Selectare țară/regiune și limbă
Căutare
Contact
România | RO
Către MyTRUMPF
România | RO
Contact
Către MyTRUMPF
Generator Bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Generator Bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Excitarea plasmei
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2)

Performanță maximă pe unde variabile

Tehnologie bipolară pentru cele mai înalte exigențe

Sursele de alimentare cu energie electrică pentru procese TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2) au fost dezvoltate special pentru acoperire în jet de plasmă prin intermediul proceselor PVD, PECVD și de pulverizare reactivă. Grație semnalului de ieșire flexibil și gestionării elaborate a arcului, aceste generatoare de impuls bipolare din cea mai nouă generație pot fi utilizate pentru o varietate foarte mare de aplicații. Indiferent dacă sunt utilizate la fabricarea semiconductorilor și a celulelor solare sau la aplicarea straturilor de acoperire pe sticlă arhitecturală, acestea asigură în orice situație performanțe maxime în ceea ce privește calitățile straturilor și ratele de acoperire.

Energie extrem de redusă a arcului

Gestionare complet digitală a arcului pentru cea mai înaltă calitate a stratului și productivitate maximă.

Forme configurabile ale undei

Adaptare simplă la diverse procese prin variația semnalului de ieșire.

Un generator, numeroase aplicații

CC, CC cu impulsuri și bipolar: economie a costurilor grație opțiunilor multiple de reglare.

Răcire integrată cu apă

Nu sunt necesare componente externe, prin urmare, necesar de spațiu foarte redus.
Domeniul tipic de utilizare al TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2): realizarea de straturi rezistente la uzură

Alimentare cu tensiune din clasa de vârf

Domeniile tipice de utilizare sunt producția de semiconductori și fotovoltaice, aplicarea straturilor de acoperire pe sticlă arhitecturală, precum și realizarea straturilor decorative și rezistente la uzură la calitate maximă. În acest sens, sunt utilizate în special procese PVD și PECVD.
Ieşire          
Putere nominală 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Curent maxim de ieşire 25 A ef 50 A ef 75 A ef 100 A ef 150 A ef
Tensiune maximă de ieşire 1000 V ef 1000 V ef 1000 V ef 1000 V ef 1000 V ef
Frecvenţă nominală de funcţionare 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Parametru Arc          
Rată maximă Arc 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc Energie 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Tensiuni de aprindere          
cu asistent de aprindere 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Date de racordare la reţea          
Tensiune de alimentare 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Frecvenţa reţelei 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Factor de putere 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Interfeţe de comunicare          
Analog/Digital Da Da Da Da Da
RS 232 / RS 485 Da Da Da Da Da
PROFIBUS Da Da Da Da Da
EtherCAT Da Da Da
- 		Da Da
DeviceNet Da Da Da
- 		Da Da
Carcasă          
Lăţime 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Înălţime 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Adâncime 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Greutate 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Grad de protecţie IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Cerinţe privind răcirea          
Agent de răcire Apă Apă Apă Apă Apă
Presiune max. a apei 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Presiune diferenţială min. 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Debit min. 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Temperatură agent de răcire 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
General          
Randament total 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Condiţii ambientale          
Temperatură exterioară 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Umiditatea aerului 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Presiune barometrică 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
Fișă de date tehnice
Datele tehnice ale tuturor variantelor de produs disponibile sub formă de materiale care pot fi descărcate.
Gestionarea arcului

Straturi perfecte, productivitate ridicată

Gestionarea complet digitală, cu energie redusă a arcului permite o calitate înaltă a straturilor și viteze de depunere ridicate. Chiar și în cazul proceselor reactive complexe, TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2) garantează întotdeauna o sursă constantă de alimentare electrică a procesului și astfel, o stare stabilă a plasmei.

Posibilități multiple de utilizare, grație modului flexibil de selectare a semnalului de ieșire

Mai multă flexibilitate, costuri reduse

Prin intermediul formelor configurabile ale undelor, puteți adapta foarte simplu generatoarele TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2) la diverse cerințe ale procesului. Grație selectării flexibile a semnalului de ieșire (CC, CC cu impulsuri sau bipolar), acestea pot fi utilizate pentru o multitudine de aplicații, contribuind astfel la scăderea costurilor generale de exploatare (TCO).

Generator Bipolar TruPlasma Bipolar 4060

Totul într-o carcasă

Datorită sistemului de răcire cu apă integrat complet în carcasa generatorului protejată împotriva influențelor mediului, nu sunt necesare niciun fel de componente externe.

Software PVD Power ușor de utilizat

PVD Power

Software-ul PVD Power ușor de utilizat, disponibil în mai multe limbi, vă oferă posibilități multiple de operare, configurare și diagnosticare pentru optimizarea calității procesului și remedierea eficientă a erorilor: afișarea valorilor reale pentru toți parametrii relevanți ai procesului, precum și a avertismentelor și a mesajelor de alarmă, specificarea valorilor nominale de către utilizator, precum și înregistrarea și vizualizarea parametrilor tehnologici importanți cu o rezoluție temporală ridicată (funcție osciloscop).

Prin selectarea diverselor componente de sistem, puteți adapta în mod optim generatorul bipolar de impulsuri la mediul sistemului dumneavoastră.

Vedere din spate a unui generator TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2)
Cablu de rețea

Sunt disponibile diverse variante de cablu și ștechere pentru diferite standarde de conectare.

În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.

Whitepaper

PDF - 683 KB
Forma este cea care contează: pulverizarea bipolară
În acest articol sunt prezentate două caracteristici ale alimentărilor cu tensiune bipolare: (i) o gamă largă de frecvențe de impulsuri de până la 100 kHz și (ii) un timp de frânare suplimentar între jumătatea de undă pozitivă și cea negativă a formei de undă dreptunghiulare a curentului și tensiunii.
PDF - 942 KB
Sinusoidal sau dreptunghiular
De la introducerea pulverizării magnetronice duale (DMS) pentru straturile cu grad ridicat de izolare, a existat posibilitatea de a selecta între alimentarea cu tensiune cu impulsuri cu undă pătrată și cea cu undă sinusoidală.

V-ar putea interesa și aceste subiecte

Adecvat în mod ideal pentru aplicarea straturilor de acoperire pe suprafețe mari
Alimentări cu tensiune pentru procesele dumneavoastră pe bază de plasmă

Generatoarele cu plasmă de la TRUMPF Hüttinger dispun de o gamă largă de putere și frecvență. Informați-vă aici despre produsele noastre.
TRUMPF Hüttinger Worldwide
Date de contact TRUMPF Hüttinger

Sunteți interesat de un produs sau aveți nevoie de un sfat? Aici veți găsi persoanele de contact din întreaga lume.
Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040
Special pentru procese de pulverizare complexe

Generatoarele TruPlasma CC seria 3000 (G2) sunt adecvate în mod optim pentru procedeele de aplicare a straturilor de acoperire utilizate în industria de fabricare a celulelor solare și pentru aplicarea straturilor de acoperire pe sticlă arhitecturală.
Contact
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
Telefon +49 761 89712115
E-mail
Servicii
Acord de servicii Aflați mai multe Serviciu de asistență tehnică Aflați mai multe Cursuri Aflați mai multe Piese originale Aflați mai multe
Descărcări
Broșură TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2)
Broșură TruPlasma Bipolar seria 4000 (G2)
pdf - 1 MB
Whitepaper Shape matters - Bipolar sputtering
pdf - 683 KB
Cartea albă cu privire la sinus sau dreptunghi
pdf - 942 KB