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VCSEL을 사용한 레이저 열처리

VCSEL 레이저는 다양한 표면 및 소재의 열처리에 사용됩니다. VCSEL 레이저는 건조, 용접, 밀봉, 솔더링 또는 가열과 같은 공정을 최적화합니다. 

건조, 용접, 밀봉 및 가열을 위한 VCSEL 레이저 열처리

많은 산업 공정에서 VCSEL 레이저는 표면 가열을 위한 도구로 사용됩니다. 고강도 적외선 열원으로서 선택적 파장 방사를 사용한 정밀 지향 다이오드 레이저 열처리는 확장 가능하고 에너지 효율적입니다. VCSEL 레이저 어레이는 건조, 용접, 밀봉 솔더링 및 가열을 지원합니다. 또한 플라스틱, 합금 컴포넌트 및 강철 컴포넌트의 적층 가공에서 많은 장점을 제시합니다. 협대역 방사는 플라스틱 용접 또는 표면의 레이저 용융에도 적합합니다. 원칙적으로 정밀한 표면 제어 및 온도 제어가 결정적으로 중요한 모든 공정에 적합합니다. 그 밖에도 VCSEL 가열 시스템은 IR 카메라 또는 파이로미터로 열처리하는 동안 온도 측정을 지원합니다. 레이저 열처리 모듈은 높은 정밀도를 요구하는 유연한 대면적 가열 응용분야에 매우 적합합니다. 기존 가열 방식과 비교하여 사용자는 훨씬 더 많은 유연성, 정밀성 및 비용 절감의 이점을 누릴 수 있습니다.

VCSEL 레이저를 사용한 열처리는 어떻게 작동합니까?

수천 개의 마이크로 레이저(VCSEL)가 단일 칩에 장착되어 있습니다. 이 칩중 56개가 각 에미터에 부착되고 여러 에미터가 하나의 모듈에 결합됩니다. 직사각형 방사면은 수백만 개의 마이크로 레이저를 포함할 수 있으며 몇 kW의 적외선 레이저 출력을 방출할 수 있습니다. VCSEL 모듈은 지향성, 대면적, 직사각형 빔 단면에서 100 W/cm²의 에너지 밀도로 근적외선을 생성합니다. 이러한 방식으로 추가 값비싼 레이저 광학장치나 스캐닝 시스템 없이 정밀하고 국소적인 열처리가 이루어집니다.

산업 제조 공정에서 국소 레이저 열처리의 이점은 무엇입니까?

산업용 열처리를 위한 다이오드 레이저(VCSEL)의 장점

VCSEL 레이저 테크놀로지는 리플로우 오븐 및 핫바를 사용한 가열, 핫엠보싱 또는 줌 광학장치가 있는 레이저와 같은 기존 테크놀로지에 비해 많은 장점을 제공합니다.

열처리 범위의 정밀한 제어

선택 가능한 파장과 국소적 방출 구역은 정밀한 강도 구성 및 면적 구성은 물론 우수한 공정 결과를 가능하게 합니다.

확장 가능한 출력을 장착한 레이저 가열 모듈

필요에 따라 모듈 크기를 조정하십시오: 장착된 이미터의 수를 변경하거나 하우징을 조정할 수 있습니다.

빠른 속도 열처리 공정

VCSEL 가열 시스템의 에너지 밀도는 100 W/cm²로 적외선 램프 또는 할로겐 램프 출력보다 훨씬 더 높습니다.

레이저 열처리를 위한 맞춤형 솔루션

VCSEL 이미터의 수량을 선택하거나 렌즈 기능을 추가하면서 개별 제조 요구사항에 맞게 열 밀도 및 레이저 방사를 조정할 수 있습니다.

전 세계 지원

TRUMPF는 전 세계 고객을 위해 애플리케이션 지원을 제공합니다.

열처리용 VCSEL 레이저는 어디에 사용됩니까?

많은 제조 공정 및 산업 공정에서 VCSEL 레이저 어레이를 통한 가열의 이점을 누릴 수 있습니다. 여기에는 생산 라인 및 조립 라인에서 플라스틱 컴포넌트, 합금 컴포넌트 및 강철 컴포넌트의 용접, 솔더링, 밀봉 및 연화가 포함됩니다.

