You have selected România. Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Pulverizare reactivă | TRUMPF
Wirtschaftlich Oxide und Nitride erzeugen

Pulverizare reactivă

Producerea rentabilă a oxizilor și a nitrurilor

La fel ca în cazul pulverizării pasive (procedeu PVD), la pulverizarea reactivă, are loc atomizarea țintelor. Cu toate acestea, atomii care formează stratul pe substrat nu provin doar de la țintă. Cel puțin o componentă a stratului ulterior provine din faza gazoasă. Gazul reactiv, respectiv componentele sale ionizate reacționează chimic cu materialul țintă sau cu atomii pulverizați ai acestuia. Îmbinările rezultate se depun pe substrat. Astfel, se formează, de exemplu, oxid de zinc (ZnO), la pulverizarea reactivă a zincului într-o plasmă de oxigen sau nitrură de aluminiu (AIN), la pulverizarea aluminiului într-o plasmă de azot. În cazul în care reacția are loc la nivelul țintei, produsul de reacție este pulverizat.