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Reinstes Wachstum Schicht für Schicht

Epitaxie

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Epitaxy

Epitaxie ist ein Prozess, bei dem einkristalline Schichten, z.B. aus Silizium, auf einkristallinen Substraten gleichen Materials erzeugt werden. Die Substrate befinden sich auf einem induktiv beheizten Suszeptor aus Graphit - wobei sehr hohe Anforderungen an die Temperaturhomogenität gestellt werden. Epitaxie wird unter anderem bei der Herstellung von LEDs eingesetzt. TRUMPF Hüttinger Mittelfrequenz-Generatoren liefern die notwendige Prozessenergie zuverlässig und stabil.

Produkte

Leistungsstarker Induktionsgenerator: TruHeat MF 5040
TruHeat MF Serie 3000 / 5000 / 7000

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Mittelfrequenzgenerator der TruHeat MF Serie 7000 (G2) für induktive Erwärmung
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