Bu yöntemde lazer, malzemeyi mümkün olduğunca az eriyik oluşacak şekilde buharlaştırır. Malzeme buharı, kesme yarığı içinde yüksek bir basınç oluşumuna neden olur ve eriyik bu basınç tarafından yukarı ve aşağıya doğru dışarı gönderilir. Proses gazı (azot, argon ya da helyum) bu işlemde kesim yüzeylerini yalnızca çevre ortamdan izole eder. Bu kapsamda, kesim kenarlarının oksitsiz kalmasını sağlar. Bundan dolayı, 1 ila 3 bar arasında bir gaz basıncı yeterli olur.
Metalin buharlaştırılması, onu eritmekten daha fazla enerji gerektirecektir. Bundan dolayı, süblimasyon kesimi yüksek lazer gücü gerektirir ve diğer kesim yöntemlerine kıyasla daha yavaştır. Ancak buna karşılık olarak, yüksek kaliteli kesim kenarları oluşturur.
