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Optimale Ergebnisse der Schichtqualität

Bipolare Pulser der neuesten Generation

Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) wurden speziell für die plasmagestützte Beschichtung mittels PVD-, PECVD- und reaktiven Sputter-Prozessen entwickelt und liefern mit flexibel formbaren Ausgangssignalen und einem ausgefeilten Arc-Management exzellente Ergebnisse bei der Herstellung von Solarzellen und Halbleitern, bei der Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten sowie bei der Beschichtung von Architekturglas.

Äußerst geringe Arc-Energie

Volldigitales Arc-Management für höchste Schichtqualität und Produktivität.

Einstellbare Wellenformen

Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozesse durch Variation des Ausgangssignals.

Ein Generator, viele Anwendungen

DC, gepulstes DC und Bipolar: Kostenersparnis dank vielfältiger Einstelloptionen.

Integrierte Wasserkühlung

Keine externen Komponenten erforderlich, daher sehr geringer Platzbedarf.

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Stromversorgung der Spitzenklasse

Typische Einsatzgebiete sind die Halbleiter- und Photovoltaik-Produktion, die Architekturglasbeschichtung sowie die Herstellung von dekorativen und verschleißfesten Schichten in höchster Qualität. Dabei kommen insbesondere PVD- und PECVD-Prozesse zum Einsatz.

Durch Auswahl verschiedener Systemkomponenten können Sie den Bipolar-Pulsgenerator bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.

Netzkabel
Es stehen verschiedene Kabel- und Steckerausführungen für unterschiedliche Anschlussstandards zur Verfügung.

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

Whitepaper

Shape matters - Bipolar sputtering

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Sinus oder Rechteck

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