용접

VCSEL 가열 시스템은 소재를 서로 접합 또는 결합하고, 플라스틱을 용접하며 테이프 배치를 위해 다중 재료 레이어를 처리합니다. 결과: 우수한 견고성 및 약간의 비틀림.

밀봉

VCSEL 가열 시스템에 의해 생성된 열은 다양한 표면 사이에 단단한 결합을 생성합니다. 

건조

습식 코팅 재료의 레이저 열처리는 건조 공정을 효율적으로 가속화합니다.

가열

VCSEL 레이저를 사용한 열처리는 재료를 예를 들어 부드럽게 만들거나 처리량을 증가시킵니다.

솔더링

VCSEL 시스템은 솔더링할 범위를 국소적으로 가열하고 솔더링 시간을 제한합니다. 이 결과는 더 높은 품질과 더 높은 처리량으로 이어집니다.

적층 가공

금속 부품을 3D 프린팅할 때 VCSEL 열처리 덕분에 열 응력이 감소됩니다. VCSEL 시스템은 플라스틱도 용융시켜 3D 프린팅으로 부품을 생성할 수 있습니다.

용접

VCSEL 가열 시스템은 많은 응용분야에서 이용할 수 있습니다. 여기에는 플라스틱 부품의 용접, 가구 패널의 가장자리 결합 또는 복합 소재 제조용 접착 테이프 가열이 포함됩니다.

레이저 투과 용접

플라스틱은 레이저 투과 용접으로 용접할 수 있습니다. 이 공정에서는 두 개의 열가소성 플라스틱이 레이저 빔의 도움으로 결합됩니다. 이 레이저 빔은 부품의 투명 표면층을 관통하고 그 아래에 있는 방사 흡수 부분을 가열합니다. 흡수성 플라스틱 모재가 용융되어 투명한 접합 부분을 융합합니다. VCSEL 가열 시스템은 단일 패스에서 공작물의 응용범위를 동시에 용접하고 가열할 수 있습니다.

Fiber Placement 및 테이프(Tape) 배치 프로세스

VCSEL 시스템은 Fiber 배치 및 테이프 배치 공정을 위한 맞춤형 고출력 레이저 솔루션을 제공합니다. VCSEL 레이저를 사용한 열처리 덕분에 복합 소재는 확장 가능하고 유연한 방식으로 제조될 수 있습니다.

레이저 엣지 용접 (플라스틱 용접)

VCSEL 어레이는 가구 패널의 산업용 생산에 적합합니다. VCSEL 어레이는 매끄러운 가장자리 용융 및 표면 용융을 달성하여 매우 우수한 제품 결과를 얻을 수 있습니다. 콤팩트하고 신뢰할 수 있는 VCSEL 열처리원은 표적화되고 정밀하게 제어할 수 있고 무엇보다도 처리량이 많은 제조 응용 분야에서 탁월한 적외선 레이저 출력을 제공합니다.

밀봉

VCSEL 테크놀로지는 매우 정밀한 빠른 속도의 밀봉을 가능하게 합니다. 이를 통해 예를 들어 배터리 제조를 훨씬 더 효율적으로 만듭니다.

파우치 셀의 밀봉

VCSEL 시스템은 파우치 셀의 밀봉을 3배로 가속화할 수 있습니다. 이를 위해 용접 범위 부근, 파우치 필름의 내부에 용접을 위해 열을 가합니다. 열처리는 매우 정밀한 밀봉도 제공합니다. 이를 통해 필름에 주름이 형성되는 것이 방지되기 때문에, 배터리 셀의 수명이 연장됩니다. 이 공정은 파우치 셀의 품질 및 균질성을 증가시킵니다.

건조

VCSEL 가열 시스템은 예를 들어 배터리 포일 건조와 같은 다양한 규모의 응용분야에서 다용도로 사용됩니다.

