혁신, 모듈식, 확장 가능성: TRUMPF의 새로운 발진기 플랫폼
TruPlasma VHF 시리즈 3000의 발진기는 최고의 출력 밀도를 가능하게 하며 매우 까다로운 프로세스 요건도 충족시킬 수 있는 혁신적인 플랫폼 컨셉에 기반을 두고 있습니다. 모듈식 및 순수 수냉식 구조는 최대 80 kW의 전력 출력 스케일링을 가능하게 합니다. 또한 콤팩트한 VHF 발진기는 높은 비용 효율성과 견고한 설계로 확신을 줍니다.
기존의 싱글 및 멀티 레벨 펄싱에 최고의 플라즈마 프로세스 컨트롤을 제공합니다.
이를 통해 발진기 점화 동작을 매우 유연하게 제어할 수 있습니다.
발진기와 매칭 네트워크 간의 최적의 상호 작용을 위한 자동 주파수 조정
초정밀 디지털 주파수 변조 덕분에 재현 가능한 뛰어난 프로세스 결과
프로세스 변경 시에도 고주파 케이블의 길이 조정이 필요 없기 때문에 장착 시간이 짧습니다.
CombineLine 테크놀로지 덕분에 불일치 시에도 신뢰할 수 있는 발진기 기능
솔라셀 제조
광발전 기술의 분야에는 적합한 프로세스 에너지를 위한 수많은 응용 분야가 존재합니다. 이러한 경우 재료 코팅 및 제거를 위한 다양한 플라즈마 공정(예: 스퍼터링 공정, PECVD 공정 및 에칭 공정)이 사용됩니다. TruPlasma VHF 시리즈 3000 발진기를 각 공정에 맞게 최적으로 조정할 수 있고 빠른 아크 관리를 통해 안정적인 플라즈마 제어할 수 있습니다. 따라서 최적의 공정 결과 및 높은 생산성이 보장됩니다.
반도체 제조
반도체 제조 시 건조 에칭을 통한 재료 제거에서 순수 실리콘 제조 시의 존 정제법(zone refining process)까지 다양한 플라즈마 공정이 사용됩니다. TruPlasma VHF 시리즈 3000 발진기는 안정적이고 모든 공정에 맞게 최적으로 조정된 전원 공급에 대한 모든 전제 조건을 제공하여 탁월하고 재현 가능한 결과에 도달할 수 있습니다.
평면 디스플레이 코팅에 이상적임
TruPlasma VHF 3000 시리즈의 발진기는 RIE, ALD, PECVD 및 RF 스퍼터와 같은 플라즈마 프로세스에 매우 적합합니다. 본 프로세스는 특히 반도체 부품 및 미소 기계 시스템(MEMS) 제조 시와 평면 스크린 및 솔라셀 코팅 시에 사용됩니다.
공정에 맞는 유연한 조정
TruPlasma VHF 시리즈 3000의 모듈식 플랫폼 콘셉트는 최대 80 kW의 전력 출력의 스케일링을 가능하게 합니다. 구현된 CombineLine 테크놀로지 덕분에 발진기는 불일치가 발생한 경우에도 매우 견고하게 작동합니다. 넓은 주파수 범위와 가변 전원 전압 및 케이블 길이를 통해 상이한 애플리케이션 및 사용 국가에 맞게 유연하게 조정할 수 있습니다.
높은 효율성 및 경제성
TruPlasma VHF 시리즈 3000의 고주파 발진기는 LDMOS 트랜지스터가 있는 최신 반도체 안에 장착되어 있습니다. 고집적 평면 구조 기술을 통해 에너지 효율이 높아 전력이 감소된 경우에도 최고의 전력 밀도가 가능합니다. 이를 통해 본 제품군은 해당 주파수 영역에서 여태까지 비할 곳이 없었던 경제성을 제공하며, 시장에서 일반적인 운용 비용을 줄입니다.
