최고 수준의 플라즈마 밀도와 프로세스 요건을 충족하는 견고하고 강력한 솔리드 스테이트 파워 플라즈마 제너레이터
TruPlasma MW 시리즈의 제너레이터는 솔리드 스테이트 기술을 바탕으로 하며 마그네트론 기반 마이크로웨이브 제너레이터보다 크게 높은 주파수 정밀도를 자랑합니다. 혁신적인 플랫폼 컨셉을 통해 최고 수준의 플라스마 밀도와 매우 복잡한 프로세스 요건을 효과적이면서 경제적으로 구현합니다. 또한 모듈 구조는 출력파워를 정확하게 조정할 수 있습니다. 전원 공급은 모든 형태의 프로세스 품질 저하 없이 언제든지 안정적으로 유지됩니다. TruPlasma MW 시리즈는 현대적인 프로세스 기능 덕분에 반도체, 태양광 전지 및 디스플레이 분야 제조공정에서 최고의 결과와 신뢰성을 보장합니다.
자동 주파수 변경 기능이 최적의 프로세스 결과와 높은 반복성을 보장합니다.
여러 대의 제너레이터를 다중 안테나 시스템으로 위상 별로 동기화하여 작동하고 펄싱할 수 있습니다. 개별 제너레이터의 위상 기준이 달라 폭넓은 플라즈마 균일성을 얻을 수 있습니다..
조정 오류가 발생한 경우 또한 제너레이터의 기능이 안정적이기 때문에 프로세스 품질에 영향을 미치지 않습니다.
고정밀 디지털 주파수 변조를 통해 반복 가능한 프로세스 결과와 탁월한 레이어 품질, 그리고 생산성을 얻을 수 있습니다.
디지털 인터페이스인 EtherCat를 통해 밀리초 단위의 속도로 장치를 제어할 수 있습니다. 플라즈마가 정밀하게 분배될 수 있습니다.
태양광 전지 제조
Sputtering 또는 PECVD 등과 같은 플라즈마 프로세스 기술은 태양광 설비 제조 부문에서 물질을 코팅하거나 벗겨내는 용도로 사용됩니다. TruPlasma MW 시리즈 제너레이터는 다양한 프로세스에 맞춰 빠르게 조정할 수 있으며, 높은 생산성과 최고의 프로세스 결과물을 보장합니다. 정확한 에너지 조절 방식 덕분에 가장 현대적이고 까다로운 공정에서도 최고의 결과를 얻을 수 있습니다. 이때 고정밀 출력 제어 기능이 최상의 웨이퍼투웨이퍼 반복 공정을 가능하도록 해줍니다.
반도체 제조
플라즈마 제너레이터는 dry etching 에서 실리콘 생산공정 내 zone refining 공정에 이르기까지 다양한 플라즈마 프로세스에서 반도체 제조에 사용됩니다. 당사의 TruPlasma MW 시리즈는 이 모든 공정을 위한 최적의 전원 공급 솔루션을 제공합니다.
평면 스크린 모니터 코팅
평면 스크린 모니터 코팅 공정의 경우, 당사 TruPlasma MW 시리즈의 제너레이터는 PECVD, ALD 및 RIE 등과 같은 플라즈마 프로세스에서 매우 독보적인 장점을 구현합니다. .
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.
