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TruMicro 6000シリーズ

連続生産で最大限の処理量と高い剥離速度が実現するパワフルなフェムト秒レーザ

30~200 W 平均出力
257 nm、343 nm、515 nm、1030 nm 波長
< 500 fs、< 850 fs、< 5 ps パルス幅
1 MHzで2 mJ 最大パルスエネルギー

製品バリエーション TruMicro 6000シリーズ 平均出力 ビーム品質 (M²) 波長 パルス幅 最大パルス エネルギー 繰り返し周波数
TruMicro 6020
200 W < 1.3 (オプション < 1.2) 1030 nm < 850 fs, < 5 ps 200 µJ 1 MHz の場合, 2 mJ 100 kHz の場合 2000 kHz (single pulse picking)
TruMicro 6220
100 W 515 nm < 850 fs 100 µJ 1000 kHz の場合 2000 kHz
TruMicro 6320
30 W (< 500 fs) あるいは, 62.5 W (< 850 fs) 343 nm < 500 fs または, < 850 fs 37.5 µJ 800 kHz (30 W) の場合 または, 62.5 µJ 1 MHz (62.5 W)  の場合

高いパルスエネルギー

– 要求の厳しい加工プロセスや大量生産に対応

TruMicroシリーズ6000のレーザは、高いパルスエネルギーを必要とする加工プロセスに特化しています。用途に応じて、波長の異なるモデルや、フェムト秒領域までのパルス幅、最大2ミリジュールのパルスエネルギーに対応したモデルをお選びいただけます。これにより、バッテリーフィルムの高速切断、コーティングされたブレーキディスクへの刻印から、厚さ最大10 mmのガラスの材料除去まで、幅広い用途に対応します。また、平均出力が高いため、量産に必要なスループットを確保できます。堅牢で安定した構造により、産業用途における24時間365日の連続稼働でも、すでに多くの実績を上げています。

TruMicro 6000シリーズの特色

– 特長一覧
高いパルスエネルギーで生産速度を向上
高いパルスエネルギーで生産速度を向上

TruMicroシリーズ6000のレーザーは、TruMicroシリーズ2000よりも高いパルスエネルギーを備えています。そのため、繰り返し周波数を一定に保ったまま生産速度を向上させることができ、ウェハーやプリント基板(PCB)などの大型部品も効率的に加工できます。

最適な波長で、あらゆる材料に対応
最適な波長で、あらゆる材料に対応

TruMicroシリーズ6000では、加工する材料に応じて異なる波長のレーザを選択できます。赤外レーザはセラミックやガラスの加工に適しています。緑色波長レーザは、真鍮や銅などの非鉄金属、および有機材料の加工に特に適しています。UVレーザはフィルム、プラスチック、PCBの加工に、DUVレーザはフィルム積層体や多層フィルムの加工に使用されます。

超短パルスによる材料への熱影響の抑制
超短パルスによる材料への熱影響の抑制

TruMicroシリーズ6000は、極めて短時間で材料にエネルギーを照射する超短パルスレーザです。これにより、熱影響ゾーンをほとんど生じさせず、変形、焦げ跡、煩雑な後処理を抑えた低熱負荷加工を実現します。また、個々のパルスで材料を狙いどおりに除去するため、部品内部にエネルギーが蓄積するのを防ぎ、材料除去量を精密に制御できます。その結果、安定した再現性の高い加工品質が得られます。銅などの高反射材料や透明材料も確実に加工できます。

パルスパラメータを精密に制御し、あらゆる加工に柔軟に対応
パルスパラメータを精密に制御し、あらゆる加工に柔軟に対応

パルスエネルギーと繰り返し周波数は、材料や用途に応じて柔軟に調整できます。各パルスのエネルギーは安定化されており、再現性の高い加工結果が得られます。フェムト秒領域の短いパルス幅により、材料への加熱を抑制できます。また、加工中でも繰り返し周波数を調整できるため、加工光学系の送り速度などに合わせた制御が可能です。

