En yüksek plazma yoğunlukları ve uygulamalar için dayanıklı ve yüksek performanslı katı hal plazma jeneratörü
TruPlasma MW serisinin jeneratörleri, katı hal teknolojisine dayalıdır ve magnetron tabanlı mikrodalga jeneratörlerinden önemli ölçüde daha yüksek frekans doğruluğu sağlar. Yenilikçi platform konsepti, en yüksek plazma yoğunluklarını en zorlu uygulamalarda bile ekonomik ve verimli şekilde gerçekleştirir. Modüler yapısı, çıkış gücünün tam ölçeklendirilmesini sağlar. Akım beslemesi, proses kalitesi bozulmadan her zaman stabil kalır. TruPlasma MW serisi yarı iletkenlerin, güneş enerjisi hücrelerin ve ekranların üretiminde, modern fonksiyonlar sayesinde en iyi ve en güvenilir sonuçlar ortaya koyar.
Otomatik frekans ayarı, optimum proses sonucunu ve yüksek tekrarlanabilirliği garanti eder.
Çok antenli sistemlerde farklı jeneratörler senkron fazlarda çalıştırılabilir ve palslanabilir. Jeneratörler arasındaki faz alım farkları nedeniyle geniş bir plazma homojenliği elde edilir.
Yanlış ayarlama durumunda bile proses kalitesi olumsuz etkilenmez ve jeneratör güvenli şekilde çalışır.
Yeniden üretilebilen proses sonuçları, en yüksek katman kalitesi ve verimlilik sağlayan yüksek hassaiyetli dijital frekans modülasyonunun ayrıcalıklarından yararlanabilirsiniz.
Dijital EtherCat arayüzü ile cihazı milisaniyeler içinde kontrol edebilirsiniz. Bu da hassas plazma dağıtımını mümkün hale getirir.
Solar hücre üretimi
Fotovoltaik alanında, püskürtme veya PECVD gibi plazma prosesleri malzeme uygulaması ve aşındırma için kullanılmaktadır. TruPlasma MW Serisinin jeneratörleri, çeşitli proseslere çok hızlı bir şekilde adapte edilebilir ve birinci sınıf proses sonuçlarının yanı sıra yüksek üretkenliği garanti eder. Hassas enerji dozajı sayesinde en zorlu ve en yeni uygulamalarda bile en iyi sonuçlar elde edilmektedir. Yüksek hassasiyetli güç ayarı, Wafer-to-Wafer tekrarlanabilirliği artırmaktadır.
Yarı iletken üretimi
Plazma jeneratörleri, kuru dağlamadan silisyum üretimindeki bölgesel büyütmeye kadar yarı iletken üretimindeki çok çeşitli plazma proseslerinde kullanılmaktadır. TruPlasma MW serimiz, tüm bu işlemler için optimize edilmiş bir güç kaynağı sunar
Düz ekranların kaplanması
Düz ekranların kaplanmasında, TruPlasma MW Serisi jeneratörlerimiz, plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD), atomik katman biriktirme (ALD) ve reaktif iyon aşındırma (RIE) gibi plazma işlemlerinde güçlerini gösterir.
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
