HiPIMS uygulamaları için ilk tercih
TruPlasma Highpulse 4000 Serisi (G2) jeneratörleri, mevcut magnetron sistemlerinde, doğru akımlı saçtırma jeneratörlerine alternatif olarak herhangi bir değişikliğe gerek olmadan kullanılabilir. Korozyona ve aşınmaya karşı son derece dayanıklı sert malzeme kaplamalarının elde edilmesini sağlarlar ve High Power Impulse Magnetron Sputtering uygulamaları için ilk tercihtir.
4 Megawatt'a kadar çıkan kusursuz azami güç değerleri sayesinde, yüksek iyon akışlı ekstrem plazma yoğunlukları oluşturulur.
Mevcut katot sistemlerine ve proses koşullarına göre kolayca uyarlanabilir olma özellikleri sayesinde optimum cihaz entegrasyonu elde edilir.
Palslı PVD püskürtme yöntemi kapsamındaki en yeni gelişme olan HiPIMS, özellikle korozyona ve aşınmaya karşı dayanıklı sert malzeme kaplamalarının elde edilmesini sağlar.
DC modunda da kullanılabilir, ilave bir doğru akım jeneratörüne gerek yoktur.
Sert malzeme kaplamaları
Fonksiyonel kaplamaların uygulanması sayesinde, gerilimi yüksek olan iş parçaları daha yüksek bir kenar sertliğine ve kaynaşma sürtünmesine ve aynı zamanda daha iyi termik ve kimyasal stabiliteye sahip olur. TruPlasma Highpulse 4000 Serisi (G2) jeneratörleri, son derece stabil bir plazma prosesini mümkün kılarak muazzam bir kaplama kalitesinin elde edilmesini sağlar.
Yarı iletken/Fotovoltaik
Fotovoltaik ve yarı iletkenler alanında, uygulamaya özel proses enerjisine yönelik sayısız uygulama alanı mevcuttur. TruPlasma Highpulse 4000 Serisi (G2) jeneratörleri, ilgili prosese en uygun şekilde uyarlanabilir ve üstün kaplama parametreleri ile birlikte yüksek verimliliğin elde edilmesine olanak sağlar.
Cam kaplamalar
Mimari camların bir PVD plazma prosesi ile geniş yüzeylere kaplanması, proses elektrik beslemesi bakımından çok yüksek seviyelerin mevcut olmasını gerektirir. TruPlasma Highpulse 4000 Serisi (G2) jeneratörleri, kaliteli bir kaplama sonucu için ideal koşulları sunar.
Optimum proses sonuçları
Yüksek azami güçler, yüksek iyonize plazma oluşturur ve yüksek iyon akışlarını mümkün kılıyor. Böylelikle de son derece eşevreli ve kalın filmler damlacıksız bir şekilde sağlanabiliyor. TruPlasma Highpulse 4000 Serisi jeneratörleri (G2), polarize substrat konfigürasyonlarıyla kombine olarak dağlama ve çukur doldurma (Trench-Filling) uygulamalarında üstün sonuçlar sağlıyor.
Tamamen dijital ark yönetimi
Ayarlanabilir pals süresi ve frekansı, genişletilmiş performans parametreleri ve çok düşük ark enerjili tamamen dijital ark yönetimi, damlasız bir püskürtmeyi ve film kusurlarının minimum olmasını mümkün kılarken, aynı zamanda da yüksek kaplama kalitesi ve bırakım hızlarını garantiliyor.
Muazzam kaplamalar
Yüksek enerji ve 2 kV'ye kadar varan yüksek gerilimler, yüksek kaliteli kaplamaların üretilmesini sağlıyor - hem küçük laboratuvarlarda hem de büyük sanayi tesislerinde. 5 ms'ye varan darbeler ve 10 kHz'ye varan frekanslar, bırakım hızlarını yükseltiyor ve toplam sahip olma maliyetinizin azalmasına yardımcı oluyor.
Yüksek proses istikrarı
Ayarlanabilir frekanslı güç regülasyonu, zorlu reaktif proseslerde bile bırakma parametrelerinin sabit kalmasını sağlıyor. Böylelikle prosesler, herhangi bir müdahaleye gerek kalmadan, saatler ve günler boyu stabil kalabiliyor.
Kompakt bir birim
TruPlasma Highpulse Serisi jeneratörler, kompakt boyutlu bir birim. Harici bir doğru akım beslemesinin gerek olmadığı jeneratörler tamamen su soğutmalı olup, bu sayede de temiz odada çalışılmasını mümkün kılıyorlar.
Çeşitli opsiyonlar, Tru Plasma Highpulse 4000 Serisinin (G2) uygulamanıza göre optimum şekilde uyarlanmasına olanak sağlar.
Çok düşük ark enerjili tamamen dijital ark yönetimi, yüksek kaplama kalitelerinin ve bırakım hızlarının elde edilmesini sağlar.
PVD Power
Birçok dili destekleyen, kullanıcı dostu PVD Power yazılımı, proses kalitesinin optimize edilmesine ve hataların etkin şekilde giderilmesine yönelik kullanım, konfigürasyon ve arıza arama olanakları sunar: İlgili tüm proses parametrelerine ait gerçek değerler, uyarılar ve alarm mesajları gösterilir, nominal değerler kullanıcı tarafından girilir ve önemli işletme parametreleri yüksek zamansal çözünürlük ile kaydedilir ve görselleştirilir (osiloskop fonksiyonu).
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
