Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen
Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!
Digitale Signalverarbeitung garantiert stabile Prozesse und minimale Arc-bedingte Zeitverluste.
Schnelle Arc-Behandlung in Kombination mit DC-Pulstechnologie minimiert Substratschädigungen.
Dank breitem Frequenzspektrum und anpassbarer Reverse-Voltage.
Die integrierte Wasserkühlung spart Platz und reduziert den Wartungsaufwand.
Hartstoffbeschichtung
Durch Aufbringung funktioneller Schichten erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte Randhärte und Haftreibung sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.
Metallisierung
Mittels eines PVD-Prozesses lassen sich hauchdünne Metallschichten auf verschiedene Materialien aufbringen, um diesen optimale optische und elektrische Eigenschaften zu verleihen. Eine optimal an die Prozessparameter angepasste Stromversorgung ermöglicht die Abscheidung absolut homogener, defektfreier Schichten.
Solarzellenherstellung
Zur Beeinflussung ihrer elektrischen Eigenschaften werden Solarzellen, aber auch Flachbildschirme und Touchscreens, mit elektrisch leitfähigen Materialien (TCO) beschichtet. Aufgrund ihrer sehr geringen Arc-Energie sind die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) hierfür bestens geeignet.
Architekturglas
Die großflächige Beschichtung von Architekturglas in einem PVD-Plasmaprozess stellt besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) bieten ideale Voraussetzungen für ein hochwertiges Beschichtungsergebnis.
TruPlasma DC 4010 (G2)
|
TruPlasma DC 4020 (G2)
|
TruPlasma DC 4040 (G2)
| |
|---|---|---|---|
| Ausgang | |||
| Nennleistung | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Maximaler Ausgangsstrom | 33 A eff | 67 A eff | 133 A eff |
| Maximale Ausgangsspannung | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Nennbetriebsfrequenz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Arc-Parameter | |||
| Maximale Arc-Rate | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc Energie | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW |
| Arc-Behandlungszeit | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs |
| Zündspannungen | |||
| mit Zündhilfe | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| ohne Zündhilfe | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Netzanschlussdaten | |||
| Netzspannung | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V |
| Netzfrequenz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Kommunikationsschnittstellen | |||
| Analog/Digital | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Nein | Nein | Nein |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja |
| Gehäuse | |||
| Gewicht | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Schutzart IP | 40 | 40 | 40 |
| Kühlungsanforderungen | |||
| Kühlmedium | Wasser | Wasser | Wasser |
| Max. Wasserdruck | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. Druckdifferenz | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. Durchflussmenge | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Temperatur Kühlmedium | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| DC Anschlussdaten | |||
| Anzahl der Terminals | 3 | 3 | 3 |
| Nennstrom / Terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
| Allgemein | |||
| Gesamtwirkungsgrad | 90 % | 90 % | 90 % |
| Zertifikate / Standards | CE | CE | CE |
| Umgebungsbedingungen | |||
| Außentemperatur | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Luftfeuchte | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrischer Druck | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.
Hohe Schichtqualität und Produktivität
Die Kombination aus schneller Arc-Behandlung und DC-Pulstechnologie bewirkt eine geringere Tröpfchenrate und weniger Oberflächendefekte. Arc-bedingte Prozessunterbrechungen werden minimiert, die Abscheidungsrate wird signifikant erhöht.
Flexible Anpassung an den Prozess
Die Pulsfrequenz kann in einem weiten Bereich angepasst werden, zudem ist ein Bias-Betrieb des DC-Generators möglich. Somit können Sie ein und dasselbe Gerät für eine Vielzahl von Anwendungen einsetzen. Ausgefeilte Monitoring-Tools unterstützen Sie bei der Optimierung Ihres Prozesses.
Verschiedene Optionen ermöglichen eine optimale Anpassung des gepulsten DC-Generators an Ihre Anwendung.
Mehrere Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) können synchron betrieben werden. Dieser Modus ermöglicht die Synchronisierung der Arc-Erkennung mehrerer Generatoren, die auf unterschiedliche Targets ausgerichtet sind. Auch der Puls Modus ist synchronisierbar.
PVD Power
Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
Novel pulsed DC technology
Application of pulsed DC sputtering
