国/地域/言語選択

ホワイトペーパー

関連テーマのホワイトペーパーがまとめられています

PDF - 1,006 KB
アーク管理
MFマグネトロンスパッタリングでのアークの発生:反応性マグネトロンスパッタリングでは、カソードでのアーク発生がよくある問題になっています。
問い合わせ
Dr. Jan Peter Engelstädter
プラズマMF
Eメール