Yeni nesil radyo frekansı jeneratörleri
Yüzeylerin kaplanması veya yapılandırılması sırasında, dengeli ve tekrarlanabilir yapıda bir plazma elektrik beslemesinin mevcut olması son derece önemlidir. Bunun için, modern güç teknolojileri ile donatılmış olan TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi radyo frekansı jeneratörleri en iyi koşulları sağlar. Dengeli çıkış gücü ve yüksek ayar hassasiyeti sayesinde, en yüksek verimlilikle en iyi sonuçları elde etmeniz garanti edilir.
CombineLine teknolojisi: 50 Ohm çıkış empedansı sayesinde ideal performans.
HF alanındaki büyük yenilik sayesinde kablo uzunluğu ayarlamaya gerek kalmaz!
CombineLine teknolojisi: Hatalı ayar durumunda yansıyacak güce karşı güvenilir koruma sağlar.
Verimlilik oranında %80'lere varan artış elde edilmesi, enerji maliyetlerinin %50'ye yakın azaltılmasına olanak sağlar.
Ortam havasında kirlenme veya ısınma olmaz, bu nedenle temiz odada çalıştırılabilir.
Düz ekranların kaplanması için idealdir
TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu proses temel olarak yarı iletken yapı elemanlarının ve mikromekanik sistemlerin (MEMS) üretilmesinde ve düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.
Tipik olarak güneş enerjisi endüstrisinde kullanılır
TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisinin tipik uygulama alanları; güneş enerjisi endüstrisindeki zorlu PECVD, dağlama ve HF saçtırma işlemleridir.
Yarı iletken üretimi
Yarı iletkenlerin üretiminde, kuru dağlama ile malzeme sıyırma proseslerinden saf silisyum üretimindeki bölgesel çekmeye kadar çeşitli plazma prosesleri kullanılır. TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve ideal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.
|
TruPlasma RF 1000-2/13
|
TruPlasma RF 1000-3/13
|
|
|---|---|---|
| RF çıkışı | ||
| Çıkış gücü | 2 kW | 3 kW |
| Nominal güç | 2 kW | 3 kW |
| Nominal yük empedansı | 50 Ω | 50 Ω |
| Çıkış frekansı | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Şebeke bağlantı verileri | ||
| Şebeke gerilimi | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Şebeke frekansı | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Şebeke giriş gücü | 3,1 kVA | 4,3 kVA |
| Güç faktörü | 0,95 | 0,95 |
| İletişim arabirimleri | ||
| Sync arabirimler | Evet | Evet |
| Analog/dijital | Evet | Evet |
| RS 232 / RS 485 | Evet | Evet |
| PROFIBUS | Evet | Evet |
| EtherCAT | Evet | Evet |
| DeviceNet | Evet | Evet |
| Gövde | ||
| Ağırlık | 18 kg | 18 kg |
| Koruma sınıfı IP | 30 | 30 |
| Soğutucu talepleri | ||
| Maks. su basıncı | 7 bar | 7 bar |
| Min. basınç farkı | 1,1 bar | 1,1 bar |
| Min. akış miktarı | 4 l/dak | 4 l/dak |
| Soğutma maddesi sıcaklığı | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C 1 |
| Genel | ||
| Toplam etki derecesi | 80 % | 80 % |
| Sertifikalar / Standartlar | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs |
| Çevre şartları | ||
| Dış sıcaklık | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Hava nem oranı | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrik basınç | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.
Prosesinizle optimum uyum
TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi akıllı gerçek zamanlı eşleştirme sistemi, empedans değerinin doğrudan hızlı bir şekilde 50 Ohm seviyesine ayarlanmasına olanak sağlar. Patentli CombineLine teknolojisi ile plazma dalgalanmaları ve kirlenmeler güvenilir şekilde önlenir, fansız soğutma konsepti ile hata oranı düşürülür, verimlilik yükseltilir ve temiz odada kullanıma olanak sağlanır.
Maksimum verimlilik ve esneklik
Verimlilik oranını %80'e kadar yükselterek, enerji maliyetlerinizi klasik jeneratörlere kıyasla %50'ye kadar düşürebilirsiniz. Çok sayıdaki mevcut arabirim (yapılandırılabilir analog arabirim, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) sayesinde mevcut sistemlere entegrasyon kolaylaşır, ultra geniş aralıklı entegre güç üniteleri (200-480 VAC) sayesinde teknik adaptasyonlar yapılmasına gerek kalmaz. Kompakt yapı şekline (19 inç veya ½-19 inç yuva) rağmen yüksek performans gücü, her türlü üretim sistemine yer tasarruflu entegrasyona olanak sağlar.
TRUMPF SystemPort
SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.
Farklı opsiyonlar sayesinde, radyo frekansı jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.
Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.
Patentli Auto Freuquency Tuning sistemi, eşzamanlı ve hızlı frekans uygunlaştırması sağlayarak jeneratör ve Matchbox arasında ideal uyum oluşturur. Bu patentli teknik sayesinde, lokal minimum sonuçlar artık engel olmaktan çıkıyor. RF sistemi en iyi sonuca ulaştırarak sürdürülebilir ve ideal üretim sonuçları sağlamaktadır.
TRUMPF RF sistemini tüm komponentleri birbirleriyle optimum uyum içindedir.
TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.
Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.
Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.
TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.
Birbirleriyle mükemmel uyumlu: TRUMPF RF sistemi
Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
Dipnotlar-
Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.