TRUMPF SystemPort
SystemPort는 Matchbox의 입출력 단에서 직접 RF 신호를 측정하여 제어 가능하게 합니다. RF 발진기에서 모든 측정값을 사용할 수 있습니다. 이를 통해서 공정 파라미터의 모니터링이 향상될 수 있으며, Matchbox가 보호될 수 있으며, 조기 아크 인식을 보장할 수 있습니다. 전체 RF 시스템은 개별적인 발진기 인터페이스를 통해 제어될 수 있습니다.
다양한 옵션을 통해 사용 시 VHF 발진기를 최적으로 조정할 수 있습니다.
정밀한 아크 관리는 최선의 플라즈마 공정 컨트롤을 위한 이상적인 모듈입니다. 적절한 아크 인식은 최고의 생산성을 보장하며, 동시에 제품 및 설비를 보호합니다.
유연한 펄스 형태: 출력 신호의 형태는 각 공정 요건에 맞게 임의로 조정될 수 있습니다.
특허 받은 Auto Freuquency Tuning 솔루션을 통해 신속하면서 동시의 주파수 조정이 가능하며, 발진기와 MatchBOX 간의 최적화된 상호 작용을 보장합니다. 이러한 특허 받은 기술로 인해 국부적인 최소값은 더 이상 장애물이 아닙니다. RF 시스템이 최적의 결과를 이끌어내기 때문에 최상의 공정 결과 및 높은 재현성이 가능합니다.
TruControl Power
사용자 친화적인 제어 소프트웨어 TruControl Power를 통해 고주파 발진기 또는 작동 중인 모든 TRUMPF RF 시스템을 간편하게 작동하고 안전하게 모니터링할 수 있습니다.
적합한 시스템 구성 요소를 선택하여 VHF 발진기를 어플리케이션 요건에 맞게 최적으로 조정할 수 있습니다.
TruPlasma MatchBOX를 통해 발진기에서 방전된 플라즈마에 전력을 최적으로 전송할 수 있습니다. MatchBOX의 가동은 독립적이거나 지능형 발진기의 MatchBOX 연결, 이른바 SystemPort를 진행할 수 있습니다.
액세서리 키트는 물 연결부용 어댑터, HARTING AC 공급용 세트, 인터록 기능용 점퍼, BNC 암 커넥터(Clock and Pulse sync 커넥터용) LEMO EPL 어댑터로 구성됩니다.
마스터 오실레이터는 중요한 동기 플라즈마 프로세스를 안정화시키고 최적화시킵니다. 통합된 디지털 주파수 합성기 및 위상 합성기를 통해 주파수 및 위상의 안정성이 상승하고 위상 위치가 아주 미세하게 증가하도록 설정할 수 있습니다. 주파수 13.56 MHz 및 다양한 주파수 조합에 적합한 다양한 마스터 오실레이터 버전을 선택할 수 있습니다.
HF 전환 장치를 통해 RF-발진기를 다양한 플라즈마 프로세스 스테이션에서 다목적으로 사용할 수 있습니다(예: 순차 프로세스 전원 공급용 또는 다양한 공급점을 가진 시스템에 사용). 고주파 전환 장치는 2개의 전력 등급 또는 아웃풋 2, 3, 4에서 사용할 수 있습니다.
고주파 전력 전달을 위해 50 Ohm 시스템 내 가동에 맞게 특수 고안된 TRUMPF Hüttinger 동축 케이블이 제공됩니다.
완벽한 상호 조화: TRUMPF RF 시스템
플라즈마 공정은 발진기를 통해 전원 공급을 지속적으로 추적해야 하는 복잡하고 가변적인 부하와 같이 작동합니다. 플라즈마 공정은 최적화된 임피던스를 항상 50 Ohm으로 정확하게 조정하는 소위 매칭 네트워크라 하는 활성화된 조정 네트워크를 제공합니다. 이렇게 TRUMPF RF 시스템은 완벽한 상호 조화를 이루는 시스템 솔루션입니다. EtherCAT 등의 다양한 인터페이스를 통해 발진기와 매칭 네트워크는 매우 간단하게 사용자의 프로세스 환경에 통합될 수 있으며, 지능형 발진기 매칭 네트워크 연결, 이른바 SystemPort를 통해서 최적화된 시스템 솔루션을 달성합니다.
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.
