In de spiegel van de media: EUV-lithografie

In dit artikel op Golem.de meldt auteur Marc Sauter dat Samsung Foundry de ontwikkeling van het 5-nm-proces met extreem ultraviolette straling (EUV) heeft voltooid en nu opdrachten van klanten aanneemt. Met dit nieuwe proces kan de dichtheid van transistoren met 25% worden verhoogd en tegelijkertijd verbruiken de chips 20% minder stroom en hebben ze 10% meer rekenkracht.

Bron: www.golem.de
Auteur: Marc Sauter
Publicatiedatum: 04/2019
Link: naar het artikel

Heise.de bericht in dit artikel dat Samsung in het najaar van 2018 is gestart met de productie in zijn eerste 7nm-fabriek en daar wafers belicht met het EUV-lithografiesysteem van ASML. Bron: www.heise.de
Auteur: Nico Ernst
Publicatiedatum: 10/2018
Link: naar het artikel

Het TRUMPF jaarverslag 2017/2018 belicht hoe de beheersing van het licht – en daarmee ook de laser en EUV-lithografie – de basis vormt voor de technologieën van de toekomst, zoals kunstmatige intelligentie, autonoom rijden en slimme fabrieken.

Bron: TRUMPF jaarverslag 2017/2018
Auteur: TRUMPF GmbH + Co. KG
Publicatiedatum: 10/2018
Link: naar het artikel

Het artikel op golem.de kondigt aan dat ASML zijn NXW:3400B-systemen zo ver heeft verbeterd dat kosten- en tijdefficiënte serieproductie met extreem ultraviolette straling binnen handbereik komt te liggen. Bron: www.golem.de
Auteur: Marc Sauter
Publicatiedatum: 07/2018
Link: naar het artikel

LaserFocusWorld schetst in dit artikel de meer dan twintigjarige ontwikkeling van de EUV-technologie en beschrijft de talrijke hordes en uitdagingen die tot aan de doorbraak in 2015 overwonnen moesten worden.

Bron: LaserFocusWorld
Auteur: Andreas Thoss
Publicatiedatum: 11/2017
Link: naar het artikel

Dit bericht in het vaktijdschrift "Produktion" gaat over het verworven meerderheidsbelang van TRUMPF in Access. Als producent van Low Power CO₂-lasers is Access Laser een van de belangrijkste partners van TRUMPF op het gebied van EUV. Bron: www.optics.org
Auteur: N.N.
Publicatiedatum: 10/2017
Link: naar het artikel

De Stuttgarter Zeitung bericht hoe TRUMPF met zijn Laser Amplifier als toeleverancier zijn intrede doet in de halfgeleiderindustrie en hiervoor een nieuwe dochtermaatschappij heeft opgericht. Bron: Stuttgarter Zeitung
Auteur: Michael Heller
Publicatiedatum: 05/2017
Link: naar het artikel

Het artikel in de weekkrant voor elektronica "Markt&Technik" vat huidige en geplande omzet- en afzetcijfers van ASML samen die bewijzen dat EUV-lithografie nu definitief zijn weg heeft gevonden naar de industrie. Bron: Markt&Technik
Auteur: Heinz Arnold
Publicatiedatum: 07/2017
Link: naar het artikel