パルス周波数を最適化し、あらゆるコンターを高精度に加工
パルス周波数を最適化し、あらゆるコンターを高精度に加工

Advanced Pulse on Demand機能により、TruMicro シリーズ 6000は必要なタイミングでレーザパルスを正確に照射します。フィード速度が変化しても、パルス間隔を一定に保ちます。例えば、レーザ光の走査速度が低下する曲線部分でも、パルスが過度に重なりません。そのため、サブマイクロメートルレベルの位置分解能で、目的のコンターに沿ってパルスを正確に配置できます。これにより、速度や方向が頻繁に変化する短く複雑なコンターでも、均一で再現性の高い加工結果が得られます。ディスプレイの微細な溝などの加工にも適しています。

柔軟な動作モードで多様な材料加工に対応
柔軟な動作モードで多様な材料加工に対応

用途に応じて、単発の超短パルス照射から、準連続波(QCW)モードによる高い繰り返し周波数まで、レーザのパルス照射方式を選択できます。バーストモードでは、複数の超短パルスを1つのパルス群にまとめ、時間的な間隔やエネルギー分布を精密に制御できます。これにより、表面を制御しながら溶融させたり、材料除去の効率を高めたりすることが可能です。特に金属加工では、用途に合わせて加工プロセスを最適化するための選択肢が広がります。

その他のメリット

  • 一般的なフィールドバスインターフェースにより、容易な統合と柔軟な拡張を実現

    TruMicroシリーズ6000は、主要なフィールドバスシステムに対応したインターフェースを備えています。これにより、自動化された生産設備の中央コントローラーにレーザを容易に組み込むことができます。配線作業を削減できるほか、設備の将来的な拡張も容易になります。

TruMicroシリーズ6000の用途

– 期待できる効果

多様な材料への対応、大量生産、そして安定した高精度の加工結果。TruMicroシリーズ6000は、こうした要求に応えるために設計されています。用途は、PCBフィルムの切断、セラミックの穴あけや材料除去から、半導体製造における分離層の切断まで多岐にわたります。

極薄フィルムの切断

極薄フィルムの切断

極薄のバッテリーフィルムを高速かつきれいに切断するには、高度な技術が求められます。切断面にバリが発生する可能性があるほか、銅ではレーザー光の反射による熱損傷も懸念されます。

TruMicroシリーズ6000のレーザーは、超短パルスと高いパルスエネルギーによって加熱を抑えます。これにより、極薄材料でもきれいに加工でき、焼けや剥離を防止できます。その結果、製品寿命を延ばし、材料コストを削減できます。

ガラスをきれいに切断する

ガラスをきれいに切断する

折りたたみ式ディスプレイなどに使用されるガラスの切断では、表面粗さの小さい滑らかな切断面が求められます。そのため、従来は切断後に煩雑な後処理が必要になることが少なくありません。

TruMicroシリーズ6000のレーザと当社のTOP Cleave光学系を組み合わせることで、毎秒数メートルの速度で1回走査するだけで切断面を改質できます。これにより、表面粗さ1 µm未満を実現し、後処理を不要にします。

インターポーザーへの微細穴開け

インターポーザーへの微細穴開け

マイクロチップのガラス製インターポーザーでは、「Through Glass Via(TGV)」と呼ばれるガラス貫通電極によって、各層間の電気的接続を実現します。その形成には、数百個もの穴やチャネルを高精度かつ高速に加工する必要があります。

TruMicroシリーズ6000は、超短パルス、高いパルスエネルギー、バースト(パルス列)の生成機能を備えています。これらを当社のTOP Cleave光学系と組み合わせることで、1回の照射で材料全体を貫通するチャネルを改質できます。その後、選択的なレーザエッチングなどによって改質部分を開口し、TGVを形成できます。Advanced Pulse on Demand機能は各パルスを精密に制御するため、正確な位置決めと高い加工速度を両立できます。

