Bipolar-Technologie für höchste Ansprüche
Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) wurden speziell für die plasmagestützte Beschichtung mittels PVD-, PECVD- und reaktiven Sputter-Prozessen entwickelt. Dank ihres flexibel formbaren Ausgangssignals und des ausgefeilten Arc-Managements sind diese bipolaren Pulser der neuesten Generation sehr vielseitig einsetzbar. Ob bei der Herstellung von Halbleitern und Solarzellen oder bei der Beschichtung von Architekturglas, Sie können in jedem Fall Höchstleistungen in Bezug auf Schichtqualitäten und Beschichtungsraten erwarten.
Volldigitales Arc-Management für höchste Schichtqualität und Produktivität.
Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozesse durch Variation des Ausgangssignals.
DC, gepulstes DC und Bipolar: Kostenersparnis dank vielfältiger Einstelloptionen.
Keine externen Komponenten erforderlich, daher sehr geringer Platzbedarf.
Stromversorgung der Spitzenklasse
Typische Einsatzgebiete sind die Halbleiter- und Photovoltaik-Produktion, die Architekturglasbeschichtung sowie die Herstellung von dekorativen und verschleißfesten Schichten in höchster Qualität. Dabei kommen insbesondere PVD- und PECVD-Prozesse zum Einsatz.
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TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
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|---|---|---|---|---|---|
| Ausgang | |||||
| Nennleistung | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximaler Ausgangsstrom | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximale Ausgangsspannung | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Nennbetriebsfrequenz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Arc-Parameter | |||||
| Maximale Arc-Rate | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc Energie | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Zündspannungen | |||||
| mit Zündhilfe | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Netzanschlussdaten | |||||
| Netzspannung | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Netzfrequenz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Leistungsfaktor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikationsschnittstellen | |||||
| Analog/Digital | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja |
Ja
- |
Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja |
Ja
- |
Ja | Ja |
| Gehäuse | |||||
| Breite | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Höhe | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Tiefe | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Gewicht | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Schutzart IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Kühlungsanforderungen | |||||
| Kühlmedium | Wasser | Wasser | Wasser | Wasser | Wasser |
| Max. Wasserdruck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. Druckdifferenz | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. Durchflussmenge | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatur Kühlmedium | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Allgemein | |||||
| Gesamtwirkungsgrad | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Umgebungsbedingungen | |||||
| Außentemperatur | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Luftfeuchte | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrischer Druck | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
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TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
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| Ausgang | |||||
| Nennleistung | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximaler Ausgangsstrom | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximale Ausgangsspannung | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Nennbetriebsfrequenz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Arc-Parameter | |||||
| Maximale Arc-Rate | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc Energie | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Zündspannungen | |||||
| mit Zündhilfe | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Netzanschlussdaten | |||||
| Netzspannung | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Netzfrequenz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Leistungsfaktor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikationsschnittstellen | |||||
| Analog/Digital | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja |
Ja
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Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja |
Ja
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Ja | Ja |
| Gehäuse | |||||
| Breite | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Höhe | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Tiefe | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Gewicht | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Schutzart IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Kühlungsanforderungen | |||||
| Kühlmedium | Wasser | Wasser | Wasser | Wasser | Wasser |
| Max. Wasserdruck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. Druckdifferenz | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. Durchflussmenge | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatur Kühlmedium | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Allgemein | |||||
| Gesamtwirkungsgrad | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Umgebungsbedingungen | |||||
| Außentemperatur | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Luftfeuchte | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrischer Druck | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Perfekte Schichten, hohe Produktivität
Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Auch bei anspruchsvollen reaktiven Prozessen gewährleistet die TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) stets eine gleichmäßige Prozessstromversorgung und somit einen stabilen Plasmazustand.
Mehr Flexibilität, geringere Kosten
Über einstellbare Wellenformen können Sie die Generatoren der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) sehr einfach an unterschiedliche Prozessanforderungen anpassen. Dank der flexiblen Wahl des Ausgangssignals (DC, gepulstes DC oder Bipolar) sind sie vielseitig einsetzbar und helfen so, Ihre Gesamtbetriebskosten (TCO) zu senken.
Alles in einem Gehäuse
Dank der vollständig in das vor Umwelteinflüssen geschützten Generatorgehäuses integrierten Wasserkühlung sind keine externen Komponenten erforderlich.
PVD Power
Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener sowie Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskopfunktion).
Durch Auswahl verschiedener Systemkomponenten können Sie den Bipolar-Pulsgenerator bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.
Es stehen verschiedene Kabel- und Steckerausführungen für unterschiedliche Anschlussstandards zur Verfügung.
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
