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TruPlasma DC 4000 (G2) 系列 | TRUMPF
TruPlasma DC 4040 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 4000 (G2) 系列

脈衝式工藝確保光亮表面

輕鬆處理困難製程

TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應濺射而開發。以脈衝式直流電工作的該款發生器經受住尤為嚴苛的PVD(物理氣相沉積)和PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)工藝的考驗,這些工藝對塗層品質與生產效率均有極高要求。緊湊型直流電源可在脈衝與偏壓模式下使用——亦即兩種設備集於同一外殼!

出色的塗層品質和生產效率

數位化信號處理讓工藝穩定運行——受電弧限制的時間損失最小化。

在關鍵性鍍膜工藝中也取得最佳結果

快速電弧處理與直流脈衝技術相結合,減少了微滴沉積和基板損壞。

輕鬆適配工藝

得益於寬泛的頻率範圍與可調的反向電壓。

精巧又堅固的結構

整合的水冷裝置節省空間並降低維護成本。

硬質鍍膜

硬質鍍膜

透過施加功能性塗層,承受強大負荷的工件獲得更高的表面硬度和靜摩擦力以及更好的熱穩定性與化學穩定性。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脈衝式產生器實現穩定的電漿工藝和最佳塗層品質。

理想適用于塗覆超薄金屬塗層

金屬噴鍍

藉助PVD工藝可將薄如蟬翼的金屬塗層施加到不同材料上,以賦予其最佳光學與電氣特性。與工藝參數最佳適配的電源實現絕對均勻、毫無缺陷的塗層沉積。

太陽能電池製造

太陽能電池製造

為了影響其電氣特性,太陽能電池、平面顯示器及觸控式螢幕需要鍍膜導電材料 (TCO)。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脈衝式產生器的電弧能量極少,特別適合此類應用。

建築玻璃

建築玻璃

大面積建築玻璃鍍膜在PVD電漿製程中,對電源提出了極高要求。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脈衝式產生器為取得高品質的鍍膜成果提供理想前提。

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TruPlasma DC 4010 (G2)
TruPlasma DC 4020 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
輸出口    
標稱功率 10 kW 20 kW 40 kW
最大輸出電流 33 A eff 67 A eff 133 A eff
最大輸出電壓 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
額定運行頻率 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
電弧參數    
最大電弧比率 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
電弧能源 <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW
電弧處理時間 <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs
點火電壓    
帶有點火助件 1750 V 1750 V 1750 V
無點火助件 1250 V 1250 V 1250 V
電源連接資料    
電源電壓 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V
電源頻率 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
通訊介面    
類比/數位
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
外殼    
重量 65 kg 75 kg 150 kg
防護等級 IP 40 40 40
冷卻器條件    
冷卻介質
最大水壓 7 bar 7 bar 7 bar
最小壓力差 3 bar 3 bar 3 bar
最小流量 8 l/min 8 l/min 16 l/min
冷卻介質溫度 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
DC 連接資料    
終端數目 3 3 3
額定電流/終端 25 A 45 A 85 A
概覽    
總功率 90 % 90 % 90 %
證書 / 標準 CE CE CE
環境條件    
外部溫度 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
空氣溼度 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
氣壓 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
電弧管理

出色的塗層品質和生產效率

快速電弧處理與直流脈衝技術相結合使微滴率降低且表面缺陷減少。受電弧限制的製程中斷降到最少,沉積速率顯著提高。

精心設計的監視工具提供工藝支援

靈活適配製程

脈衝頻率可在寬泛的範圍內調整,此外直流產生器還配備偏壓模式。藉此可將同一臺設備用於眾多應用。精心設計的監控工具有助於優化製程。

不同選項讓脈衝式直流產生器以最佳方式適配應用。

並行運行與同步

多臺TruPlasma DC 4000 (G2) 系列直流產生器可同步運行。對於指向不同目標的多臺產生器,此模式能夠實現電弧的同步識別。脈衝模式也可同步。

易於操作的PVD Power軟體

PVD Power

多語種軟體PVD Power使用者介面易操作,提供多方面的操作、配置及診斷方法,以此優化工藝品質和有效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息、由操作員規定額定值和以較高的時間解析度記錄重要運行參數並進行視覺化(示波器功能)。

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