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TruPlasma Bipolar 4040兩極性發生器
TruPlasma Bipolar 4040兩極性發生器
電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列

塗層品質的最佳結果

最新一代雙極性脈衝發生器

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專爲藉助PVD、PECVD和反應濺射工藝的電漿輔助鍍膜而開發,其憑藉靈活可塑的輸出信號和精湛的電弧管理,在太陽能電池和半導體製造、裝飾性耐磨塗層塗覆以及建築玻璃塗層方面帶來出色成果。

極低電弧能量

全數位化電弧管理確保出色的塗層品質和生產效率。

可調波形

透過輸出信號變化輕鬆適配不同工藝。

一臺發生器,多樣化用途

直流電、被動脈衝式直流電和雙極脈衝:得益於多種調整選項可節約成本。

整合的水冷

無需外部部件,因此空間需求極低。

理想適用於金屬工件鍍膜

頂級供電系統

典型應用領域為半導體及光伏生產、建築玻璃塗層以及品質頂尖的裝飾性耐磨塗層製造。此外可特別用於PVD(物理氣相沉積)和PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)處理。

電弧管理

完美塗層、提高生產效率

完整數位化的電弧管理僅需極低電弧能量,即能保證獲得較高的塗層品質和沉積速率。即使在要求嚴苛的反應工藝中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列仍始終確保穩定的工藝電源,從而保障穩定的等離子體狀態。

透過靈活選擇輸出信號可多樣化使用

靈活性更高、成本更低

透過可調波形能夠使TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列的產生器相當輕鬆地適應不同的處理要求。藉助於輸出信號的靈活選項(直流電、被動脈衝式直流電或雙極脈衝)能夠多樣化使用發生器並就此降低總體經營成本 (TCO)。

TruPlasma Bipolar 4060兩極性發生器

全部整合於一個箱體之中

藉助於水冷裝置的完全整合, 於不受環境影響的產生器箱體內,而無需額外的外部元件。

易於操作的PVD Power軟體

PVD Power

PVD Power多語種軟體易於操作,提供多種操作、配置及診斷選項,以此優化工藝品質並高效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息,由操作人員規定目標值並以較高的時間解析度記錄重要運行參數並實現視覺化(示波器功能)。

透過選擇不同的系統元件,讓您能夠以最佳方式使兩極性脈衝產生器適應您的系統環境。

中頻功率電纜
電源線

提供多種電纜和插頭規格,可用於不同的連接標準。

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