콤팩트한 차세대 DC 발진기
TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2)는 펄스 전원 공급장치의 대체 공정과 같은 다양한 DC 스퍼터링 프로세스에 적합합니다. 보다나은 아크 관리를 위해서 최상의 필름 품질 보증과 현저히 증대된 생산 수율을 제공합니다. 수냉식 DC 발진기는 매우 콤팩트 하여 기존의 공정에 쉽게 적용할 수 있습니다.
동급 최저 아크 에너지
0.3 mJ/kW 이하의 잔류 에너지가 최상의 막 품질 및 높은 증착율을 보장합니다.
높은 출력 밀도
매우 컴팩트한 구조(19 인치 트레이), 이로 인해 더 높은 성능을 간편하게 통합함.
넓은 출력 대역
20 kW - 300 kW의 전력 출력, 이를 통해 더 큰 발진기 대체 가능
수냉식 냉각 시스템
시스템 유효 수명이 증가하고 유지보수 비용이 감소합니다.
간단한 시스템 통합
가변 전원 전압(400 V - 180 V) 및 다양한 데이터 인터페이스
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.
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