Plazma jeneratörleri

TruPlasma MW serisinin katı hal tabanlı plazma jeneratörleri, yenilikçi bir platform konseptinden oluşur ve zorlu uygulamalar için en yüksek plazma yoğunlukları oluşturur. Nano-Pulse sayesinde istenen uygulama için çok yönlü plazma parametreleri ayarlanabilir.

TruPlasma Bipolar 4000 Serisi (G2.1) proses elektrik beslemeleri, esnek şekillendirilebilen çıkış sinyalleri ve sofistike ark yönetimi sayesinde solar hücresi ve yarı iletken üretiminde, dekoratif ve aşınmaz katmanların uygulanmasında ve mimari camların kaplanması işlemlerinde mükemmel sonuçlar sunuyor. En yeni nesil jeneratörler, reaktif püskürtme, PVD ve PECVD gibi zorlu plazma işlemleri için ideal bir tercih.

TruPlasma MF 7000 (G2) Serisinin MF jenearatörleri ile üretim sürecinizin kontrolü tamamen sizdedir. Geniş yüzeyli zorlu kaplama işlerinde bile en iyi yüzey kalitesi elde edebilirsiniz. Yeni nesildeki %90'ı aşan enerji dönüşüm verimliliğine sahip elektrik beslemesi değerleri sayesinde de son derece tasarruflu bir sistemdir.

TruPlasma Highpulse 4000 Serisi (G2) proses elektrik beslemeleri, korozyona ve aşınmaya karşı son derece dayanıklı sert malzeme kaplamalarının elde edilmesini sağlar ve HIPIMS uygulamaları için ilk tercihtir. TruPlasma Highpulse 4000 Serisi (G2) jeneratörler, polarize substratlarla kombine olarak, örn. çukur doldurma (Trench-Filling), yüzeylerin ön işleme tabii tutulması ya da dağlama gibi yarı iletken uygulamalarında da kullanılabilir.

TruPlasma DC 4000 Serisi (G2), TRUMPF Hüttinger makinalardaki mükemmel ark kullanımını doğru akım pals teknolojisinin avantajları ile bir araya getirir. Bu sayede daha az bozulma ve daha yüksek birikme oranı ile çok daha iyi kaplama sonuçlarına ulaşırsınız. Sonuç olarak mükemmel yüzeyler ve yüksek bir üretim performansı elde edersiniz.

Yeni nesil bir doğru akım jeneratörü olan TruPlasma DC 3000 Serisi (G2), çeşitli doğru akım püskürtme proseslerinde kullanım için uygundur. Doğru akım jeneratörleri, gelişmiş ark yönetimi ve entegre su soğutma özellikleri sayesinde palslı doğru akım jeneratörlerine ekonomik bir alternatif oluşturur. Son derece kompakt yapısı mevcut uygulamalara kolayca entegre edilebilmesine olanak sağlar.

TruPlasma Arc 3000 Serisi jeneratörler özellikle sert malzeme ve dekoratif kaplamalar için cazip bir seçenektir. Kompakt yapı ve hava soğutma özelliği sayesinde, değerli kullanım alanından optimum şekilde faydalanmayı garanti eder ve yeni veya mevcut sistemlere entegrasyonu kolaylaştırır.

TruPlasma RF 1001 Air, 1000 Watt'a kadar yüksek hassasiyette, yeniden üretilebilir HF enerjisi üretebilen bir hava soğutmalı radyo frekansı jeneratörüdür. 100 mW'lik adımlarla çalışabilen, aşırı hassas çözünürlüğe sahip cihaz, bu özelliği dolayısıyla çok çeşitli plazma uygulamaları için uygundur. Yarı iletken, güneş pili ya da ekran üretiminde olsun fark etmez, patentli TRUMPF Hüttinger teknolojisi, modern işlem fonksiyonları sayesinde tüm uygulamalarda yüksek bir kullanılabilirlik ve en iyi işlem sonuçlarını garanti ediyor.

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serileri, en yeni nesil radyo frekansı jeneratörleridir. Patentli CombineLine bağlantı teknolojisi veya tüm proses parametrelerinin gerçek zamanlı ölçülmesi gibi yenilikçi fonksiyonlar sayesinde, zorlu plazma çalışmalarında bile güvenli bir elektrik beslemesinin garanti edilmesi sağlanır - tekrarlanabilir sonuçların elde edilmesi ve yüksek verimliliğin sağlanması için optimal koşullar korunur.

TruPlasma RF 3000 Serisi güçlü radyo frekansı jeneratörleri, sergilediği en yüksek proses istikrarı ve verimlilik ile ön plana çıkar. Bu nedenle örneğin düz ekranların, solar hücrelerin veya yarı iletkenlerin üretilmesi gibi zorlu plazma proseslerinde kullanım için idealdir. Empedans uyarlaması için kullanılan ve jeneratör ile mükemmel uyum içinde olan Matchbox'lar, jeneratörden plazmaya optimum ve stabil bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar.

Prosesiniz için en yüksek güç: TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, en zorlu proses gerekliliklerini bile karşılayan yenilikçi bir platform konseptini temel alır. VHF jeneratörlerdeki tamamen su soğutmalı modüler yapı, çıkış gücünün 80 kW seviyesine kadar ölçeklenebilmesine olanak sağlar - hem de çok az yer kaplayarak!

Bir plazma prosesinin optimum şekilde yürütülmesi için, radyo frekansı jeneratörünün çıkış empedansı hassas şekilde ayarlanır. Bu durum, jeneratör ile proses arasında bir bağlantı görevi gören TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) sayesinde elde edilir. Bu sayede, proses elektrik beslemesi için bütüncül bir çözüm elde edersiniz - TRUMPF RF sistemi.