Epitaksja jest procesem, podczas którego wytwarzane są warstwy monokrystaliczne, np. z krzemu, na substratach monokrystalicznych tego samego materiału. Substraty znajdują sie na indukcyjnie nagrzanym pochłaniaczu z grafitu – przy czym obowiązują bardzo wysokie wymagania wobec jednorodności temperaturowej. Epitaksja jest stosowana, między innymi, przy wytwarzaniu diod LED. Generatory średniej częstotliwości TRUMPF Hüttinger dostarczają niezbędną energię procesową – niezawodnie i stabilnie.
Epitaksja
Najczystszy wzrost warstwa po warstwie
Kontakt