Epitaxie ist ein Prozess, bei dem einkristalline Schichten, z.B. aus Silizium, auf einkristallinen Substraten gleichen Materials erzeugt werden. Die Substrate befinden sich auf einem induktiv beheizten Suszeptor aus Graphit - wobei sehr hohe Anforderungen an die Temperaturhomogenität gestellt werden. Epitaxie wird unter anderem bei der Herstellung von LEDs eingesetzt. TRUMPF Hüttinger Mittelfrequenz-Generatoren liefern die notwendige Prozessenergie zuverlässig und stabil.
Reinstes Wachstum Schicht für Schicht
Epitaxie
Reinstes Wachstum Schicht für Schicht
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TruHeat MF Serie 3000 / 5000 / 7000
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