Robusto e potente generatore di potenza al plasma a stato solido per densità di plasma altissime e requisiti di processo massimi
I generatori della TruPlasma MW Serie sono basati sulla tecnologia a stato solido e raggiungono una precisione di frequenza molto superiore rispetto ai generatori di microonde basati su magnetron. L'innovativo concetto della piattaforma permette di realizzare con efficienza e redditività altissime densità del plasma e requisiti di processo molto esigenti. La struttura modulare garantisce inoltre una precisa messa in scala della potenza di uscita. L'alimentazione elettrica rimane sempre stabile, senza compromettere la qualità del processo. Nella produzione di semiconduttori, celle solari e display, la TruPlasma MW Serie assicura i migliori risultati e la massima affidabilità, grazie a moderne funzioni di processo.
L'innovativa pulsazione nell'intervallo dei nanosecondi consente un migliore controllo del processo al plasma.
L'adattamento automatico della frequenza assicura un risultato ottimale del processo e un'elevata riproducibilità.
In sistemi a più antenne è possibile far funzionare e pulsare diversi generatori in sincronia di fase. Variando la coerenza di fase tra i singoli generatori, è possibile ottenere un'ampia omogeneità del plasma.
Potete contare sul funzionamento del generatore anche in caso di disallineamento: la qualità del processo non viene compromessa.
Beneficiate di una modulazione di frequenza digitale di alta precisione, che assicura risultati di processo riproducibili, massima qualità degli strati e produttività.
L'interfaccia digitale EtherCat vi permette di controllare il dispositivo in un millisecondo, ottenendo così una distribuzione precisa del plasma.
Produzione di celle solari
Nel settore del fotovoltaico, i processi al plasma vengono impiegati per l'asportazione e la deposizione di materiale, ad esempio con la polverizzazione catodica o la PECVD. I generatori della TruPlasma MW Serie si adattano velocemente ai diversi processi e garantiscono alta produttività e risultati di processo di prima classe. Grazie alla precisione del dosaggio dell'energia, si ottengono i migliori risultati anche in applicazioni all'avanguardia e molto critiche. La regolazione della potenza di alta precisione contribuisce in questo a ottenere la migliore riproducibilità wafer-to-wafer.
Produzione di semiconduttori
I generatori al plasma vengono impiegati per i più svariati processi al plasma nella produzione di semiconduttori: dall'incisione a secco fino al processo a zona flottante nella produzione di silicio. La nostra TruPlasma MW Serie offre alimentatori ottimizzati per tutti questi processi.
Rivestimento di schermi piatti
Per il rivestimento di schermi piatti i generatori della TruPlasma MW Serie mettono in mostra le loro capacità in processi al plasma come PECVD, ALD e RIE.
Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.
