Lazerle delme sırasında, yüksek güç yoğunluğuna sahip kısa bir lazer palsı, enerjiyi iş parçasına çok kısa bir sürede iletecektir. Böylelikle malzeme eritilip buharlaştırabilir. Pals enerjisi ne kadar büyük olursa, o kadar yüksek miktarda malzeme eriyip buharlaşır. Buharlaşma sırasında, delikteki malzeme hacmi ani bir artış göstererek yüksek basınca neden olur. Bu buhar basıncı da erimiş durumdaki malzemeyi delikten dışarıya iter. Pikosaniye aralığında ultra kısa palslı lazerler kullanarak yapılan işleme ise benzersiz bir özelliktir. Bu kapsamda, malzeme eritilmeden süblimasyon yoluyla doğrudan katı halden buharlaştırılır - komponent işlem sırasında ısıtılmaz. Zaman içinde bu temel prensipten yola çıkılarak çeşitli delme prosesleri geliştirilmiştir.
Delme
Lazer ışını, lazer ile delme sırasında en hassasından en büyüğüne kadar farklı delikleri temassız olarak açabilmektedir.
Tek palslı delme ve vurmalı delme
En basit örnekte, nispeten yüksek pals enerjisine sahip tek bir lazer palsı deliği deler. Bu sayede çok hızlı bir şekilde birden fazla delik oluşturulabilir. Vurmalı delmede ise delik, daha kısa pals süresi ve pals enerjisine sahip birkaç lazer palsı aracılığıyla oluşturulur. Bu delme yöntemi, tek palslı delmeye göre daha derin ve daha hassas delikler oluşturur. Vurmalı delme ayrıca daha küçük delik çaplarını sağlar.
Trepan delme
Trepan delme işleminde de delik birden fazla lazer palsı ile oluşturulur. İlk olarak lazer, darbeli delme kullanarak bir başlangıç deliği açar. Ardından iş parçası üzerinde giderek daha büyük dairesel yollarda ilerleyerek başlangıç deliğini büyütür. Erimiş malzemenin çoğu delinen delikten aşağıya doğru sürülür.
Helezonik delme
Trepan delmenin aksine, helezonik delme bir başlangıç deliği oluşturmaz. Lazer, ilk palslardan itibaren malzeme üzerinde dairesel bir yol izleyerek çok fazla malzemenin yukarı doğru kaçmasına neden olur. Lazer aşağıya doğru spiral şeklinde ilerler. Odak, her zaman deliğin dibine yönlendirilecek şekilde ayarlanabilir. Lazer malzemeye nüfuz ettikten sonra, birkaç tur daha eklenebilir. Bunlar, delinen deliğin alt tarafını genişletmek ve kenarlarını düzleştirmek için kullanılır. Helezonik delme, yüksek kalitede çok büyük ve derin delikler oluşturmak için kullanılabilir.