TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

功率最高值的靈活曲線

電漿激發

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

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應用

技術資料

客戶價值

軟體

系統元件

兩極性工藝滿足最高要求

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的供電程序是專門針對藉助PVD（物理蒸氣相沉積）、PECVD（等離子體增強化學蒸氣相沉積）和反應式濺鍍程序的等離子輔助塗層而研發的。憑藉其靈活可塑的輸出信號和精湛的電弧管理使最新款發生器的雙極脈衝發射器具有廣泛用途。無論是半導體和太陽能電池製造還是建築玻璃塗層，任何情況下都可期待高效塗層品質和塗覆率。

極低電弧能量

全數位化電弧管理確保出色的塗層品質和生產效率。

可調波形

透過輸出信號變化輕鬆適配不同工藝。

一臺發生器，多樣化用途

直流電、被動脈衝式直流電和雙極脈衝：得益於多種調整選項可節約成本。

整合的水冷

無需外部部件，因此空間需求極低。

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的典型應用領域：耐磨塗層製造

頂級供電系統

典型應用領域為半導體及光伏生產、建築玻璃塗層以及品質頂尖的裝飾性耐磨塗層製造。此外可特別用於PVD（物理氣相沉積）和PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）處理。

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（多個）產品對比

初始產品您的初始產品

1. 對比機型 2. 對比機型（可選）

立即對比

TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)

	TruPlasma Bipolar 4010 (G2) 產品對比	TruPlasma Bipolar 4020 (G2) 產品對比	TruPlasma Bipolar 4030 (G2) 產品對比	TruPlasma Bipolar 4040 (G2) 產品對比	TruPlasma Bipolar 4060 (G2) 產品對比
輸出口
標稱功率	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
最大輸出電流	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
最大輸出電壓	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
額定運行頻率	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
電弧參數
最大電弧比率	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
電弧能源	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
點火電壓
帶有點火助件	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
電源連接資料
電源電壓	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
電源頻率	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
功率因數	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
通訊介面
類比／數位	是	是	是	是	是
RS 232 / RS 485	是	是	是	是	是
PROFIBUS	是	是	是	是	是
EtherCAT	是	是	是 -	是	是
DeviceNet	是	是	是 -	是	是
外殼
寬度	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
高度	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
深度	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
重量	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
防護等級 IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
冷卻器條件
冷卻介質	水	水	水	水	水
最大水壓	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
最小壓力差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
冷卻介質溫度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
概覽
總功率	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
環境條件
外部溫度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
空氣溼度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
氣壓	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

（多個）產品對比結束對比結束對比	TruPlasma Bipolar 4010 (G2)	TruPlasma Bipolar 4020 (G2)	TruPlasma Bipolar 4030 (G2)	TruPlasma Bipolar 4040 (G2)	TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
輸出口
標稱功率	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
最大輸出電流	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
最大輸出電壓	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
額定運行頻率	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
電弧參數
最大電弧比率	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
電弧能源	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
點火電壓
帶有點火助件	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
電源連接資料
電源電壓	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
電源頻率	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
功率因數	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
通訊介面
類比／數位	是	是	是	是	是
RS 232 / RS 485	是	是	是	是	是
PROFIBUS	是	是	是	是	是
EtherCAT	是	是	是 -	是	是
DeviceNet	是	是	是 -	是	是
外殼
寬度	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
高度	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
深度	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
重量	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
防護等級 IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
冷卻器條件
冷卻介質	水	水	水	水	水
最大水壓	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
最小壓力差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
冷卻介質溫度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
概覽
總功率	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
環境條件
外部溫度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
空氣溼度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
氣壓	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa