Yenilikçi, modüler, ölçeklenebilir: Yeni TRUMPF Hüttinger jeneratör platformu
TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, en yüksek yoğunluklara olanak sağlayan ve en zorlu proses gerekliliklerini bile karşılayan yenilikçi bir platform konseptini temel alır. Tamamen su soğutmalı modüler yapı, çıkış gücünün 80 kW seviyesine kadar ölçeklenebilmesine olanak sağlar. Kompakt VHF jeneratörler aynı zamanda yüksek verimlilikleri ve sağlam tasarımlarıyla da ön plana çıkar.
Mevcut Single ve Multi-Level Pulsing sistemlerine ek olarak bu yöntem en iyi plazma prosesi kontrolü sağlar.
Bu sayede jeneratör ateşleme davranışı esnek şekilde kumanda edilebilir.
Jeneratör ve Matchbox arasında ideal uyum oluşması için otomatik frekans uygunlaştırma.
Yüksek hassasiyetli dijital frekans modülasyonu sayesinde tekrarlanabilir ve mükemmel proses sonuçları.
Proses değişimlerinde artık HF kablosunda uzunluk ayarı yapmaya gerek yoktur, bu nedenle hazırlık süreleri de daha kısadır.
CombineLine teknolojisi sayesinde, hatalı ayar durumunda bile jeneratör güvenli şekilde çalışmaya devam eder.
Solar hücre oluşturma
Fotovoltaik alanında, uygulamaya özel proses enerjisine yönelik sayısız uygulama alanı mevcuttur. Burada malzeme uygulama ve sıyırma için çeşitli plazma prosesleri kullanılır, örn. püskürtme prosesleri, PECVD ve dağlama prosesleri. TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese en uygun şekilde uyarlanabilir ve hızlı ark yönetimi, plazmanın dengeli şekilde yönetilebilmesine olanak sağlar. Böylece mükemmel proses sonuçlarının elde edilmesi ve yüksek verimliliğin sağlanması garanti edilir.
Yarı iletken üretimi
Yarı iletkenlerin üretiminde, kuru dağlama ile malzeme sıyırma proseslerinden saf silisyum üretimindeki bölgesel çekmeye kadar çeşitli plazma prosesleri kullanılır. TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.
Düz ekranların kaplanması için idealdir
TruPlasma VHF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu proses temel olarak yarı iletken yapı elemanlarının ve mikromekanik sistemlerin (MEMS) üretilmesinde ve düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3000-5/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
|
|---|---|---|---|
| RF çıkışı | |||
| Çıkış gücü | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Nominal güç | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Nominal yük empedansı | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Çıkış frekansı | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz |
| Şebeke bağlantı verileri | |||
| Şebeke gerilimi | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Şebeke frekansı | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Şebeke giriş gücü | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA |
| Güç faktörü | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| İletişim arabirimleri | |||
| Sync arabirimler | Evet | Evet | Evet |
| Analog/dijital | Evet | Evet | Evet |
| RS 232 / RS 485 | Evet | Evet | Evet |
| PROFIBUS | Hayır | Hayır | Hayır |
| EtherCAT | Evet | Evet | Evet |
| DeviceNet | Evet | Evet | Evet |
| Gövde | |||
| Ağırlık | 23 kg | 32 kg | 53 kg |
| Koruma sınıfı IP | 30 | 30 | 30 |
| Soğutucu talepleri | |||
| Maks. su basıncı | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. basınç farkı | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. akış miktarı | 8 l/dak | 8 l/dak | 10 l/dak |
| Soğutma maddesi sıcaklığı | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C |
| Genel | |||
| Toplam etki derecesi | 70 % | 70 % | 70 % |
| Sertifikalar / Standartlar | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Çevre şartları | |||
| Dış sıcaklık | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Hava nem oranı | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrik basınç | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.
Prosesle esnek uyum
TruPlasma VHF 3000 Serisi modüler platform konsepti, çıkış gücünün 80 kW seviyesine kadar ölçeklenebilmesine olanak sağlar. Uygulanan CombineLine teknolojisi sayesinde, hatalı ayar durumunda bile jeneratör son derece sağlam çalışmaya devam eder. Geniş frekans aralığı, esnek şebeke gerilimi ve kablo uzunluğu, farklı uygulamalara ve kullanım alanlarına esnek şekilde uyarlanabilme olanağı sunar.
En verimli ve en ekonomik
TruPlasma VHF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri, tamamen en modern yarı iletken teknolojisi kullanılarak LDMOS güç transistörleri ile yapılandırılmıştır. Yüksek entegrasyonlu düzlemsel yapı teknolojisi, en yüksek yoğunlukların ve aynı zamanda en yüksek enerji verimliliğinin elde edilmesine ve dolayısıyla soğutma gücünün düşürülmesine olanak sağlar. Ayrıca bu ürün ailesi, bu frekans aralığında daha önce hiç olmadığı kadar ekonomik şekilde sunulan çözümlerden oluşur ve piyasa standartlarındaki işletme giderlerini düşürür.
TRUMPF SystemPort
SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.
Farklı opsiyonlar sayesinde, VHF jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.
Patentli Auto Freuquency Tuning sistemi, eşzamanlı ve hızlı frekans uygunlaştırması sağlayarak jeneratör ve Matchbox arasında ideal uyum oluşturur. Bu patentli teknik sayesinde, lokal minimum sonuçlar artık engel olmaktan çıkıyor. RF sistemi en iyi sonuca ulaştırarak sürdürülebilir ve ideal üretim sonuçları sağlamaktadır.
Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sisteminizi korur.
Esnek pals oluşturma: Çıkış sinyalinin biçimi, ilgili proses gerekliliklerine göre istenen şekilde uyarlanabilir.
TruControl Power
Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.
VHF jeneratörü, uygun sistem bileşenlerini seçerek uygulamanızdaki şartlara göre optimum şekilde uyarlayabilirsiniz.
TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.
Set içinde; su bağlantıları, HARTING AC besleme seti, Interlock fonksiyonu için Jumper, BNC female üzeri LEMO EPL adaptörü (Clock and Pulse sync fişi için) yer alır.
Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.
Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.
TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.
Birbirleriyle mükemmel uyumlu: TRUMPF RF sistemi
Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
Dipnotlar-
Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.
