Mükemmel proses sonuçları garanti
Bu radyo frekansı jeneratörleri ile her zaman emin olabilirsiniz: TruPlasma RF 3000 Serisi, sağlam yapıları ve yüksek verimlilik ile ön plana çıkar. Bu nedenle düz ekranların, solar hücrelerin veya yarı iletkenlerin üretilmesi gibi zorlu üretimlerde stabil ve tekrarlanabilir plazma üretim süreçlerinin yürütülmesi için idealdir. Dünya genelinde binlerce uygulaması gerçekleştirilen bu jeneratörler, yüksek verimliliği ve olağanüstü proses sonuçlarını garanti eder.
Verimlilik oranında %80'lere varan artış elde edilmesi, enerji maliyetlerinin %50'ye yakın azaltılmasına olanak sağlar.
Zorlu ve yeni üretim prosesleri de güvenle gerçekleştirilebilir.
CombineLine teknolojisi: Hatalı ayar durumunda yansıyacak güçlere karşı güvenilir koruma sağlar.
Sürekli veya palslı güç çıkışı vardır, bu nedenle çok yönlü kullanılabilir.
Dağlama ve kaplama prosesleri
TruPlasma RF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri, özellikle dağlama ve kaplama prosesleri için uygundur, örn. plazma dağlama, reaktif iyon dağlama, ALD ve PECVD.
Metal iş parçalarını kaplama
Plazma prosesleri aracılığıyla yüzeylere malzeme uygulaması yapılabileceği gibi mevcut malzemelerin sıyrılması da mümkündür, örneğin metal iş parçalarının aşınma koruyucu katman ile kaplanması veya elektronik yapı elemanlarının plazma dağlama veya fotorezist plazma küllendirme işlemiyle yapılandırılması için.
Düz ekranları ve solar hücreleri kaplama
TruPlasma RF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu prosesler temel olarak düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.
|
TruPlasma RF 3012
|
TruPlasma RF 3020
|
TruPlasma RF 3024
|
|
|---|---|---|---|
| RF çıkışı | |||
| Çıkış gücü | 12 kW | 20 kW | 24 kW |
| Nominal güç | 12 kW | 20 kW | 24 kW |
| Nominal yük empedansı | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Çıkış frekansı | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Şebeke bağlantı verileri | |||
| Şebeke gerilimi | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V |
| Şebeke frekansı | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Şebeke giriş gücü | 16,6 kVA | 28,1 kVA | 33,3 kVA |
| Güç faktörü | 0,93 | 0,93 | 0,93 |
| İletişim arabirimleri | |||
| Sync arabirimler | Evet | Evet | Evet |
| Analog/dijital | Evet | Evet | Evet |
| RS 232 / RS 485 | Evet | Evet | Evet |
| PROFIBUS | Evet | Evet | Evet |
| EtherCAT | Evet | Evet | Evet |
| DeviceNet | Evet | Evet | Evet |
| Gövde | |||
| Ağırlık | 57 kg | 117 kg | 117 kg |
| Koruma sınıfı IP | 20 | 20 | 20 |
| Soğutucu talepleri | |||
| Maks. su basıncı | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. basınç farkı | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. akış miktarı | 10 l/dak | 20 l/dak | 20 l/dak |
| Soğutma maddesi sıcaklığı | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 |
| Genel | |||
| Toplam etki derecesi | 78 % | 75 % | 75 % |
| Sertifikalar / Standartlar | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs |
| Çevre şartları | |||
| Dış sıcaklık | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Hava nem oranı | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrik basınç | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.
En yüksek verimlilik ve proses istikrarı
Mükemmel verimlilik oranı sayesinde güç kaybı yarıya iner ve soğutma suyu tüketimi düşer - böylece işletim masraflarınız da azalır. Jeneratörlerin son derece sağlam yapıları, kritik önemdeki proseslerde bile daha uzun çalışma süreleri boyunca kullanılmalarına ve dolayısıyla daha yüksek kaplama hızları elde edilmesine olanak sağlar. Gerçek 50 Ohm çıkış empedansı ile CombineLine teknolojisi kullanılarak plazma dalgalanmaları etkin şekilde önlenir - bu sayede mutlak proses istikrarı sağlanabilir.
Tüm koşullar altında güvenlik
Sağlam yapısı sayesinde, proseslerinizde maksimum güvenilirlik ve verimlilik elde etmenizi sağlar. Yanlış ayarlamaya karşı %100 koruma sağlayan sistem, kritik yüklenme durumlarında bile güvenli bir işletim sağlar. Tercihen sürekli veya palsli güç çıkışının kullanılabilmesi, geniş bir yelpazedeki proses gerekliliklerini karşılayabilme olanağı sunar. Dünya genelinde 20.000'i aşın ünitenin kurulumu gerçekleştirilmiştir - diğer tüm plazma elektrik beslemelerinden çok daha fazla sayıdadır.
TRUMPF SystemPort
SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.
Farklı opsiyonlar sayesinde, radyo frekansı jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.
Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.
TruControl Power
Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.
TRUMPF RF sistemini tüm komponentleri birbirleriyle optimum uyum içindedir.
TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.
Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.
Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.
TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.
Birbirleriyle mükemmel uyumlu: Jeneratör ve Matchbox
Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
Dipnotlar-
Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.
