TruPlasma RF Air 1000系列

高頻發電機靈活、可靠的設計可提升輸送量並削減運行成本。

已獲專利的CombineLine技術具備智慧即時匹配能力，可確保TruPlasma RF 1001 Air具有最佳可用性，並可靠防止電漿波動與污染。

得益於緊湊的結構（½ 19英寸插入式裝置），此高頻發電機極為節省空間——絕佳適合新安裝或者作為現有設施中的加裝解決方案。眾多可用介面（可配置類比介面、乙太網、DeviceNet、PROFIBUS現場匯流排、EtherCAT）使整合非常簡便。

得益於以100 mW步進的精確能量計量，即使是在ALD（原子層沉積）等最為先進、要求最高的應用中，TruPlasma RF 1001 Air亦可取得最佳結果。高頻發電機的高精度功率調節器確保實現最佳晶圓間可重複性。

智慧自動頻率調諧2.0、電弧管理和多級脈衝等數位控制功能可針對相應工藝流程以最佳效果適配高頻發電機。

可提供一致而功率等級與頻率不同的發生器設計，從而實現在更改工藝流程時輕鬆更換。亦不再需要適配電纜長度。

SystemPort透過直接量測阻抗適配箱輸入端和輸出端上的RF信號，形成閉環控制回路，使高頻發電機能夠隨時獲取所有量測值。由此實現持續監測製程參數、保護阻抗適配箱並確保及早識別電弧。