プラズマとは導電性の電離気体のことを指します。プラズマは自然界では例えばオーロラとして知られています。技術的には、プラズマは適切な電力供給装置又はジェネレータを用いて発生させます。照明光学では、蛍光管として広く普及しています。 工業生産では、プラズマは特に表面処理技術で使用されています。プラズマ技術では表面の多種多様なコーティングと品質向上を行うことができ、この技術がなければ実現不可能な形状も形成可能になります。プラズマ表面処理技術はまずマイクロエレクトロニクス製造で使用が開始されましたが、現在では工業生産の幅広い領域に浸透するに至っています。 選択したプラズマ工法又は用途に関わらず、電離気体を正しく制御するには専用の電力供給装置が必要になります。
プラズマ技術
プラズマプロセスに適したTRUMPF Hüttinger電力供給装置
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