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TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈

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완벽한 프로세스 제어

TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈를 통해 언제든지 프로세스를 제어할 수 있습니다. 우수한 아크 관리 및 점화 거동을 통해 발진기는 넓은 면적의 코팅(Large Area Coating)과 듀얼 마그네트론 스퍼터링에서의 까다로운 반응 프로세스를 위해 전원을 공급하는 데 가장 적합합니다. 90 % 이상의 피크 효율 및 효율적인 냉각수 관리를 바탕으로 현 세대의 전원 공급 또한 매우 경제적으로 작동합니다.

최고의 층 품질 및 생산성

반응 공정이 최악인 상황에서도 뛰어난 공정 결과 및 높은 코팅률을 보증합니다.

최대 효율

90 % 이상의피크 효율을 바탕으로 80 % 이상의 운전 효율 달성이 가능합니다.

모든 기후 조건에서 안정적인 전원 공급

높은 냉각수 온도 및 낮은 차압에서도 신뢰성 있는 기능

전세계 어디에서든 사용 가능함

가변적인 연결 전압 덕택에 기술적인 조정이 필요 없음

최고 등급의 중간 포맷 전원 공급

건축용 유리의 넓은 코팅면(Large Area Coating): SiOx와 같이 까다로운 물질에는 높은 전원 공급 안정성이 요구됩니다.

얇은 층 도포

평판 디스플레이와 터치 패널 코팅: 듀얼 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 초박막, 고강도의 균질한 AlxOx 박막을 제작할 수 있습니다.

솔라셀 제조

솔라글라스 코팅: TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 안정된 전원 공급은 MF-스퍼터링을 통해 가장 얇은 TCO-층들이 균질하게 적층될 수 있도록 합니다.

최고의 경제성 및 유연성

TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 높은 운전 효율과 유연한 냉각 솔루션은 전체 운전 기간 동안 최고의 경제성을 보장합니다. 까다로운 환경 조건 및 설치 조건에서도 전원 공급은 항상 안정적입니다. 높은 냉각수 온도, 낮은 수압 및 높은 공기 습도는 프로세스 품질을 저하시키지 않습니다. 발진기의 넓은 작동 전압폭 덕택에 기술적인 조정 없이 MF-발진기를 전 세계에서 사용할 수 있습니다.

프로세스 정밀 제어 시스템

간단한 아크 파라미터 설정만으로 코팅 품질과 생산성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 따라서 아크 처리의 감도와 원하는 처리율 간에서 최적의 균형을 잡을 수 있습니다. 이외에도도 다양한 인터페이스와 편리한 운영 소프트웨어인 TruControl Power를 통해 효율적인 컨피규레이션과 진단을 보장합니다.

우수한 아크 관리

높은 반응 속도와 이에 따라 감소된 잔류 에너지는 프로세스를 안정시키고 스퍼터링 속도를 향상시킵니다. 발진기는 타겟에서 아크 형성 및 열 응력을 감지하고 이를 신뢰할만하게 방지합니다. 결과적으로 기판 표면 전체에 완벽하게 균일한 코팅이 생성됩니다. 이외에도 신속하고 확실한 아크 관리를 통해 발진기를 전압 제어된 이행 영역(transition mode)에서 문제 없이 작동시킵니다.

TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈에는 MF-발진기를 사용 요건에 맞게 조정해 줄 수 있는 많은 옵션이 있습니다.

활성화된 배전함 제습 기능

공기 습도가 매우 높은 환경의 경우 발진기 배전함에 활성화된 제습 유닛을 장착할 수 있습니다. 제습 유닛의 작동을 위해 냉각수를 제어해야 합니다.

스위치 캐비닛 도어

특히 180° 개방각도의 넓은 배전함 도어를 옵션으로 제공받을 수 있습니다(표준: 130 °C).

모든 경우를 위해 준비됨

TruPlasma MF 7000 시리즈는 Profinet, Profibus, EtherCAT, 아날로그 및 디지털 인터페이스를 통해 기존 설비에 간단하게 통합될 수 있습니다.

초고속 아크 관리

TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈에는 매우 민감한 아크 관리 장치가 장착되어 있습니다(초고속 관리 ≤ 1 mJ/kW, 표준 ≤ 10 mJ/kW). UltraFastTreatment에는 안전 등급 3을 필요로 합니다.

점화 보조 장치

아크 형성 및 열응력이 줄어듭니다. 점화 전압과 램프 타임은 개별적으로 조정할 수 있습니다.

확장된 주파수 범위