ウェハーの高速 高精度な個片化

ウェハーの高速 高精度な個片化

機械式ソーによるウェハーの個片化は、比較的時間がかかります。また、硬いウェハー材料によって刃が早く摩耗するため、頻繁なメンテナンスが必要になります。

超短パルスレーザは、材料特性の影響を受けにくく、幅広い材料のアブレーション加工に対応できます。TruMicroシリーズ6000は高いパルスエネルギーを備えているため、シリコンなどの結晶質材料や硬くてもろい材料も確実に加工できます。また、レーザは非接触で加工するため、ツールの摩耗が発生しません。

パワーエレクトロニクス向けの導体パターン形成

パワーエレクトロニクス向けの導体パターン形成

ガラス、銅、金、セラミックなど、さまざまな材料の表面に高精度なエングレービング、彫刻、クリーニングを施し、グレア防止効果などの特定の機能を付与する必要がある場合に適しています。

TruMicro シリーズ 6000の超短パルスにより、表面の特性を狙いどおりに変化させ、求める機能を付与できます。高いパルスエネルギーとエネルギー安定性を組み合わせることで、ビーム整形素子を使用してエネルギーを広い面積に分配することも可能です。これにより、大面積加工でも高い加工速度を実現できます。

すべてがTRUMPFから提供されるワンシステム

– このレーザで利用可能なコンポーネントとサービスをご覧ください

レーザだけではソリューションにはなりません。高精度の光学系、インテリジェントなセンサー、ニーズにピタリと合うサービスを組み合わせて初めて、用途を実現して確実なプロセスを可能にするシステムが生み出されます。TRUMPFをパートナーにすれば、テクノロジーだけでなく、確かな加工結果ももたらされ、生産現場が飛躍的にレベルアップし、成果が長期的に得られ、投資する価値のあるソリューションが提供されることになります。

打ち合わせ中のTRUMPFサービスエンジニア

設備の稼働率を最大限に高めるサービス

中断のない生産に貢献

一覧

ダウンタイムは最低限に抑えなければなりません。生産が停止すると、時間とコストがかかり、最悪の場合には顧客喪失にもつながってしまいます。当社は洗練されたサービスでお客様をサポートして、レーザとレーザ装置が使用可能な状態を常に維持できるようにしています。それには、先を見越した状態監視、緊急時の素早いサポート、計算可能な固定料金での個別サービスパッケージが含まれており、お客様のニーズにピタリと合わせてカスタマイズすることが可能です。

コンディションモニタリングキービジュアル

レーザおよびレーザ装置のコンディションモニタリング

コンディションモニタリングでは、TRUMPFのエキスパートが自社独自のアルゴリズムを使用しながら、お客様のレーザの状態を連続監視します。重大な変化が起きた場合には、予期せぬ生産停止に至る前に早めに検出されます。

Condition Monitoring, Servicetechniker repariert Maschine

技術カスタマーサービス

生産拠点の場所を問わず、万が一の事態に陥った場合には、当社のサービスエンジニアがお客様を素早くサポートします。当社のエンジニアはトレーニングを定期的に受けているほか、メーカーの確かなノウハウと優れた専門知識も有しており、お客様のレーザとレーザ装置をすぐに再び使用可能な状態にします。

リモートサポート

1分1秒を争う故障時に、TRUMPFのリモートサポートを利用すれば、当社のエキスパートから安全なリモートアクセスを介してすぐにサポートを受けることができます。サービスエンジニアが移動する必要も、その到着を待つ必要もありません。

TRUMPFサービス純正パーツキービジュアル

純正スペアパーツ

TRUMPF純正パーツは、ご使用中のレーザおよびレーザ装置と完璧に調和が取れており、世界中で入手可能で、緊急時にすぐにお手元に届きます。最大限の性能が発揮され、ダウンタイムが最低限に抑えられるため、安心して長期的に投資することができます。