배터리 포일 건조

코팅 후 배터리 포일은 활성 물질에서 용매를 제거하기 위해 건조됩니다. 산업용 VCSEL 시스템은 필름 건조와 같은 대면적의 열처리 공정에 최적입니다. 특히 VCSEL 레이저 어레이를 사용한 열처리는 확장 가능성과 에너지 밀도 측면에서 매우 유연합니다. 파장 선택적 적외선 방사를 매우 정확히 국소적으로 제어하여 넓은 표면 범위를 가열할 수 있습니다.

가열

VCSEL 가열 시스템은 강철 및 실리콘 웨이퍼와 같은 특정 재료에 대해 가열될 범위를 정밀하게 처리하기 위해 사용할 수 있습니다.

연화

자동차 산업에서 차체 강재 부품의 국소 연화는 특정 범위를 대상으로 한 열처리에 적합합니다. 여기에는 예를 들어 B 필러가 포함됩니다. VCSEL 솔루션은 고강도 강철 파트를 선택적으로 연화하는 빠르고 쉬운 방법을 제공합니다.

웨이퍼 가열

VCSEL 어레이는 실리콘 웨이퍼의 균질한 가열을 가능하게 합니다. VCSEL 어레이는 매우 균일하고 빠른 가열로 인해 웨이퍼 제조 내의 급속 열처리(Rapid Thermal Processing, RPT)에 이상적입니다. 개별 가열 구역을 매우 정밀하게 제어할 수 있습니다. 레이저 열을 초당 수백 도(Celsius)의 매우 빠른 온도 상승을 가능하게 합니다. 온도 프로파일을 통한 탁월한 국소적 제어 덕분에 VCSEL은 웨이퍼 품질을 향상시킵니다.

Laser-Powered Co-Firing Process

VCSEL 레이저 어레이는 태양전지의 제조를 보다 효율적으로 만듭니다. 태양전지 표면에서 은입자 접점의 연소를 "Firing(소성)"이라고 합니다. 이 공정에 VCSEL 시스템을 사용하면 많은 장점이 있습니다. 레이저 빔으로 빠르게 연소될 때 태양전지만 가열되고 나머지 오븐 영역은 대체로 차갑게 유지됩니다. 열원으로서 레이저 빔은 에너지 효율과 비용 효율을 높입니다. 또한 오븐용 소요 면적이 줄어들고 수명이 연장됩니다. 다이오드 레이저 가열 시스템의 이러한 특성은 생산 비용을 크게 줄일 수 있습니다.

Ultrafast Cell Regeneration

VCSEL 어레이는 태양전지의 효율을 높일 수 있습니다. 단결정 실리콘 태양전지의 조사용 고성능 VCSEL 레이저 모듈은 매우 빠른 재생의 경우 몇 초만에 반응성 붕소 산소의 형성을 지속적으로 방지합니다. 결과: 현저히 증가된 셀 효율. 이 공정은 강도 및 목표 범위의 측면에서 효율적이고 매우 국소화되어 있습니다. Ultrafast Cell Regeneration은 고성능 태양전지의 효율을 크게 증가시킵니다.

Light Soaking

초고속 Light Soaking에서는 VCSEL 가열 시스템에 의해 생성되는 집약적인 방사와 고온을 통해 제조 중 에너지 배리어가 감소됩니다. 이 공정은 태양전지의 내부 저항을 낮추고 더 효율적으로 작동하도록 합니다. 결과적으로 VCSEL 시스템은 태양전지의 효율을 높일 수 있습니다.

솔더링

VCSEL 레이저는 회로 기판의 작은 접점을 솔더링하는데 매우 효율적이며 필요시 기존 테크놀로지보다 더 높은 전력 출력을 공급합니다.

Laser Assisted Soldering (LAS)

LAS에서는 솔더볼이 VCSEL 레이저 적외선 열처리의 도움으로 회로 기판에 직접 솔더링되며, 이 특성은 더 작은 볼 및 피치 작업에 특히 유리합니다. LAS에서 VCSEL 레이저는 고정밀 국소 열처리와 솔더 지점의 최고 품질을 보증합니다. 추가 장점으로 레이저 열처리는 회로 기판의 수명을 연장합니다.

