電漿激發

TruPlasma MF 7000 (G2) 系列

同等級最佳

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系統組件

處理過程完全掌控

透過TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可以隨時掌控工藝流程:此款發生器的電弧管理和點火特性獨具優勢,是用於大面積鍍膜(Large Area Coating)以及雙磁控濺射中高要求反應工藝流程的理想供電系統。與此同時,超過 90 % 的頂尖能量轉化率和極為高效的冷卻水管理系統確保極高的運行經濟性。

卓越的塗層品質和生產效率

即使在極其嚴苛的反應工藝流程中,仍能實現出色結果與高沉積速率。

最高效率

憑藉超過 90 % 的頂尖
能量轉化率,運行效率可超過 80 %。

不論環境條件如何均穩定供電

即使在高冷卻水溫度和低壓差條件下,功能依舊可靠。

全球適用

電源電壓可變,因此無需技術適配。

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