TRUMPFレーザー増幅器

ハイパワーシードモジュール (HPSM) は、数ワットの出力パルスを生成する2体のシードレーザーと、レーザー光線を成形してパルス長を最適にする多数のアクティブ/パッシブ光学コンポーネントから構成されています。最初の増幅器で、光は100 Wのレベルに予め増幅されます。シードレーザーは保護機構により戻り反射光から最適に保護されているため、システム全体の安定性を決定的な程度にまで高めて、必要とされる一定のEUV出力を得ることができます。

ハイパワーアンプリフィケーションチェーン (HPAC) を構成している出力上昇用の4体の共振器は、ビームガイドエレメントにより相互に接続されています。各共振器はそれぞれの増幅レベルに合わせて最適化されています (ブロワー、RF励起、ガス混合比、ビームガイドなど)。ここでは、3種類の冷却回路によりシステムで必要な安定性が確保されます。また、短いパルスによりMW領域での極めて高いピーク出力が得られます。包括的なオンライン測定が、ビームの常時測定の基盤となります。

組立プレート、ペリスコープとミラーから構成されているビームトランスポートシステム (BTS) は、レーザー光線を液滴チャンバー方向に最大30メートル移送します。基本的に、吸収と汚れを低く抑えるには、高い出力負荷がかかった状態でのシステムの機械的安定性と、ビームガイドの気密性の両方が決定的な役割を果たします。ミラーには特別なコーティングが施されているため、レーザー光の吸収が最低限に抑えられます。

FFAは2つの設備コンポーネント、すなわち光学プラットフォームとフォーカシングユニットから構成されています。理想的なプラズマ光を生成するには、レーザーパルスが錫液滴にほぼ完全に当たる必要があります。しかしながら、錫液滴はレーザー光線の直径より小さいため、光学プラットフォームでプレパルスとメインパルスに分離され、EUV生成が最適になるように成形されます。まずプレパルスが低めのパルス出力で錫液滴に当たることで、液滴が円盤状の物体に膨れ上がり、面積が拡大します。発生した液膜に後続のメインパルスが吸収されることで本来の目的であるプラズマが生み出され、そこからEUV光線が発せられます。この方法により、40キロワットのレーザパワーが効率的に活用され、露光用のプラズマ光生成におけるプロセス安定性が保証されます。フォーカシングユニットにより、錫液滴に対するレーザー光の最適な焦点合わせが実現します。