Laser Assistant Bonding (LAB)

LAB 공정은 회로 기판의 플립 칩과 솔더볼을 연결로 사용합니다. VCSEL 시스템은 위에서 칩을 가열하고, 실리콘 플레이트를 통해 전달되는 레이저 에너지는 칩과 회로 기판 사이의 솔더볼을 용융시킵니다. 이를 통해 여러 칩이 있는 완전한 회로 기판의 더 넓은 범위를 다른 솔루션보다 더 높은 전력 출력에서 가열할 수 있습니다.

적층 가공

VCSEL 어레이는 금속 및 플라스틱의 3D 프린팅에 고유한 장점을 제공합니다.

금속 3D 프린팅을 위한 예열
레이저 금속 융용을 통한 부품 생산

체적이 큰 금속 파트를 3D 프린팅할 때, 열 구배는 종종 소결 파트에 부정적인 영향을 미칩니다. 응력은 VCSEL 기반 레이저 열에 의해 위에서부터 최소화할 수 있습니다. 레이저 열이 프린팅된 파트에서 열 응력과 비틀림을 현저히 감소시키기 때문입니다. 이 점은 부품의 향상된 기계적 특성을 보장합니다.

플라스틱 3D 프린팅

집광 광학장치가 있는 수천 개의 개별 주소 지정이 가능한 VCSEL 레이저를 선택적 레이저 소결(SLS)용 광원으로 사용할 수 있습니다. 이 특성은 하나 또는 두 개의 스캐닝 레이저로만 작동하는 기존 SLS 프린터에 비해 엄청난 장점을 제공합니다. 특수한 VCSEL 가열 시스템 덕분에 탁월한 제조 속도와 결합하여 높은 해상도(250 dpi)를 달성할 수 있습니다. 제조 속도는 기존 최고의 플라스틱 3D 프린터보다 약 10배 더 빠릅니다.

작동 중인 열처리 VCSEL 가열 시스템

VCSEL 가열 시스템을 사용한 레이저 열처리의 다양한 사용 가능성 및 테크놀로지에 대해 자세히 알아보세요.

국소 열처리 옵션으로 선택한 면을 직접 조사할 수 있습니다. TruHeat VCSEL 시스템의 방출구역은 정확하고 개별적으로 제어할 수 있습니다.

VCSEL 어레이에서는 방출 구역과 출력 공정 파라미터를 정밀하게 제어하기 위해, 강도 프로파일을 개별적으로 조정할 수 있습니다.

TRUMPF VCSEL 가열 시스템은 어떻게 제조되고 어떻게 사용됩니까?

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9.6 kW VCSEL 가열 시스템을 사용한 웨이퍼 열처리

백서는 특수 9,6 kW VCSEL 가열 시스템으로 Ø 300 mm 실리콘 웨이퍼 가공의 응용 결과를 보여줍니다. 응용 결과 외에도 실리콘 웨이퍼의 급속 열처리(Rapid Thermal Processing (RTP))에서 대면적의 균질한 열처리를 위한 VCSEL 가열 시스템의 장점이 나타납니다.

다음 양식을 작성하면 특별한 배경 정보와 상세한 세부 정부를 당사 백서에서 확인할 수 있습니다.


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VCSEL 가열 시스템 개요
TruHeat VCSEL 시스템

VCSEL 어레이을 기반으로 하는 빔 소스는 방향성 적외선 빔으로 대규모 면적을 가열합니다. 이 경우 VCSEL 가열 시스템의 방출 구역은 높은 정밀도 및 컨트롤을 위해 개별적으로 제어될 수 있습니다.

TRUMPF 어플리케이션, 배터리 셀 버스 바 용접
배터리 셀 및 모듈

배터리 공정 체인을 위한 당사의 레이저 솔루션을 알아보세요. E-모빌리티용 리튬 이온 배터리는 예를 들어 배터리 포일 건조, 포일 밀봉 또는 배터리 포일 천공 시 VCSEL 가열 시스템의 이점을 얻습니다.

TRUMPF VCSEL의 장점

VCSEL은 무엇이며 다른 레이저 다이오드와 비교하여 어떤 장점을 제공합니까? VCSEL Array의 특별한 기능을 가능하게 하는 구조는 무엇입니까? 이 페이지에서, 무엇이 TRUMPF VCSEL을  특별하게 만드는지 그리고 어디에 사용되는지 알아보세요. 

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