플라즈마 여기

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)

유연한 파형의 고출력

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고성능 바이폴라 기술

프로세스 전원 공급 장치 TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)는 PVD, PECVD 및 반응성 스퍼터링 공정과 같은 플라즈마를 이용한 코팅작업을 위해 개발되었습니다. 유연한 파형의 출력과 정교한 아크 관리로 인하여 TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)는 매우 광범위하게 사용될 수 있습니다. 반도체 및 솔라셀의 제조 또는 건축 유리의 코팅, 어느 경우에도 최고 성능의 코팅 품질 및 코팅율을 기대할 수 있습니다.

매우 낮은 아크 에너지

최고의 층 품질 및 생산성을 위한 완전 디지털화된 아크 관리

조정 가능한 파형

출력 신호의 변경으로 인해 상이한 프로세스에 대해 간단한 조정

하나의 발진기, 많은 어플리케이션

직류, 펄스 직류 및 바이폴라: 다양한 설정 옵션 덕분에 비용 절감

내장형 워터 쿨링

외부 컴포넌트가 필요하지 않기 때문에 매우 적은 공간만 필요

TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2)의 전형적인 적용 범위: 내마모성이 있는 코팅 제조

최고 등급의 전원 공급

일반적인 적용 분야는 반도체 및 광전지 생산, 건축 유리 코팅 및 최고 품질의 내마모적 장식 코팅물 제조이며 특히 PVD 및 PECVD 프로세스에 사용됩니다.

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TruPlasma Bipolar 4010(G2)
TruPlasma Bipolar 4020(G2)
TruPlasma Bipolar 4030(G2)
TruPlasma Bipolar 4040(G2)
TruPlasma Bipolar 4060(G2)

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아웃풋
정격 출력	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
최대 출력전류	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
최대 출력전압	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
정격 운전주파수	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
아크 파라미터
최대 아크율	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
아크 에너지	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
점화전압
점화보조장치 포함	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
전원 연결 데이터
전원 전압	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
전원 주파수	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
출력 계수	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
통신 인터페이스
아날로그/디지털	예	예	예	예	예
RS 232 / RS 485	예	예	예	예	예
PROFIBUS	예	예	예	예	예
EtherCAT	예	예	예 -	예	예
DeviceNet	예	예	예 -	예	예
하우징
폭	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
높이	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
깊이	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
중량	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
보호등급 IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
냉각 요건
냉매	워터	워터	워터	워터	워터
최대 수압	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
최소 차압	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
최소 유량	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
냉매 온도	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
일반
총효율	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
주변 조건
외부온도	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
공기습도	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
기압계 압력	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

제품 비교 비교 종료 비교 종료	TruPlasma Bipolar 4010(G2)	TruPlasma Bipolar 4020(G2)	TruPlasma Bipolar 4030(G2)	TruPlasma Bipolar 4040(G2)	TruPlasma Bipolar 4060(G2)
아웃풋
정격 출력	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
최대 출력전류	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
최대 출력전압	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
정격 운전주파수	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
아크 파라미터
최대 아크율	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
아크 에너지	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
점화전압
점화보조장치 포함	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
전원 연결 데이터
전원 전압	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
전원 주파수	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
출력 계수	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
통신 인터페이스
아날로그/디지털	예	예	예	예	예
RS 232 / RS 485	예	예	예	예	예
PROFIBUS	예	예	예	예	예
EtherCAT	예	예	예 -	예	예
DeviceNet	예	예	예 -	예	예
하우징
폭	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
높이	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
깊이	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
중량	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
보호등급 IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
냉각 요건
냉매	워터	워터	워터	워터	워터
최대 수압	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
최소 차압	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
최소 유량	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
냉매 온도	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
일반
총효율	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
주변 조건
외부온도	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
공기습도	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
기압계 압력	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

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완벽한 코팅, 높은 생산성

매우 낮은 아크 에너지를 이용하는 완전 디지털 아크 관리를 통해 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다. TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2)는 매우 까다로운 반응 공정의 경우에서도 항상 균일한 공정 전류 공급 및 안정적 플라즈마 상태를 보장합니다.

더 큰 유연성, 더 낮은 비용

TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2) 발진기는 조정 가능한 파형을 통하여 다양한 공정 요건에 따라 매우 간단하게 조정될 수 있습니다. 이 발진기는 출력 신호(직류, 펄스 직류 또는 바이폴라)를 유연하게 선택할 수 있어서 광범위하게 사용할 수 있으며, 전체 운용 비용(TCO)을 절감할 수 있도록 지원합니다.

모든 것을 하나의 하우징으로

환경 영향으로부터 보호되는 발진기 하우징 내에 완전히 통합된 워터 쿨링 덕분에 외부 컴포넌트가 불필요합니다.

PVD Power

운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)

다양한 시스템 컴포넌트 선택을 통해 바이폴라 펄스 발생기를 시스템 환경에 최상으로 매칭시킬 수 있습니다.