Tecnologia Bipolar per alte prestazioni
Gli alimentatori del TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) sono stati sviluppati specificamente per il rivestimento al plasma tramite processi PVD, PECVD e sputtering reattivo. Questi generatori di impulsi bipolari di ultima generazione sono molto versatili, grazie al segnale di uscita dalla forma flessibile e ad una sofisticata gestione dell'arco. Potete aspettarvi sempre le massime prestazioni relativamente alla qualità degli strati ed alle velocità di rivestimento, sia nella produzione di semiconduttori e celle solari sia nel rivestimento di vetro architettonico.
Gestione completamente digitale degli archi per massima qualità dei rivestimenti e massima produttività.
Semplice adattamento a diversi processi grazie alla variazione del segnale d'uscita.
CC, CC pulsata e bipolare: abbattimento dei costi grazie alle svariate opzioni di impostazione.
Non servono componenti esterni, quindi gli ingombri sono minimi.
Alimentazione elettrica di alto livello
I campi di applicazione tipici sono la produzione di semiconduttori e di celle fotovoltaiche, il rivestimento di vetro architettonico nonché la produzione di strati decorativi e resistenti all'usura di massima qualità. In tale ambito vengono impiegati soprattutto processi PVD e PECVD.
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TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
Confronta prodotto
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TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
Confronta prodotto
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TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
Confronta prodotto
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TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
Confronta prodotto
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TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
Confronta prodotto
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|---|---|---|---|---|---|
| Uscita | |||||
| Potenza nominale | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Corrente di uscita massima | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Tensione di uscita massima | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Frequenza nominale di esercizio | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Parametri scarica ad arco | |||||
| Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia Arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Tensioni d'innesco | |||||
| con meccanismo ausiliario d'accensione | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Dati di collegamento alla rete | |||||
| Tensione di rete | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Frequenza di rete | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Fattore di potenza | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Interfacce di comunicazione | |||||
| Analogico/digitale | Sì | Sì | Sì | Sì | Sì |
| RS 232 / RS 485 | Sì | Sì | Sì | Sì | Sì |
| PROFIBUS | Sì | Sì | Sì | Sì | Sì |
| EtherCAT | Sì | Sì |
Sì
- |
Sì | Sì |
| DeviceNet | Sì | Sì |
Sì
- |
Sì | Sì |
| Alloggiamento | |||||
| Larghezza | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Altezza | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Profondità | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Peso | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Tipo di protezione IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Requisiti di raffreddamento | |||||
| Refrigerante | Acqua | Acqua | Acqua | Acqua | Acqua |
| Pressione max dell'acqua | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Differenza min. di pressione | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Portata min. | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatura refrigerante | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| In generale | |||||
| Rendimento totale | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Condizioni ambientali | |||||
| Temperatura esterna | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Umidità dell'aria | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pressione barometrica | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
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TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
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|---|---|---|---|---|---|
| Uscita | |||||
| Potenza nominale | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Corrente di uscita massima | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Tensione di uscita massima | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Frequenza nominale di esercizio | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Parametri scarica ad arco | |||||
| Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia Arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Tensioni d'innesco | |||||
| con meccanismo ausiliario d'accensione | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Dati di collegamento alla rete | |||||
| Tensione di rete | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Frequenza di rete | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Fattore di potenza | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Interfacce di comunicazione | |||||
| Analogico/digitale | Sì | Sì | Sì | Sì | Sì |
| RS 232 / RS 485 | Sì | Sì | Sì | Sì | Sì |
| PROFIBUS | Sì | Sì | Sì | Sì | Sì |
| EtherCAT | Sì | Sì |
Sì
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Sì | Sì |
| DeviceNet | Sì | Sì |
Sì
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Sì | Sì |
| Alloggiamento | |||||
| Larghezza | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Altezza | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Profondità | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Peso | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Tipo di protezione IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Requisiti di raffreddamento | |||||
| Refrigerante | Acqua | Acqua | Acqua | Acqua | Acqua |
| Pressione max dell'acqua | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Differenza min. di pressione | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Portata min. | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Temperatura refrigerante | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| In generale | |||||
| Rendimento totale | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Condizioni ambientali | |||||
| Temperatura esterna | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Umidità dell'aria | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pressione barometrica | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Strati perfetti, alta produttività
La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione. Anche nel caso di processi reattivi complessi, i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) garantiscono sempre un'alimentazione uniforme della corrente di processo e, dunque, un plasma stabile.
Più flessibilità, meno costi
Attraverso forme d'onda regolabili è possibile adattare i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) alle diverse esigenze di processo in modo molto semplice. Grazie alla selezione flessibile del segnale d'uscita (CC, CC pulsata o bipolare), è possibile utilizzare questi generatori in maniera versatile, riducendo così i costi totali di esercizio (TCO).
Tutto in un alloggiamento
Il raffreddamento ad acqua completamente integrato nell'alloggiamento del generatore protetto dagli agenti atmosferici rende superfluo qualsiasi componente esterno.
PVD Power
L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore, nonché registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con elevata risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).
La possibiltà di scegliere i diversi componenti di sistema consente di adattare nel migliore modo possibile il generatore di impulsi Bipolar al vostro ambiente di sistema.
Sono disponibili diversi tipi di cavi e connettori per differenti standard di connessione.
Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.
