この工法では、レーザが材料を溶融物の発生を最小限に抑えながら蒸発させます。材料の蒸気によってカーフ内で発生した高圧により、溶融物が上下に向かって飛散します。アシストガスとして使用される窒素、アルゴンまたはヘリウムの役割は、切断面を周囲から保護することに限られますが、それによって、切断エッジでの酸化物発生が防止されます。 そのため、ガス圧は1～3 barで十分です。
金属を蒸発させる際に必要なエネルギーは、溶融の場合よりも多くなります。従って、昇華切断では高いレーザパワーが必要になり、その他の切断方法よりも加工速度が遅くなりますが、その代わりに、高品質の切断エッジが得られます。