TRUMPF保守契約キービジュアル

保守契約

必要に応じたサービスが受けられる当社の保守契約では、お客様のニーズにピタリと合わせてカスタマイズした数段階のサービスパッケージが、計算可能な固定料金で提供されています。リモートサポート、メンテナンス、そしてフルサービスパッケージが用意されています。

パフォーマンスを最適化するサービス

最大限の性能が発揮されるように

一覧

生産設備が持つ能力をより一層活用しようとしても、不明瞭なデータ、複雑な要件や予期せぬエラーが原因で、生産量が伸びないことが少なくありません。 この課題の克服に役立つ当社のソリューションでは、体系的なデータ管理、それぞれの状況に応じたアプリケーションサポート、トレーニングやAIベースのプロセス最適化が提供されています。これを利用すれば、工程が改善され、ミスが減り、新しい課題により柔軟に対応できるようになります。

レーザおよびレーザ装置用Smart View

重要なデータすべてを把握し続けられるSmart Viewでは、自分の希望通りにダッシュボードを作成して、性能データ、状態、エネルギー消費量やプログラム変更など、レーザおよびレーザ装置の最適な使用に決定的な情報と指数を表示することができます。

プロセス最適化

アプリケーションセンターでのコンサルティング

当社では世界中の8拠点にあるレーザアプリケーションセンターで、お客様のプロセスを共同で最適化し、用途別の課題を解決して、品質の維持、立ち上げ期間の短縮、市場投入のスピードアップにつながる基盤を確立しています。

レーザがご自身のプロジェクトに合っているでしょうか?
一緒に突き止めましょう!

当社のレーザアプリケーションセンター(LAC)では、それぞれの用途に最適なパラメーターをお客様と共同で突き止めています。直にご自身の部品を使用して行うことも可能です。

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質問、アイデアや具体的な計画がおありですか?
お気軽にお問い合わせください!

技術仕様、価格やそれぞれの状況に応じた要件など、どのようなテーマであっても当社はお客様の役に立つ回答を提供しています。

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短パルス及び超短パルスレーザカタログ 短パルス及び超短パルスレーザカタログ

TRUMPFのTruMicro短パルス及び超短パルスレーザの全製品一覧です。

リーフレット:TruMicro 6000 リーフレット:TruMicro 6000

TruMicroシリーズの比較

製品 TruMicro 6000シリーズ、製品画像

TruMicro 6000シリーズ

連続生産で最大限の処理量と高い剥離速度が実現するパワフルなフェムト秒レーザ
TruMicro 2000シリーズ

TruMicro 2000シリーズ

加工パラメーターが非常に柔軟に調整可能で、精緻なマイクロ加工に適したコンパクトな精密加工用レーザ
TruMicro 9010

TruMicro 9000シリーズ

広大な面積のマイクロ加工を1 kWの出力で画期的に行う当社のパイオニア
平均出力 30 W - 200 W 10 W - 20 W 1000 W
波長 343 nm, 515 nm, 1030 nm 515 nm, 1030 nm 1030 nm
ビーム品質 (M²) < 1.3 (オプション ≤ 1.2) < 1.2 (<1.3 bei 515 nm) < 1.3
パルス幅 < 850 fs (オプション:1030 nmで < 5 ps、343 nmで < 500 fs) < 350 fs  (1030 nm、パルス幅は最大20 psまで可変設定可能) 1 ps (オプションで1~20 psの範囲に固定)
最大パルス エネルギー 2 mJ 100 kHzの場合 100 µJ 200 kHzの場合 10 mJ 100 kHzの場合
繰り返し周波数 シングルショットから 3 MHz 最大50 MHz(QCWオプション使用時) シングルショットから  2 MHz 最大50 MHz(QCWオプション使用時) シングルショットから 1 MHz 最大50 MHz(QCWオプション使用時)

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。