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Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4040

Excitaciones de plasma

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Máximo rendimiento mediante onda flexible

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Tecnología Bipolar para exigencias máximas

Las alimentaciones eléctricas de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) han sido desarrolladas especialmente para el recubrimiento asistido por plasma mediante procesos PVD, PECVD y de pulverización catódica reactiva. Gracias a su señal de salida configurable de forma flexible y a la sofisticada gestión de arco, estos generadores de impulsos bipolares de última generación permiten una aplicación muy versátil. Ya sea en la fabricación de semiconductores y células solares o en el recubrimiento de vidrio arquitectónico, le ofrecen un rendimiento máximo en cuanto a calidades de capa y velocidades de recubrimiento.

Energía de arco sumamente reducida

Gestión de arco completamente digital para una calidad de capa y una productividad máximas.

Formas de onda ajustables

Adaptación sencilla a distintos procesos gracias a la variación de la señal de salida.

Un generador, muchas aplicaciones

CC, CC por impulsos y bipolar: ahorro de costes gracias a las variadas opciones de ajuste.

Refrigeración por agua integrada

Sin necesidad de componentes externos, por lo que ocupa muy poco espacio.

El ámbito de aplicación típico de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricación de capas resistentes al desgaste

Excelente alimentación eléctrica

Sus ámbitos de aplicación típicos son la producción de semiconductores y fotovoltaica, el recubrimiento de vidrio arquitectónico así como la obtención de capas decorativas y resistentes al desgaste de máxima calidad. Para ello se utilizan principalmente procesos PVD y PECVD.

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Salida
Potencia nominal	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
Corriente de salida máxima	25 A ef	50 A ef	75 A ef	100 A ef	150 A ef
Tensión de salida máxima	1000 V ef	1000 V ef	1000 V ef	1000 V ef	1000 V ef
Frecuencia nominal de servicio	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
Parámetros de arco
Tasa máxima del arco	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
Arco energía	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW
Tensiones de encendido
con ayuda de encendido	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
Datos de conexión de red
Tensión de red	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
Frecuencia de la red	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
Factor de potencia	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Interfaces de comunicación
Analógico/digital	Sí	Sí	Sí	Sí	Sí
RS 232 / RS 485	Sí	Sí	Sí	Sí	Sí
PROFIBUS	Sí	Sí	Sí	Sí	Sí
EtherCAT	Sí	Sí	Sí -	Sí	Sí
DeviceNet	Sí	Sí	Sí -	Sí	Sí
Carcasa
Anchura	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
Altura	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
Profundidad	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
Peso	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
Tipo de protección IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
Requisitos de refrigeración
Refrigerante	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua
Presión máx. del agua	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
Diferencia mín. de presión	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
Caudal mínimo	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
Temperatura del refrigerante	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
General
Grado de rendimiento total	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
Condiciones del entorno
Temperatura exterior	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Humedad del aire	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
Presión barométrica	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

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Salida
Potencia nominal	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
Corriente de salida máxima	25 A ef	50 A ef	75 A ef	100 A ef	150 A ef
Tensión de salida máxima	1000 V ef	1000 V ef	1000 V ef	1000 V ef	1000 V ef
Frecuencia nominal de servicio	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
Parámetros de arco
Tasa máxima del arco	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
Arco energía	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW	0,3 mJ/kW
Tensiones de encendido
con ayuda de encendido	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
Datos de conexión de red
Tensión de red	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
Frecuencia de la red	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
Factor de potencia	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Interfaces de comunicación
Analógico/digital	Sí	Sí	Sí	Sí	Sí
RS 232 / RS 485	Sí	Sí	Sí	Sí	Sí
PROFIBUS	Sí	Sí	Sí	Sí	Sí
EtherCAT	Sí	Sí	Sí -	Sí	Sí
DeviceNet	Sí	Sí	Sí -	Sí	Sí
Carcasa
Anchura	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
Altura	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
Profundidad	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
Peso	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
Tipo de protección IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
Requisitos de refrigeración
Refrigerante	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua
Presión máx. del agua	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
Diferencia mín. de presión	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
Caudal mínimo	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
Temperatura del refrigerante	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
General
Grado de rendimiento total	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
Condiciones del entorno
Temperatura exterior	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Humedad del aire	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
Presión barométrica	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Capas perfectas, alta productividad

La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas. Incluso en procesos reactivos exigentes, la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) garantiza en todo momento una alimentación eléctrica del proceso uniforme y, por consiguiente, un estado de plasma estable.

Versátiles en su aplicación gracias a la selección flexible de la señal de salida

Mayor flexibilidad, costes reducidos

Las formas de onda ajustables le permiten adaptar muy fácilmente los generadores de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) a diversos requisitos de proceso. Gracias a la selección flexible de la señal de salida (CC, CC por impulsos o bipolar), son versátiles en su aplicación y ayudan así a reducir sus costes de servicio totales (TCO).

Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4060

Todo en una sola carcasa

Gracias a la refrigeración por agua completamente integrada en la carcasa del generador, protegida contra las influencias ambientales, no se requieren componentes externos.

PVD Power

El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como de las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario, y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).

Puede seleccionar distintos componentes del sistema para adaptar de forma óptima el generador de impulsos bipolar a su entorno del sistema.

Vista trasera de un generador de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Cable de red

Hay disponibles diversos modelos de cable y clavija para la adaptación a diferentes estándares de conexión.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

Whitepaper

PDF - 683 KB

La forma es lo que cuenta: pulverización catódica bipolar

En este artículo se presentan dos características de las alimentaciones eléctricas bipolares: (i) una amplia gama de frecuencias de pulso de hasta 100 kHz y (ii) un tiempo de frenado adicional entre la semionda positiva y negativa de la forma de onda rectangular de corriente y tensión.

PDF - 942 KB

Sinusoidal o rectangular

Desde la introducción de la pulverización catódica por magnetrón dual (DMS) para capas altamente aislantes, existe la posibilidad de elegir entre una alimentación eléctrica de impulsos de onda cuadrada o de onda sinusoidal.

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