anpassen und garantieren hohe Produktivität sowie erstklassige Prozessergebnisse. Dank der präzisen Energiedosierung werden auch bei modernsten, anspruchsvollsten Anwendungen beste Ergebnisse erzielt. Dabei ermöglicht die hochpräzise Leistungsregelung beste Wafer-to-Wafer-Wiederholbarkeit.
Herstellung von Halbleitern
Plasmageneratoren kommen für verschiedenste Plasmaprozesse bei der Fertigung von Halbleitern zum Einsatz – vom Trockenätzen bis hin zum Zonenziehen bei der Herstellung von Silizium. Unsere TruPlasma MW Serie bietet eine optimierte Stromversorgungen für all diese Prozesse
Beschichtung von Flachbildschirmen
Bei der Beschichtung von Flachbildschirmen zeigen unsere Generatoren der TruPlasma MW ihre Stärke in Plasmaprozessen wie PECVD, ALD und RIE.
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