Il TQZ può contare su 1000 m² per mettere in atto le sue numerose opportunità di test: in due camere per processi al plasma si possono testare le alimentazioni elettriche sul plasma reale. In una camera a plasma a media frequenza, la cui lunghezza target corrisponde a un glass coater standard, vengono effettuati i test su generatori a media frequenza ad alta potenza. Per generatori ad alta frequenza, a corrente continua e a media frequenza di potenza inferiore, il TQZ è dotato di un'ulteriore camera a plasma in cui è disponibile un catodo per magnetron sputtering lungo 60 centimetri.

Il TQZ dispone inoltre di una camera HALT propria per eseguire test di invecchiamento accelerato. Le opportunità di test e qualificazione sono completate da un impianto di simulazione di rete e un impianto EMC.